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公开(公告)号：CN103243885B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310148800.3
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法。该膜系自透明基底向上依次包括镀制在透明基底上的下层氮化硅薄膜、可见光吸收薄膜、金属薄膜以及上层氮化硅保护膜。本发明的膜系在可见光范围对太阳光的平均反射率在5%～30%，而辐射率小于10%。同时本发明的膜系在保持对可见光低反射、红外低辐射率前提下，还具有外观颜色可按需求进行调节的特点，丰富多彩的外观颜色可更好地实现了窗槛墙对建筑的美化效果。由于采用了上、下层氮化硅保护膜夹心结构，本发明的膜系还具备可钢化特性。本发明的颜色可调的低辐射窗槛墙膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积透明基底上连续镀制，易于实现低成本、大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN103017383B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210506859.0
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种颜色可调的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该颜色可调节的太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属衬底上的氮氧化钛薄膜、二氧化钛薄膜、氮化硅薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明的吸收膜系对太阳能的吸收率大于96%，发射率小于4%，具有光热转换效率高和集热效率高以及颜色可调的特点。本发明的吸收膜系具有在保持良好吸收率和发射率的前提下，调节外观颜色的特点，丰富多彩的外观颜色可更好地实现太阳能集热产品与建筑一体化，满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的美观、多样和个性化需求。本发明的吸收膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积衬底上连续镀制，易于实现大规模工业化生产。
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公开(公告)号：CN103105011B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310040103.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
CPC classification number: Y02E10/40
Abstract: 本发明公开了一种适于中高温热利用的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属基底上的红外高反射银薄膜、铜薄膜、钛铝氮氧薄膜、氧化锌锡锑薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明的吸收膜系太阳能吸收率大于96%，发射率小于2%，具有超低发射率，光热转换效率高的特点，同时膜系中的氧化锌锡锑材料镀膜速率高，利于提高生产效率。该膜系可广泛应用于太阳能光热转换的集热器，适合于太阳能热利用在建筑一体化产品方面的应用，尤其适合于中高温太阳能热利用产品的广泛使用。本发明的吸收膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积基底上连续镀制，实现低成本大规模高效生产。
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公开(公告)号：CN103383155A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201310251610.4
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种Ti合金氮化物选择性吸收膜系。该吸收膜系包括：金属衬底、在衬底上依次沉积的Ti合金氮化物选择性吸收膜层、减反射介质膜层、SiO2保护膜层。本发明的吸收膜系对太阳能的吸收率大于97%，发射率小于3%，具有光热转换效率高和集热效率好的特点。本发明的吸收膜系在保持高吸收率和低发射率的前提下，通过调节Ti合金成份可以满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的多样化和个性化需求。由于本发明Ti合金氮化物选择性吸收膜系结构简单，不涉及氧元素沉积问题，具有制备工艺简单、使用靶材数量少的特点，因此可以极大提高生产效率，降低工业大规模生产的成本，对太阳能选择性吸热膜领域的发展有着十分重要的意义。
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公开(公告)号：CN103243885A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310148800.3
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: E04F13/077 , B32B33/00 , B32B9/04 , B32B15/04 , B32B37/02
Abstract: 本发明公开了一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法。该膜系自透明基底向上依次包括镀制在透明基底上的下层氮化硅薄膜、可见光吸收薄膜、金属薄膜以及上层氮化硅保护膜。本发明的膜系在可见光范围对太阳光的平均反射率在5%～30%，而辐射率小于10%。同时本发明的膜系在保持对可见光低反射、红外低辐射率前提下，还具有外观颜色可按需求进行调节的特点，丰富多彩的外观颜色可更好地实现了窗槛墙对建筑的美化效果。由于采用了上、下层氮化硅保护膜夹心结构，本发明的膜系还具备可钢化特性。本发明的颜色可调的低辐射窗槛墙膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积透明基底上连续镀制，易于实现低成本、大规模工业化生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103148598A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310098779.0
申请日：2013-03-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
CPC classification number: Y02E10/44
Abstract: 本发明公开了一种基于吸收颗粒的太阳能平板集热器，其结构特征在于自底层到顶层依次由边框、隔热层、工作介质、金属基板、吸收流体及低辐射模块组成，其中吸收流体由含有可吸收整个太阳能谱段能量的颗粒和流体组成，吸收率可达100％。由于采用了将高吸收与低辐射功能分离的结构，消除了二者之间相互制约的关系，因此，可以在不考虑吸收流体发射率的前提下把吸收率做到100％，完全吸收到达吸收流体的太阳能，显著提升平板太阳能集热器的集热效率，极大地拓展了平板太阳能集热器的适用范围。
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公开(公告)号：CN102954603A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210515241.0
申请日：2012-12-05
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
Abstract: 本发明涉及一种太阳能集热器，自底层到顶层依次由隔热层、工作介质、金属基板、吸收膜及低辐射模块构成；隔热层位于集热器最底层；隔热层上部包覆的是盛装工作介质的铜质介质管或介质腔，介质管或介质腔则布设焊接于金属基板的下部；吸收膜沉积于金属基板上部，低辐射模块覆盖于吸收膜上部。所述低辐射模块自下而上依次由镀膜玻璃、沉积在镀膜玻璃上的低发射率膜、位于低发射率膜上方的中空层、支撑中空层的密封条，以及由密封条连接的位于中空层上方的上层玻璃组成。本发明显著提升了平板太阳能集热器的性能与效率，极大地拓展了平板太阳能集热器的适用范围。
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公开(公告)号：CN101846499A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010176138.9
申请日：2010-05-14
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 阿旺赛镀膜技术(上海)有限公司 , 上海宇豪光电技术有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种薄膜生长中原位弱吸收光学薄膜厚度检测方法。该方法以镀有一层厚度足以引起干涉的打底膜为衬底，通过测量镀膜前后透(反)射谱的变化，即可实现薄膜厚度的测量。由于打底膜的厚度已经引起干涉，新镀上去的待测薄膜即使很薄，也会引起干涉的变化，由镀制待测薄膜前后透(反)射谱干涉的变化就可以很容易地准确测量出待测薄膜的厚度，其测量极限高达3nm以上。该方法可以准确测量纳米超薄膜的厚度，只需测量镀制待测薄膜前后的透(反)射谱，就可以快速获得待测薄膜的厚度，非常简单、快捷，特别适用于镀膜行业的在线检测和实时监控，尤其是对于弱吸收材料超薄膜的厚度测量，本发明方法克服了传统方法测量的困难。
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公开(公告)号：CN101832945A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010165069.1
申请日：2010-04-29
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种镀膜玻璃薄膜缺陷的光学检测装置，被检样品一侧做成45°导角，激光光源发出的光线经扩束镜扩展后平行从被检样品侧面入射，光线在玻璃-空气、薄膜-空气界面发生全内反射。当薄膜无缺陷时，由于受制于全反射条件，光在上下表面间不断反射，直至从侧面射出，形成非常理想的暗场。而薄膜中的缺陷则成为散射体向上散射光，CCD在被检样品上方拍摄，得到清晰的缺陷图像由计算机图形处理及识别软件进行判别，并给出缺陷标记和提示。若在激光器和扩束镜之间添加转镜，可确保整个膜面的检测。与传统方法不同的是，本发明装置操作简单、明暗场对比强烈、效果明显，可非常方便地用于薄膜缺陷的在线检测。
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公开(公告)号：CN102910837A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210393059.2
申请日：2012-10-16
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
IPC: C03C17/36
Abstract: 本发明公开了一种离线可钢化智能低辐射镀膜玻璃及其制备方法。该离线可钢化智能低辐射镀膜玻璃包括玻璃衬底、低辐射功能膜系、二氧化钒红外辐射智能调节膜系和可离线钢化的氮化硅保护膜，使镀膜玻璃同时具备随温度智能调节效果、低辐射节能效果和离线可钢化性能。本发明的复合膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积玻璃衬底上镀制，还可按照实际需求对镀膜玻璃进行切割后再离线钢化处理，是一类灵活性高、可实现大规模生产的新型智能建筑节能镀膜玻璃产品。
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