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公开(公告)号：CN101887171B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201010222497.3
申请日：2010-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法，涉及一种光学元件的表面质量评价方法以及一种获得元件最佳加工参数的方法。所述评价方法为：首先获得原始加工表面的形貌数据矩阵，然后利用功率谱密度法、二维连续小波变换法及傅立叶模方法，获得各个特征频率对应的相对激光损伤阈值，然后选择其中的最小值作为评价结果；所述获得元件最佳加工参数的方法，即利用该评价方法，通过比较各种加工参数条件下得到的光学元件的相对激光损伤阈值，进而获得最优加工参数。本发明可用于评价光学元件的质量，并可用于指导光学元件的加工过程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101870002B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号：CN101706444B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200910073207.0
申请日：2009-11-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 一种光学晶体元件激光损伤阈值检测装置，属于光学晶体元件激光损伤阈值检测技术领域。它解决了目前没有专用检测装置来实现光学晶体元件激光损伤阈值的精确测试的问题。它利用控制计算机编程来控制伺服电动机和平板直线电机的运动，使光学晶体元件上起始测试区域处于激光光束路径上，通过竖直微位移工作台和水平微位移工作台调整CCD摄像头与光学晶体元件之间的相对位置，伺服电动机的旋转运动通过滚珠丝杠转化为滚珠丝母的直线运动，滚珠丝母带动丝母滑块上下运动，从而带动L形直线电机支撑板的上下运动，使平板直线电机可以上下调节光学元件夹具体的高度。本发明用于光学晶体元件激光损伤阈值的检测。
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公开(公告)号：CN101870002A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号：CN101706444A
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200910073207.0
申请日：2009-11-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 一种光学晶体元件激光损伤阈值检测装置，属于光学晶体元件激光损伤阈值检测技术领域。它解决了目前没有专用检测装置来实现光学晶体元件激光损伤阈值的精确测试的问题。它利用控制计算机编程来控制伺服电动机和平板直线电机的运动，使光学晶体元件上起始测试区域处于激光光束路径上，通过竖直微位移工作台和水平微位移工作台调整CCD摄像头与光学晶体元件之间的相对位置，伺服电动机的旋转运动通过滚珠丝杠转化为滚珠丝母的直线运动，滚珠丝母带动丝母滑块上下运动，从而带动L形直线电机支撑板的上下运动，使平板直线电机可以上下调节光学元件夹具体的高度。本发明用于光学晶体元件激光损伤阈值的检测。
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公开(公告)号：CN101887171A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201010222497.3
申请日：2010-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 光学元件表面波纹度对其激光损伤阈值影响的评价方法及由此获得元件最佳加工参数的方法，涉及一种光学元件的表面质量评价方法以及一种获得元件最佳加工参数的方法。所述评价方法为：首先获得原始加工表面的形貌数据矩阵，然后利用功率谱密度法、二维连续小波变换法及傅立叶模方法，获得各个特征频率对应的相对激光损伤阈值，然后选择其中的最小值作为评价结果；所述获得元件最佳加工参数的方法，即利用该评价方法，通过比较各种加工参数条件下得到的光学元件的相对激光损伤阈值，进而获得最优加工参数。本发明可用于评价光学元件的质量，并可用于指导光学元件的加工过程。
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