一种MicroLED的巨量转移装置及转移方法

    公开(公告)号:CN107910413A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711162098.0

    申请日:2017-11-21

    Applicant: 福州大学

    CPC classification number: H01L33/0079

    Abstract: 本发明提出一种MicroLED的巨量转移方法,包括以下步骤;S1、按上下沿非对称的MicroLED的俯视向形状,选用对应的装载模具,所述模具的装载面处密集布设用于嵌入MicroLED的装载槽;装载槽的俯视向形状与MicroLED的俯视向形状匹配;S2、固定装载模具,在装载模具处连接震荡源,在装载模具侧设置吹风装置;把MicroLED批量倾倒在装载面上;S3、启动震荡源和吹风装置;使MicroLED在震荡力或风力作用下落入装载槽;S4、以风力将装载面处未落入装载槽的MicroLED吹出装载面;所述转移方法在步骤S4后,还依次包括以下步骤;S5、以光检器件或红外检测器件对装载面进行检测,判断未嵌入MicroLED的装载槽位置;S6、以机械手向空置的装载槽内填入MicroLED;本发明工艺简单,良率高,成本低。

    一种高度集成半导体显示系统

    公开(公告)号:CN107895543A

    公开(公告)日:2018-04-10

    申请号:CN201711207548.3

    申请日:2017-11-27

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明属于新型半导体显示领域,尤其涉及一种高度集成半导体显示系统,将显示系统分为M×N个显示单元(M、N为自然数),每个显示单元包括显示模块、图像获取与处理模块、传感器模块、光学模块、交互控制模块、监控模块和驱动模块等模块中的一个或多个的集合。结合芯片工艺、MEMS工艺和其他微纳米加工工艺,将Micro-LED器件与集成电路芯片、光电传感器等器件有机结合在一起,提高器件的集成度和新型化程度。同时,本发明提出将超高密度显示的Micro-LED器件与高精度三维图像采集技术、触觉感知和输入技术、光学技术、信号集成技术等结合起来,实现一种具有真三维空间显示、增强现实和虚拟现实的高度集成半导体显示系统。

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