蒸镀方法和蒸镀装置
    121.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102482760A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080040615.7

    申请日:2010-09-10

    CPC classification number: H01L51/56 C23C14/042 C23C14/12 H01L51/0011

    Abstract: 使用掩模单元(80),该掩模单元(80)具备阴影掩模(81)和蒸镀源(85),且将阴影掩模(81)和蒸镀源(85)的相对位置固定,该阴影掩模(81)具有开口部(82),且面积小于被成膜基板(200)的蒸镀区域(210),该蒸镀源(85)具有射出蒸镀颗粒的射出口(86),该射出口(86)与阴影掩模(81)相对配置,进行阴影掩模(81)和被成膜基板(200)之间的空隙量的调整,将掩模单元(80)和被成膜基板(200)之间的空隙量保持一定,使掩模单元(80)和被成膜基板(200)中的至少一方相对移动,将蒸镀颗粒经由阴影掩模(81)的开口部(82)在蒸镀区域(210)上顺次蒸镀。由此,能够在大型的基板上形成高精细的蒸镀图案。

    发光器件
    122.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111052410B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN201780094358.7

    申请日:2017-09-05

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够得到更高效率、长寿命的荧光发光的发光器件,本发明提供一种发光器件(2),其具备:分散有量子点(20)的激子生成层(8);分散有发光体(22)并与所述激子生成层(8)在上下方向上相邻的发光层(10),其中,所述发光体(22)是荧光体或者磷光体;比所述激子生成层(8)以及所述发光层(10)靠下层的第一电极(4);以及比所述激子生成层(8)以及所述发光层(10)靠上层的第二电极(16),所述量子点(20)的发光频谱与所述发光体(22)的吸收频谱至少在一部分上是重叠的。

    蒸镀装置和有机EL显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN109983148A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201680091048.5

    申请日:2016-11-25

    Abstract: 在载置在蒸镀装置(1)的基板托盘(20)上的被蒸镀基板(30)的被蒸镀面(30a)上,在与扫描平行的方向上隔开间隔地排列有蒸镀蒸镀颗粒(40)的显示区域(31),基板托盘(20)具有遮蔽部(22),其对在与扫描方向平行的方向上与显示区域(31)相邻的区域(30c)进行遮蔽,使该区域(30c)不会被蒸镀蒸镀颗粒(40)。从而,即使进行扫描蒸镀,也能够防止被蒸镀基板的设计上的自由度受到限制。

Patent Agency Ranking