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公开(公告)号：CN104250068A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410403361.0
申请日：2014-08-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明公开了一种智能节能窗用二氧化钒基膜系及其制备方法。该膜系包括功能层和减反保护层，其中功能层为掺杂二氧化钒薄膜，减反保护层为光学介质，如：二氧化硅、氮化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化铝、五氧化二钽等，减反保护层可以是一层或多层。掺杂二氧化钒薄膜是通过溅射法在衬底上沉积一层掺杂的金属钒膜，把上述薄膜在真空条件下通氧退火得到相变温度接近室温的掺杂二氧化钒薄膜。然后在制备好的掺杂二氧化钒薄膜表面沉积一层光学介质层，提高薄膜可见光透过率并增强薄膜耐候性。该膜系根据气温智能地调节太阳光红外辐射的入射量，实现冬暖夏凉的效果。
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公开(公告)号：CN104034679A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410257669.9
申请日：2014-06-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01N21/31 , G01N21/3518
Abstract: 本发明公开了一种基于同质分子滤波的物质浓度探测方法，利用同质分子滤波结合调制光谱实现物质浓度的精确探测。本发明技术由于只有与同质分子结构完全相同的待测分子才能被探测到，可以做到探测的唯一性，不受其他分子干扰；而且可以通过更换气体池中的气体种类，来灵活选择和改变拟测量的气体种类。通过调制的方法则可以将微弱的分子信号大幅放大几个量级，从而实现高灵敏度精确探测；还能将强度远大于待测分子信号的背景辐射屏蔽掉，有效地消除大气背景辐射的干扰，探测灵敏度高达1ppb。该方法特别适用于大气中含量很低的气体分子探测，如二氧化碳，二氧化硫，甲烷等。
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公开(公告)号：CN103411335A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310326560.1
申请日：2013-07-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了辐射吸收层基于混合物的选择性吸收膜系，其混合物由高吸收材料和透明材料混合而成。该吸收膜系包括：金属衬底、在衬底上依次沉积的辐射吸收层基于混合物的选择性吸收薄膜、减反射介质薄膜、保护薄膜。本发明的吸收膜系通过调节膜系的材料，涂层厚度，混合膜层成份，尺寸，形状等参数，灵活控制吸收膜性能。可以在保持高吸收率和低发射率的前提下，满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的多样化和个性化需求。本发明吸收膜系的特点是结构简单，适用于各种工艺制备，对太阳能选择性吸热膜领域的发展有着十分重要的意义。
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公开(公告)号：CN103225898A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310148747.7
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: Y02E10/44
Abstract: 本发明公开了一种低成本智能防过热塑料平板太阳能集热器，其特点在于采用集热板与水管一体化的带管道的耐高温导热塑料基板替代了传统平板集热器使用的金属基板与金属管道，既降低了集热器的成本、减轻了重量，又增大了吸热板芯与工作介质流体的接触面积。同时，塑料伸缩性好，不存在夏天炸管，冬天冻裂等问题，提高了集热器安全系数。更重要的是，本发明的集热器在透明盖板和吸热板芯之间采用了中空设计，可实现智能抽空或充气，抽真空时可以显著降低集热器上表面的热损失，提高集热效率；充气时可以迅速降低集热器温度，防止因突然停水引起集热器空烧造成的损伤甚至损坏，该功能可以通过设置使用温度范围来实现，起到智能调节与自动保护的作用。
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公开(公告)号：CN102185025B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201110082811.7
申请日：2011-04-01
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海中科高等研究院 , 阿旺赛镀膜技术(上海)有限公司
IPC: H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种用于光电功能器件的金属波导微腔光耦合结构的工艺制程，可以使得光电功能器件的光耦合效率大大提升。本金属波导微腔工艺制程的要点是利用过渡基底材料实现功能器件薄膜的上、下表面金属结构的制备；利用两层石蜡工艺使得功能器件薄膜的制备以及在不同基底材料之间的转移成为可能。本工艺制程具有广泛的通用性，功能器件薄膜的厚度可以从百纳米到百微米，金属光耦合结构的特征尺寸可以从纳米尺度(电子束光刻)到微米尺度(紫外光刻)，响应的入射光可以从可见到太赫兹波段。长波量子阱红外探测器的实施实例表明本工艺制程可以优化器件的光谱响应和大大提高器件的红外响应率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103105011A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310040103.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
CPC classification number: Y02E10/40
Abstract: 本发明公开了一种适于中高温热利用的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属基底上的红外高反射银薄膜、铜薄膜、钛铝氮氧薄膜、氧化锌锡锑薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明的吸收膜系太阳能吸收率大于96%，发射率小于2%，具有超低发射率，光热转换效率高的特点，同时膜系中的氧化锌锡锑材料镀膜速率高，利于提高生产效率。该膜系可广泛应用于太阳能光热转换的集热器，适合于太阳能热利用在建筑一体化产品方面的应用，尤其适合于中高温太阳能热利用产品的广泛使用。本发明的吸收膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积基底上连续镀制，实现低成本大规模高效生产。
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公开(公告)号：CN101830644A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010177547.0
申请日：2010-05-14
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种提高汽车镀膜玻璃稳定性的膜系，该膜系与常用的汽车镀膜玻璃膜系的核心总差异是将金属纯银材料改变为银、铜、锌、铬四种金属的合金材料Ag1-x-y-zCuxZnyCrz，其中0≤x+y+z≤10％，Zn能够阻止银与邻近的氧化物层的相互作用，防止膜系性能退化，Cr和Cu能够提高Ag层的化学稳定性，不易受环境的影响。这大大提高了夹胶玻璃在深加工过程的稳定性。另一方面，由于掺杂铜、锌、铬的Ag1-x-y-zCuxZnyCrz合金银的使用，降低了工业大规模生产的成本。本发明中的膜系在可见光透光率75～80％的条件下增加了银膜层的抗氧化、抗机械和化学攻击性，对提高汽车镀膜玻璃的稳定性能有着十分重要的意义。
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公开(公告)号：CN100385264C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200410067892.3
申请日：2004-11-05
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种集成窄带滤光片，包括：基片，在基片上依次有相互牢固结合的下层膜系，厚度不等的谐振腔层列阵和上层膜系。本发明的集成窄带滤光片是基于F-P干涉原理，通过半导体刻蚀工艺来获取不同谐振腔层的厚度，达到控制窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同透射波长窄带滤光片在同一块基片上的集成。这种滤光片可适用于各个波段窄带滤光片列阵的制备。其优点是：工艺简单，只需设计一个膜系、通过镀膜和刻蚀即可完成集成窄带滤光片的制备，所制备的滤光片各单元的半峰宽很窄，其相对半峰宽都小于0.36%，可以起到很好的波长选择作用。
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公开(公告)号：CN100345248C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200510025732.7
申请日：2005-05-11
Applicant: 华东师范大学 , 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一种异质键合晶片的制备方法和应用，属光电子器材集成和应用的技术领域。低温直接键合的两片异质材料分别是制备有ROIC的硅晶片和制备有IP薄膜的GaAs晶片，先按照0.25μm ULSI中的铜互连的化学机械平坦化工艺，使所述的硅晶片表面光滑、平整、清洁；接着，在低温下，使表面同样光滑、平整、清洁的所述的GaAs晶片与所述的硅晶片对位、预键合、低温热处理，至所述的两个异质晶片直接键合在一起，得到异质键合物；然后减薄异质键合物GaAs的厚度至20～30μm；再用ICP高密度反应离子选择刻蚀剩余的GaAs至终止层；最后用湿法蚀去终止层，得到产品，异质键合晶片。异质键合晶片可用来制作低价格的IP-ROIC的IRFPA。本发明具有制造成本低、产品超高机械强度高、可靠性好等优点。
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公开(公告)号：CN100345030C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200410089451.3
申请日：2004-12-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02F1/00
Abstract: 本发明公开了一种三维光学微腔式单光子源，该光子源包括：衬底，与衬底牢固结合的微腔膜系，嵌埋在微腔中的量子点，其特征在于：在微腔膜系上，靠近微腔四周刻有呈三角格子周期性分布的圆柱形空气柱，空气柱的深度为膜系的厚度。本发明的优点在于：由于采用准三维光子晶体结构的设计使光学微腔在各个方向上都有很好的限制能力，从原理上克服了传统结构在垂直方向上漏光的缺陷，而且可以方便地从多个嵌埋量子点中优选出单个量子点发光，形成光学微腔式的单光子源。
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