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公开(公告)号:CN105002562A
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201510434137.2
申请日:2015-07-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于钙氟层的铁砷基高温超导体单晶及其制备方法,所述单晶具有与ZrCuSiAs相同的四方的晶体结构,起始超导转变温度为21K。本发明的制备方法采用CaAs做自助熔剂,通过缓慢降温结晶的方法制得基于钙氟层的铁砷基高温超导体单晶,该方法得到的单晶具有1-2毫米的尺寸。
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公开(公告)号:CN103265021B
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201310207387.3
申请日:2013-05-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B31/04
Abstract: 本发明提供一种层数可控石墨烯的生长方法,至少包括以下步骤:1)提供一Cu衬底,在所述Cu衬底上形成一Ni层;2)采用离子注入法在所述Ni层中注入C;3)对步骤2)形成的结构进行退火处理使得所述Cu衬底中的部分Cu进入所述Ni层中形成Ni-Cu合金,而Ni层中注入的C被进入所述Ni层中的Cu从Ni层中挤出,在所述Ni-Cu合金表面重构形成石墨烯。本发明获得的石墨烯薄膜具有质量好、大尺寸且层数可控的优势,且易于转移。另外,离子注入技术、退火技术在目前半导体行业都是非常成熟的工艺,本发明的层数可控石墨烯的生长方法将能更快地推动石墨烯在半导体工业界的广泛应用。
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公开(公告)号:CN104803380A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510239652.5
申请日:2015-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B31/04
Abstract: 本发明提供一种石墨烯的制备方法,以天然石墨或人造石墨为原料,在水相环境下进行边缘氧化插层,不破坏面内石墨结构,增大石墨片边缘层间距离,采用气泡剥离法对其进行剥离,从边缘逐渐扩大石墨片层之间的层间距离,使石墨片层间相互脱离,达到剥离效果,获得水溶性的石墨烯。本发明操作流程简单、安全、无污染,制得的石墨烯质量高;由于本发明获得的石墨烯具有水溶性、完美结构和可控尺寸的优点,因此本发明可应用于透明导电薄膜、导热胶、导电浆料、高阻隔复合材料等领域。
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公开(公告)号:CN104726845A
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201510098675.9
申请日:2015-03-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01L21/02527 , C01B32/182 , C01B2204/06 , H01L21/02389 , H01L21/0243 , H01L21/0259 , H01L21/0262 , H01L21/02658
Abstract: 本发明提供一种h-BN上石墨烯纳米带的制备方法,包括:1)采用金属催化刻蚀方法于h-BN上形成具有纳米带状沟槽结构的h-BN沟槽模板;2)采用化学气相沉积方法于所述h-BN沟槽模板中的生长石墨烯纳米带。本发明采用CVD方法直接在h-BN上制备形貌可控的石墨烯纳米带,解决了长期以来石墨烯难以在绝缘衬底上形核生长的关键问题,避免了石墨烯转移及裁剪加工成纳米带等复杂工艺将引入的一系列问题。另外,本发明还具有以下优点:一方面可以提高石墨烯质量实现载流子高迁移率,另一方面通过控制石墨烯形貌如宽度、边缘结构实现调控石墨烯的电子结构,在提高石墨烯性能的同时,简化了石墨烯制备工艺,降低生产成本,以便于石墨烯更广泛地应用于电子器件的制备。
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公开(公告)号:CN104698416A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201310654785.X
申请日:2013-12-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供一种标定电路结构及利用所述结构进行标定的方法。根据本发明所述标定电路结构,所述标定电路结构包括:印刷电路板,印制第一线圈和多个第二线圈,其中,所述第一线圈的尺寸大于所述多通道超导量子干涉传感阵列的尺寸;各所述超导量子干涉器磁传感器位于以所述第一线圈的圆心为圆心的至少两个同心圆的圆周上,各所述第二线圈对应一个同心圆圆周上的超导量子干涉器磁传感器,所述第二线圈的尺寸介于所述超导量子干涉器磁传感器中探头的尺寸与比所述探头的尺寸大一预设值之间;与所述印刷电路板相连、且按照设定的输送规则向各所述同心圆线圈输送驱动电流的信号发生器。本发明利用印刷电路板的一体化设计来提供同心圆线圈,能有效避免同心圆线圈之间的误差,具有极高的定位精准度。
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公开(公告)号:CN104698405A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201310653370.0
申请日:2013-12-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种读出电路及所适用的双级的超导量子干涉传感器。所述传感器包括:双级超导量子干涉组件;与所述双级超导量子干涉组件相连的读出电路;与所述读出电路中的受控积分反馈子电路相连、且与所述第一级超导量子干涉器件互感的第一反馈线圈;与所述读出电路中的受控放大组件相连、且与所述第二级超导量子干涉器件互感的第二反馈线圈。其中,所述读出电路包括:与所述双级超导量子干涉组件连接的前置放大组件;与所述前置放大组件连接、且将输出信号受控的反馈给所述组件中的第二级SQUID或归零的受控放大组件;与所述前置放大组件和受控放大组件输出端相连、且将所输出的信号受控的反馈给所述组件中的第一级SQUID或归零的受控积分反馈子电路。
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公开(公告)号:CN104569883A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310470963.3
申请日:2013-10-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00 , G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器件的特性扫描装置及方法。本发明中包括:基于互感原理输出变化电压信号并向超导量子干涉器件提供高频交流扫描磁场环境的扫描磁通加载单元;与所述超导量子干涉器件的供电端相连、且提供变化的偏置电流的偏置电压发生单元;与所述超导量子干涉器件的输出端相连的放大滤波单元;与所述偏置电压发生单元和所述放大滤波单元相连的特性曲线生成单元,用于将所述偏置电压发生单元所提供的变化的偏置电流与所述放大滤波单元所输出的感应信号幅度描绘成磁通电压转换强度与偏置电流关系的特性曲线。本发明能够直接利用该特性曲线来确定所述超导量子干涉器件的磁通转换的情况,并判断超导量子干涉器件的性能好坏,依此筛选出合格的所述超导量子干涉器件。
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公开(公告)号:CN104569866A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310479752.6
申请日:2013-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035 , G01R1/44
Abstract: 本发明提供一种温度修正单元及修正方法、所适用的超导量子干涉传感器。本发明所述传感器包括:超导量子干涉器件;与所述超导量子干涉器件相连且在外接的调试信号的控制下在调试状态和工作状态之间进行切换的读出电路;与所述读出电路置于同一环境中的温度传感器;与所述温度传感器和读出电路相连且外接所述调试信号的温度修正单元,用于在由调试状态转为工作状态时,将所测得的温度值为基准温度值,在所述工作状态期间,按照预设的至少一条电压-温度对应关系实时计算当前温度值与基准温度值在各自对应关系中所对应的电压之间的偏差,并根据所得偏差来对所述读出电路中相应电压进行温度补偿。以解决现有传感器的读出电路所处环境温度对感应信号造成干扰的问题。
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公开(公告)号:CN104562195A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310496579.0
申请日:2013-10-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种石墨烯的生长方法,至少包括以下步骤:S1:提供一绝缘衬底,将所述绝缘衬底放置于生长腔室中;S2:将所述绝缘衬底加热到预设温度,并在所述生长腔室中引入含有催化元素的气体;S3:在所述生长腔室中通入碳源,在所述绝缘衬底上生长出石墨烯薄膜。本发明通过引入气态催化元素催化方式,在绝缘衬底上快速生长高质量石墨烯,避免了石墨烯的转移过程,能够提高石墨烯的生产产量,而且大大降低了石墨烯的生长成本,有利于批量生产;本发明生长的石墨烯可应用于新型石墨烯电子器件、石墨烯透明导电膜、透明导电涂层等领域。
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公开(公告)号:CN104459572A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201310440262.5
申请日:2013-09-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种基于多通道的超导量子干涉传感系统,包括:多个超导量子干涉器件;至少一个集成式读出电路结构,其中,所述集成式读出电路结构包括:多个读出电路板,用于将所述超导量子干涉器件所提供的感应信号进行放大、反馈处理,并予以输出;将各所述超导量子干涉器件和读出电路板对应相连的第一接口;将各所述读出电路板所处理的感应信号予以输出的第二接口。本发明通过将读出电路板予以高度集成,能够有效减小多通道的超导量子干涉传感系统的体积,更便于携带。
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