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公开(公告)号：CN114019674B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202111167883.1
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: G02B26/02
Abstract: 本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，所述透射式光开关包括基底，驱动装置以及静电吸合装置；所述基底形成有透光区域；所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平；所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，且为透光材料，所述第二静电电极位于所述驱动装置上；在所述驱动装置展平的状态下，所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，以关闭所述透光区域。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能够明显降低驱动电压和功耗，同时降低了维持光开关关闭的能耗。
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公开(公告)号：CN112744778B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN201911037132.0
申请日：2019-10-29
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1的一端连接固定端2，另一端连接可动单元3，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜构成，分别为上层薄膜1‑1和下层薄膜1‑2，其中上层薄膜1‑1包含两个或两个以上的带状结构，该带状结构间隔排列在下层薄膜1‑2上，带状结构与其下部的下层薄膜1‑2组成扭转单元4，每个扭转单元4的中心线4‑1可为直线或曲线并与固定端2的端面形成倾斜角，当该条纹状结构的电热式扭转驱动器1温度变化时，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1产生扭转，从而带动可动单元3转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。
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公开(公告)号：CN113120848B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN201911408258.4
申请日：2019-12-31
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：1）、选择高阻硅作为衬底；2）、在衬底上进行图形化，形成预先设计的导电回路图形的掩模；3）、使用注入法或扩散法对衬底进行掺杂，形成导电回路，该导电回路作为加热电阻层；4）、在加热电阻层上制作绝缘材料作为绝缘层；5）、在绝缘层上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层；6）、刻蚀衬底的底部，留下设定厚度的高阻硅作为第二结构层；7）、在衬底的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作。优点：硅既作为结构层的同时，由作为加热电阻层，免除了还要做加热电阻层的麻烦，简化了电热式MEMS驱动臂的加热电阻层的工艺步骤，提供了效率。
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公开(公告)号：CN113985599B
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202111153164.4
申请日：2021-09-29
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: G02B26/02
Abstract: 本公开实施例公开了一种透射式光开关、照明装置及电子设备，所述透射式光开关包括框架，所述框架形成有通道；遮光元件，所述遮光元件悬置于所述通道上，所述遮光元件被构造为用于开启或关闭所述通道；挡块，所述挡块位于所述通道中，并且位于所述遮光元件下方；及驱动组件，所述驱动组件包括：在所述遮光元件的中部设置的连接部；及驱动装置，所述驱动装置的一端与所述框架连接，所述驱动装置的另一端与所述连接部连接，所述驱动装置能够发生弯曲和展平；在所述驱动装置弯曲的状态下，所述挡块对所述遮光元件的局部形成阻挡，以使所述遮光
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公开(公告)号：CN112645274B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202011467858.0
申请日：2020-12-14
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有柔性连接结构的电热MEMS微动平台，包括引线电极、衬底、两种或多种材料层结构的电热驱动臂、可动结构、衬底端连接结构和可动端连接结构；所述电热驱动臂的一端通过衬底端连接结构连接到衬底，另一端通过所述可动端连接结构连接到所述可动结构；所述衬底端连接结构和/或所述可动端连接结构为柔性连接结构；所述柔性连接结构主要由有机聚合物材料构成；所述电热驱动臂中包含内置电阻；所述衬底端连接结构包含导电引线，将所述内置电阻与所述衬底上的引线电极相连；所述可动结构可以是一个微平台、一个透镜、一个反射镜面、一个框架等。本发明能够显著提高电热MEMS微动平台的抗冲击能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112859047B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202110040233.4
申请日：2021-01-13
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法，该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元，其中，激光接收单元包括：滤光片，用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤，且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光片；滤光片驱动器，用于转动滤光片以使离轴激光雷达的回波以预定角度范围内的一个角度入射到滤光片上；光电探测器，用于对滤光片过滤后的回波进行接收，且将接收到的回波进行光电转换。本申请解决了现有离轴激光雷达在具备较强回波接收能力的同时信噪比较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN113932908B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202111150366.3
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: G01H9/00
Abstract: 本申请公开了一种MEMS扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法，该测量系统包括：准直光源，用于向MEMS扫描振镜的背面以相同方向入射准直光，预设翻转角度的MEMS扫描振镜平行于准直光入射方向且与准直光源有恒定间距；借助光栅结构构成的多个不同反光区，多个反光区分布在MEMS扫描振镜的背面，不同的反光区各自在MEMS扫描振镜的一个翻转角度上接收准直光的照射并向固定位置出射回波；光电探测器，用于在固定位置接收回波并转换回波为电信号；信号处理器，连接光电探测器，用于基于电信号确定振动参数。本申请简化了振动参数测量系统的结构。
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公开(公告)号：CN114023579B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202111167882.7
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: H01H9/02
Abstract: 本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，透射式开关包括有框架、遮光元件、驱动装置以及静电吸合装置；框架形成有通道；遮光元件悬置于通道上，遮光元件被构造为用于开启或关闭通道；驱动装置的一端与框架连接，驱动装置的另一端与遮光元件连接，驱动装置能够发生形变和展平；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于遮光元件上，第二静电电极位于通道的侧壁上；在驱动装置发生形变下，遮光元件朝向通道内移动，并能够通过第一静电电极静电吸合在第二静电电极上，以开启通道。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能明显降低驱动电压和功耗，同时可获得较高的通光率。
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公开(公告)号：CN112744777B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN201911036626.7
申请日：2019-10-29
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点，当电热式MEMS扭转驱动器1温度升高时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。
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公开(公告)号：CN113120847B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201911402850.3
申请日：2019-12-31
Applicant: 无锡微文半导体科技有限公司
Abstract: 一种使用SOI圆片制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：步骤1）、选择SOI圆片作为衬底1；步骤2）、对顶硅层1‑3进行离子掺杂形成低阻硅，作为加热电阻层4；步骤3）、在加热电阻层4上制作绝缘材料作为绝缘层5；步骤4）、在绝缘层5上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层6；步骤5）、刻蚀衬底1的底部至氧埋层1‑2；步骤6）、在衬底1的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作，其中步骤5）和步骤6）可以互换。优点：硅既作为结构层的同时，又作为加热层，免除了还要做加热层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热层的工艺步骤，提高了效率。
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