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公开(公告)号：CN103471653A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310401653.6
申请日：2013-09-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明涉及共烧陶瓷高温传感器，具体是一种基于共烧陶瓷技术的高温无线无源三参数集成传感器。本发明解决了现有共烧陶瓷高温传感器只能进行单参数测量的问题。基于共烧陶瓷技术的高温无线无源三参数集成传感器包括第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片、第七生瓷片、第八生瓷片、第九生瓷片、第十生瓷片、第十一生瓷片；第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片、第七生瓷片、第八生瓷片、第九生瓷片、第十生瓷片、第十一生瓷片自下而上依次层叠成一体。本发明适用于自动化、航天、航空和国防军工领域中的同一位置多参数测量。
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公开(公告)号：CN103293337A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310179514.3
申请日：2013-05-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种无线无源电容式加速度计，其包括内设封闭空腔的衬底，质量块通过悬臂梁固定在封闭空腔内；封闭空腔内位于质量块上方的位置设有第一电容、位于质量块下方的位置设有第二电容；衬底的底面上设有平面螺旋电感；衬底和质量块上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线，电连线将第一电容、第二电容和平面螺旋电感串联成闭合回路。本发明传感器设计巧妙，结构简单，灵敏度高，测试结果准确，无线无源，可以在恶劣环境中使用，而且测量时采用非接触式测量，大大的扩宽了该传感器的适用范围。
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公开(公告)号：CN103115704A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310029417.6
申请日：2013-01-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于压力传感器的技术领域，具体是一种高温压力传感器及其制备方法，解决了现有的压力传感器由于设计不够合理导致其在高温潮湿等环境下失效无法正常工作的问题。其包括自上而下的四层，第一层刷有平面方形螺旋电感和电容上极板；第二层设有密封的压力空腔，第四层刷有电容下极板与顶层平面方形螺旋电感的内部环心连接。制备方法：将压力空腔中填入碳浆料；对层压后的结构进行高温烧结将碳从气孔挥发出去形成完好的空腔。烧结完后再将玻璃珠放于气孔处进行二次烧结封口。本发明既可以在常温下工作又可以在较高的温度下工作，其工作温度可达到400℃以上，而且其结构小巧，制造工艺简便，易于工业化生产。
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公开(公告)号：CN214893786U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121545052.9
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型描述一种非本征光纤法珀压力传感器，其包括敏感单元、以及与敏感单元连接的光学组件，敏感单元包括依次层叠的第一膜片、配置为光线可透射而过的第二膜片、以及具有通孔的第三膜片，第一膜片与第二膜片之间形成有空腔，通孔的轴线正交于第一光学表面，光学组件嵌设于通孔中，经由光学组件和第二膜片而进入空腔的光线能够在第一光学表面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，第一膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变，通过感测光学信号以对压力进行感测。根据本实用新型，能够提供一种在高温环境中感测压力的压力传感器。
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公开(公告)号：CN214893787U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121545055.2
申请日：2021-07-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型描述一种光纤法珀压力传感器，其包括敏感单元和光学组件，敏感单元包括层叠设置的具有第一光学表面的第一膜片以及具有第二光学表面的第二膜片，第一光学表面与第二光学表面相对且平行地设置并且在第一光学表面与第二光学表面之间形成有空腔，第一膜片具有与空腔连通的通孔，光学组件嵌设于通孔中，经由光学组件而进入空腔的光线能够在光学组件嵌入于通孔中的一端的端面与第二光学表面之间进行反射并生成包括第一光学表面与第二光学表面的间距信息的光学信号，其中，第二膜片配置为受到压力作用而发生形变以使第一光学表面与第二光学表面的间距发生改变，通过感测光学信号以感测压力。根据本实用新型，能够在高温环境中感测压力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN205643196U
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201620340652.4
申请日：2016-04-22
Applicant: 中北大学
IPC: G01N22/00
Abstract: 本实用新型公开了一种恶劣环境化学参量提取装置，该装置包括处在恶劣环境下的化学参量敏感单元，具有射频或者微波微带天线结构，用于将恶劣环境中的化学参量转换为射频或者微波信号谐振频率；处在普通环境中的信号读取单元，包括发射天线、信号放大电路、测控电路、记录存储电路和一加电端口，具有射频或者微波源，用于发射宽频射频或者微波信号，读取宽频或者微波信号；所述信号读取单元通过微波无线通讯读取处在恶劣环境中的化学参量敏感单元的信号。本实用新型彻底摒弃了LC谐振式无线无源化学传感器因品质因数Q低导致的传输距离短、高温无信号问题，能有效的实现高温的化学参量传感。
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公开(公告)号：CN204705422U
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201520476152.9
申请日：2015-07-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本实用新型公开了一种基于HTCC技术的无源压力敏感头，它涉及压力传感器技术领域。它包括读取电路储存室、耐高温隔热层、无源压敏微结构和封盖，耐高温隔热层的前端安装有无源压敏微结构，耐高温隔热层的后端安装有读取电路储存室，读取电路储存室中设置有可检测无源压敏微结构中谐振频率变化的天线接收电路，无源压敏微结构的前端设置有封盖，读取电路储存室、耐高温隔热层、无源压敏微结构集成于一个敏感头中，无源压敏微结构采用高温共烧陶瓷氧化铝流延带和导电铂浆的压敏微结构。本实用新型结构简单，设计合理，稳定性好，灵敏度高，保证了压敏结构在高温环境的性能，可靠性高，实用性强。
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公开(公告)号：CN217586060U
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202220892227.1
申请日：2022-04-18
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型属于红外热电堆探测器封装技术领域，解决了外界红外辐射透过滤光片照射到热电堆薄膜时，一部分被反射、一部分透过薄膜照射到底部，仅少部分辐射被薄膜吸收，导致响应率低的问题。提供了一种可增强红外热电堆探测器红外吸收的封装结构，包括红外传感器芯片、封装管帽和封装管座，封装管座位于封装管帽底部且与封装管帽构成一封闭的中空区域，红外传感器芯片置于中空区域中且与封装管座之间通过反射底座连接，封装管帽上端对应红外传感器芯片的位置具有辐射口，辐射口通过一凸透滤光片覆盖。通过在红外传感器芯片的下方设置可以反射透过芯片膜层的红外光的反射底座，使得红外传感器芯片二次吸收红外辐射，进而增强探测器的性能。
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公开(公告)号：CN216846681U
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202220358676.8
申请日：2022-02-22
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型属于压力传感器封装技术领域，解决了现有高温压力传感器在封装时存在的结构强度低及悬空键合引线不稳定的问题。提供了一种高温压力传感器封装结构，包括压敏芯片、玻璃转接板、硅基底和玻璃封装罩，玻璃转接板和玻璃封装罩内部均贯穿设置有金属柱层，硅基底的上表面具有金属焊盘组，其中内侧的金属焊盘连接在玻璃转接板内部的金属柱层下端，外侧的金属焊盘连接在玻璃封装罩内部的金属柱层的下端，压敏芯片的下表面具有与玻璃转接板内部的金属柱层上端连接的金属焊盘。该封装结构实现了良好的气密性，保证了足够的封装强度；整体封装结构内不含有悬空的引线，避免了悬空键合引线的不稳定性的缺点。
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公开(公告)号：CN205247597U
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201520976798.3
申请日：2015-12-02
Applicant: 中北大学
Abstract: 本实用新型公开了一种恶劣环境物理参量的有线提取装置，包括处在恶劣环境下的物理参量敏感单元，具有射频或者微波谐振结构，用于将恶劣环境中的物理参量转换为射频或者微波信号谐振频率；同时处在恶劣环境与普通环境中信号传输单元，具有宽频带特性，整个射频、微波频段信号均可在其上传输，用于将敏感单元获得谐振频率传输给信号读取单元；处在普通环境中的信号读取单元，包括信号放大电路、测控电路、记录存储电路和一加电端口，具有射频或者微波源，用于发射宽频射频或者微波信号，读取宽频或者微波信号。本实用新型使用有线方式提取恶劣环境的物理参量，可以对物理参量敏感单元中损耗的能量进行补充。
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