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公开(公告)号：CN103235393A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310155984.6
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02E30/14
Abstract: 一种开放式高通量大口径光学聚焦与频率转换装置，本发明涉及光学聚焦与频率转换装置，本发明为了解决现有惯性约束聚变装置中，存在光学元件难以在线拆装、结构复杂、成本高的问题，本发明包括倍频模块组件、光传输管道、透镜模块、真空密封取样模块和三倍频参数诊断包，倍频模块组件、光传输管道、透镜模块和真空密封取样模块依次且同轴连接在光路中；透镜模块包括透镜模块壳体、打靶透镜和驱动机构；真空密封取样模块包括真空密封壳体、主光路真空窗口、诊断包真空窗口、圆法兰、方法兰和屏蔽片；圆法兰与真空靶室的真空法兰对接。本发明适用于高通量大口径光学聚焦与频率转换。
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公开(公告)号：CN103235388A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310156756.0
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种高通量大口径光学引导与检测装置及其光路调整方法。本发明的目的是为了实现高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中光路引导与检测问题。该一种高通量大口径光学引导与检测装置主要由取样法兰组件、光束波形测量组件、光束能量测量组件、半透射镜组件、反射镜组件和屏蔽衰减组件组成，调整两个偏摆调整螺栓和两个俯仰调整螺栓以调整反射镜和半透视镜的位置，确保取样光路的正确。本发明的有益效果是：该高通量大口径光学引导与检测装置及其光路，能够在有限空间内通过现场试安装后的实际测试对取样光路进行修正，确保能量卡计迎光面的面积在可控范围内，同时光电管能够对取样光束进行采样分析。
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公开(公告)号：CN103235385A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310155942.2
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装装置。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱和连接手轮；5自由度位姿调整台的竖向位置调整单元、横向位置调整单元、纵向位置调整单元和2自由度姿态调整单元由上至下依次连接，横向位置调整单元通过横向手轮转动横向平动螺杆，驱动横向工作台平移；纵向位置调整单元通过纵向手轮转动纵向平动螺杆，驱动纵向工作台平移；洁净拆装转运箱与2自由度姿态调整单元连接，连接手轮安装在连接轴的外端。本发明用于大口径光学元件的横向在线洁净拆装中。
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公开(公告)号：CN103230901A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310156290.4
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光传输光学系统中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。阶梯式布置的上节流板和下节流板上设置有相互连通的进气口和冲扫气口，下节流板设在透镜系统的正下方，排气口设在排气罩的顶面上，排气罩系统设在光学系统上端，上节流板设在光学系统内，下节流板设在光学系统下端。洁净气体由上节流板和下节流板按照特定进气流量进入光学系统内部，气体经过透镜系统时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果，使污染物随冲扫气体经排气罩系统排出光学系统内部。本发明用于保持激光传输光学系统中洁净度。
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公开(公告)号：CN103111855A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310052562.6
申请日：2013-02-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/38
CPC classification number: F16C32/0696 , F16C2300/14 , F16C2322/39
Abstract: 一种大径高比超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上，上浮止推板与转台底座固接，下浮止推板通过内隔环与转台底座固接，下浮止推板置于上浮板的环形槽内，径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接，主轴与上浮板固接，液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜，在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜，从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103056397A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210589483.4
申请日：2012-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大直径超精密气体静压回转轴系，属于超精密制造装备技术领域。以满足大尺寸KDP晶体等光学元件加工需求。数个上、下浮节流器圆周均布安装于上、下浮止推板上，上浮板与下浮板固接，下浮止推板与固定支承座固接，上浮止推板通过内隔环与固定支承座固接，上浮止推板和连接板置于下浮板的外、内环形槽内，径向轴瓦通过连接板和内隔套与固定支承座固接，主轴与下浮板固接，压缩空气经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮静压止推气膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推气膜，在径向轴瓦与主轴之间形成径向静压支承气膜，从而形成轴向闭式气体静压平面圆环止推轴承和径向气体静压圆柱轴承。本发明用于大尺寸KDP晶体等光学元件加工。
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公开(公告)号：CN102902865A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210404048.X
申请日：2012-10-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种液体静压主轴的逆向制作方法，涉及液体静压主轴领域。它是为了解决现有的液体静压主轴制作困难，以及无法在制作前对主轴的动态性能进行预测的问题。它首先根据加工需求提出设计液体静压主轴的设计目标，然后根据机械结构设计准则确定出主轴的结构形式，再根据所确定的结构形式建立主轴的结构参数，计算相应参数变量所对应的主轴的第一阶固有频率w0，并将w0与设计目标ωn相比较，若差值非正，则将ω0所对应的参数输出，并由液体静压原理迭代出合适的液体静压轴承结构参数完成液体静压轴承的逆向制作；反之，则说明采用该种结构形式的主轴无法满足设计要求，需要改变主轴的结构形式，然后再次进行计算。本发明适用于液体静压主轴的动力学制作。
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公开(公告)号：CN102837367A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210361416.7
申请日：2012-09-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D1/18
Abstract: 单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法，属于大尺寸脆性光学元件超精密加工领域，本发明为解决现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时波纹度误差、频域评价指标PSD1难以保证的问题。本发明该方法包括：一：粗加工；二：获取纵向条纹的空间周期T；三：判断加工机床的刚度，刚度过低，执行四；刚度过高，执行五；四：增大横梁与调平垫体之间的平均压力，然后执行六；五：减小横梁与调平垫体之间的平均压力或接触刚度，然后执行六；六：二次超精密加工，七：重新检测PSD1值，八：判断PSD1≤15nm2·mm是否成立；不成立，返回二；成立，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件U的波纹度误差及频域指标PSD1的控制。
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公开(公告)号：CN101887171B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201010222497.3
申请日：2010-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法，涉及一种光学元件的表面质量评价方法以及一种获得元件最佳加工参数的方法。所述评价方法为：首先获得原始加工表面的形貌数据矩阵，然后利用功率谱密度法、二维连续小波变换法及傅立叶模方法，获得各个特征频率对应的相对激光损伤阈值，然后选择其中的最小值作为评价结果；所述获得元件最佳加工参数的方法，即利用该评价方法，通过比较各种加工参数条件下得到的光学元件的相对激光损伤阈值，进而获得最优加工参数。本发明可用于评价光学元件的质量，并可用于指导光学元件的加工过程。
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公开(公告)号：CN101870002B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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