公开(公告)号：CN112129972B

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202010572531.3

申请日：2020-06-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P15/097

Abstract: 一种惯性传感器、电子设备以及移动体。所述惯性传感器具有：基板；可动体，绕摇动轴摇动；以及电极，配置于基板。可动体具有设置为夹着摇动轴的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有：对称部，与第二可动部相对于摇动轴对称；以及非对称部，位于比对称部离摇动轴更远侧。电极具有：第一检测电极，与对称部重叠；以及第一虚设电极，与可动体为同电位，且与对称部以及非对称部重叠。对称部具有：第一开口，设置于与第一检测电极重叠的第一部分；以及第二开口，设置于与第一虚设电极重叠的第二部分。并且，第一开口相对于第一部分的开口率比第二部分相对于第二开口的开口率小。

公开(公告)号：CN112305262B

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202010739324.2

申请日：2020-07-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 惯性传感器、电子设备和移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着Y轴的摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在从与所述Y轴正交的Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，在所述检测电极与所述可动体之间形成静电电容；露出部，设置在所述检测电极的内侧，供所述基板的所述可动体一侧的面露出；突起，在从所述Z轴方向俯视时与所述可动体重叠，并从所述基板的所述露出部向所述可动体一侧突出设置；以及覆盖电极，设置在所述突起的顶部，所述覆盖电极与所述可动体为等电位。

公开(公告)号：CN114485599A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111246032.6

申请日：2021-10-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5614 ,  G01C19/5776

Abstract: 物理量传感器、物理量传感器器件以及惯性测量装置，能同时实现高灵敏度化和低阻尼化。物理量传感器(1)包含：基板(2)，其设置有第1固定电极(24)；可动体(3)，其包含与第1固定电极对置的第1质量部(34)。第1质量部包含第1区域(61)和远离旋转轴(AY)的第2区域(62)，在第1、第2区域分别设置有第1、第2贯通孔组，可动体包含基板侧的第1面(6)和第2面(7)。在第1质量部的第1面，设置有用于使第1区域中的第1质量部与第1固定电极间的第1空隙的第1间隙距离小于第2区域中的第1质量部与第1固定电极间的第2空隙的第2间隙距离的阶梯差或斜面。第1和第2贯通孔组的贯通孔的深度小于可动体的最大厚度。

公开(公告)号：CN113899354A

公开(公告)日：2022-01-07

申请号：CN202110764282.2

申请日：2021-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  永田和幸 ,  田中悟 ,  山崎成二

IPC: G01C19/5649 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。

公开(公告)号：CN106338619B

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201610514137.8

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提供一种物理量的检测精度优良的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有元件片(4),元件片(4)具有：支承部(41)，其具备第一支承部(411)、第二支承部(412)以及对第一、第二支承部(411、412)进行连结的第三支承部(413)，并且通过第三支承部(413)而与底基板(2)连接；可动电极部(42)，其位于第一、第二支承部(411、412)之间并具有可动电极指(422)；弹性部(43)，其对可动电极部(42)和支承部(41)进行连结并具有弹性；固定电极部(48、49)，其具有与可动电极指(422)对置配置的固定电极指(483、493)。

公开(公告)号：CN106338281B

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201610509140.0

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备可动质量部(32)，其具有第一可动电极部(322a)和第二可动电极部(322b)，所述第一可动电极部(322a)具有与第一固定电极部(213a)对置的部分，所述第二可动电极部(322b)具有与第二固定电极部(213b)对置的部分，并且所述可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)、第二固定电极侧固定部(21b)、第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)的形状。

公开(公告)号：CN109839516A

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201811423681.7

申请日：2018-11-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125 ,  G01C21/16

Abstract: 本发明提供能够减少可动部的过度位移的物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体。物理量传感器包括：基板；固定部，固定于基板；可动部，包括包围固定部的框部，与固定部连接，并能相对于基板在X轴方向上位移；以及可动电极，支承于可动部。另外，框部包括：第一外缘部，位于X轴方向的一侧，并沿着Y轴方向配置；以及第二外缘部，位于X轴方向的另一侧，并沿着Y轴方向配置。另外，相比第一外缘部，固定部更靠第二外缘部一侧而配置，基板包括：第一凸部，与第一外缘部重叠，并与第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，与第二外缘部重叠，并与第二外缘部相分离地配置。

公开(公告)号：CN109540119A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201811099867.1

申请日：2018-09-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 提供一种能够发挥良好温度特性的物理量传感器和传感器器件、电子设备、便携式电子设备及移动体。物理量传感器包括基板、检测第一方向加速度的一对第一元件部以及检测第二方向加速度的一对第二元件部。第一元件部包括能够沿第一方向位移的第一可动部、配置于第一可动部的第一、第二可动电极指、与第一、第二可动电极指相对配置的第一、第二固定电极指、以及支承第一、第二固定电极指的第一、第二支承部。第二元件部包括能够沿第二方向位移的第二可动部、配置于第二可动部的第三、第四可动电极指、与第三、第四可动电极指相对配置的第三、第四固定电极指、以及支承第三、第四固定电极指的第三、第四支承部。

公开(公告)号：CN104864862B

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201510085068.9

申请日：2015-02-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5642

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备以及移动体。功能元件包括：基板；可动体，其具备可动电极部；支承部，其对可动体以能够围绕第一轴进行位移的方式进行支承；第一固定电极部，其至少一部分与以第一轴为边界而划分出的作为可动体的一方的第一部分对置地被配置于基板上；第二固定电极部，其至少一部分与以第一轴为边界而划分出的作为可动体的另一方的第二部分对置地被配置于基板上；第三固定电极部，其至少一部分与第一部分对置地被配置于基板上，在俯视观察时，在可动体上设置有开口部，所述开口部与第一固定电极部与第三固定电极部之间的基板的区域对置，开口部的宽度为区域的宽度以上。

公开(公告)号：CN109425335A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810993602.X

申请日：2018-08-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2207/097 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0145 ,  B81C2203/031 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0871 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 提供能够实现检测精度高灵敏度化以及耐冲击性提高的物理量传感器和传感器器件、便携式电子设备、电子设备及移动体。物理量传感器包括：基板；可动部，能够相对于所述基板在第一方向上位移；第一、第二可动电极部，设置于所述可动部；第一固定电极部，固定于所述基板，与所述第一可动电极部在所述第一方向相对地配置；第二固定电极部，固定于所述基板，与所述第二可动电极部在所述第一方向相对地配置；限制部，限制所述可动部的所述第一方向的可动范围；第一布线，设置于所述基板，与所述第一固定电极部电连接；第二布线，设置于所述基板，与所述第二固定电极部电连接，在俯视观察所述基板时，所述第一、第二布线分别与所述限制部交叉。