使用夹具的半导体制造用部件制作方法及制造装置

    公开(公告)号:CN110073466B

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN201780076235.0

    申请日:2017-12-18

    Inventor: 金基源

    Abstract: 本发明涉及在干式蚀刻工序中利用的半导体制造用部件的制造方法及用于其的夹具,本发明的利用夹具的半导体制造用部件的制造方法包括:准备母材的步骤;通过夹具支撑上述母材的至少一面的步骤;向通过上述夹具支撑的上述母材喷射原料气体来形成蒸镀层的步骤;以及对形成上述蒸镀层的上述母材进行加工的步骤,上述夹具的剖面呈锥形形状,沿着靠近上述母材的表面的方向,剖面的宽度增加。

    碳化钽涂层碳材料
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109153571B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN201780023205.3

    申请日:2017-05-24

    Inventor: 曹东完

    Abstract: 本发明涉及碳化钽涂层碳材料,更具体地,涉及碳化钽涂层碳材料,其包括碳基体及碳化钽涂层面,形成在所述碳基体上,且将所述碳化钽涂层面的(111)面、(200)面、(220)面及(311)面的X‑线衍射峰作为主峰,所述峰中的所述(111)面的峰具有最大衍射强度。本发明可提供具有优秀的化学及物理耐性,且寿命被延长的碳化钽涂层碳材料。

    炭黑水性分散体及其制备方法

    公开(公告)号:CN101233198B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200680028292.3

    申请日:2006-06-27

    Inventor: 堀井俊哉

    Abstract: 本发明公开了一种炭黑水性分散体,其在水性介质中表现出优异的分散性,并表现出优异的耐磨性(快干性)、喷射稳定性等,其可作为喷墨打印机的水性黑色油墨等。该炭黑水性分散体包括一种水性介质和分散在该水性介质中的炭黑,在该炭黑表面通过液相氧化而成的酸性基团用碱性氨基酸和碱性氨基酸以外的一种碱性化合物中和,所述酸性基团的氢原子被该碱性氨基酸和碱性化合物取代。还公开了炭黑水性分散体的制备方法,其包括对炭黑进行液相氧化、从所得的浆液中除去还原盐、用碱性氨基酸和碱性氨基酸以外的碱性化合物中和炭黑,使该碱性氨基酸和碱性化合物取代酸性基团的氢原子,并纯化所得产物。

    燃料电池隔板材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN101273485B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200680035465.4

    申请日:2006-07-27

    Abstract: 本发明提供了一种燃料电池隔板材料,该隔板材料的断裂应变率高、强度高,可防止电池堆组装期间的断裂或电池操作期间的破裂,且具有优异的特性,例如优异的导电性和气密性;本发明还提供了制备该燃料电池隔板材料的方法。本发明的燃料电池隔板材料包含碳/固化的树脂成型品,其中碳粉通过粘合剂进行粘结,所述粘合剂包括以下基本组分:由双官能脂肪醇醚型环氧树脂和多官能苯酚型环氧树脂组成的混合树脂、苯酚树脂固化剂和固化促进剂。制备该燃料电池隔板材料的方法包括:将双官能脂肪醇醚型环氧树脂、多官能苯酚型环氧树脂、苯酚树脂固化剂和固化促进剂溶解在有机溶剂中制备树脂溶液,将碳粉混入该树脂溶液中,挥发除去有机溶剂,碾碎该混合物得到模塑粉,将模塑粉填入预制模具中,加载上模具,在1~10MPa的压力下对该模塑粉施压得到预制品,将预制品置入模具中,然后,在20~50MPa的压力和150~250℃的温度下,热压该预制品使成型。

    用于锂离子二次电池的负极材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN101529624B

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200780040516.7

    申请日:2007-11-08

    Inventor: 石井健太

    Abstract: 本发明公开了一种用于锂离子二次电池的负极材料,该负极材料具有良好的倍率特征、高可逆容量以及高初始效率。本发明还公开了一种用于制造这种锂离子二次电池的负极材料的方法。具体地说,本发明公开了一种用于锂离子二次电池的负极材料,其特征在于:所述负极材料由具有核/壳结构的复合颗粒组成,其中所述石墨粉末通过粘合剂沥青的碳化物接合到所述无定形碳,并且被所述无定形碳覆盖,所述石墨粉末的平均粒径为5μm至30μm、平均晶格间距d(002)小于0.3360nm,所述无定形碳粉末的平均粒径为0.05μm至2μm、平均晶格间距d(002)不小于0.3360nm。本发明的用于制造这种锂离子二次电池的负极材料的方法的特征在于:在将石墨粉末与软化点为70℃至250℃的沥青相混合之后,向其中添加无定形碳粉末,并且在向其中施加机械冲击的同时,捏合所述所得物,从而在已经软化的沥青中软化用于分散和固定所述无定形碳粉末的沥青,最终在非氧化气氛中烧制与碳化所得物。

    用于电子纸的炭黑颜料、颜料分散体及该颜料的制造方法

    公开(公告)号:CN101326463B

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN200680046581.6

    申请日:2006-12-08

    Inventor: 桐野智明

    CPC classification number: G02F1/167 G02F2001/1678

    Abstract: 本发明公开了一种表面改性的炭黑颜料,其适于作为电子纸的黑色微颗料,还公开了一种炭黑颜料的硅油分散体,以及制备该炭黑颜料的方法。所述炭黑颜料包括表面改性的炭黑,其中通过炭黑表面的官能团经由氨基甲酸酯键与炭黑结合的二苯基甲烷基团与聚硅氧烷基团结合。在电子纸所用的炭黑硅油分散体中分散了1~20wt%的炭黑颜料。制造炭黑颜料的方法包括以下步骤:使炭黑颗粒表面的官能团与两端具有异氰酸酯基团的二苯基化合物在非反应性有机溶剂中反应,使得二苯基甲烷基团通过氨基甲酸酯键与炭黑颗粒表面结合;以及在硅油中使聚硅氧烷与所得化合物结合。

    用于锂离子二次电池的负极材料

    公开(公告)号:CN101669233A

    公开(公告)日:2010-03-10

    申请号:CN200780052921.0

    申请日:2007-05-29

    CPC classification number: H01M4/133 H01M4/583 H01M4/587 H01M10/052 Y02E60/122

    Abstract: 本发明公开了一种用于锂离子二次电池的负极材料,其包括碳微球,所述碳微球用电子显微镜测定的算术平均粒径dn为150nm-1000nm、挥发组分含量Vm为5.0%或以下、ΔDst/Dst比率(其中,Dst表示为用盘式离心机(DCF)测定的斯托克斯式直径(Dst),ΔDst表示为斯托克斯式直径Dst的半宽度)为0.40-1.10、用X射线衍射法测定的晶格间距d(002)为0.370nm或以下。所述负极材料用于高输出锂二次电池,其具有高锂离子掺杂-脱掺杂速度和优异的循环特性,适合作为便携式设备、混合动力车和电动车等中的电源使用。

    固体高分子型燃料电池用隔板材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN100521327C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200580038133.7

    申请日:2005-11-04

    CPC classification number: H01M8/0213 H01M8/0221 H01M8/0226 H01M2008/1095

    Abstract: 本发明涉及不透气性、强度特性、长期使用的尺寸稳定性及阻碍电池反应的有机物溶出等少的、适于作为固体高分子型燃料电池用的隔板材料及其制造方法,其特征在于,其由石墨/树脂固化成型体构成,该石墨/树脂固化成型体通过以特定范围的当量比混合规定的环氧基当量及羟基当量的环氧树脂与酚醛树脂、作为固化促进剂添加不具有氨基的咪唑化合物的混合树脂来粘接石墨粉末,在90℃的热水中浸渍500小时后的吸水伸长率、浸渍50小时后的铵离子溶出量及TOC溶出量在特定值以下。该制造方法是,将粉碎混合树脂与石墨粉末的混炼物的成型粉末进行预成型,制作预成型件,然后,把预成型件插入成型模具进行热压成型。

    水性炭黑颜料及其水性分散体

    公开(公告)号:CN101454404A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200780018879.0

    申请日:2007-05-29

    Inventor: 关山宁

    CPC classification number: C09C1/56 C09C1/48 C09C1/565 C09D11/324 C09D17/005

    Abstract: 本发明公开了的水性炭黑颜料,其适用于喷墨打印机油墨等并确保印刷品具有优异的耐水性和牢固性,还公开了水性炭黑颜料的水性分散体。水性炭黑颜料包括氧化的炭黑、水溶性树脂和水性介质,所述氧化的炭黑和水溶性树脂利用水分散性交联剂在水性介质中交联。水溶性树脂是优选含有丙烯酸和/或丙烯酸衍生物作为单体单元的树脂、含有马来酸和/或马来酸衍生物作为单体单元的树脂、含有苯乙烯-丙烯酸共聚物作为主要组分的树脂、含有苯乙烯-马来酸共聚物或苯乙烯-马来酸酐共聚物作为主要组分的树脂等。异氰酸酯化合物优选作为水分散性交联剂。炭黑水性分散体包括水性炭黑颜料和水性介质,水性炭黑颜料以适于应用的浓度分散在水性介质中。

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