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公开(公告)号：CN110444822A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910755510.2
申请日：2019-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种一体化准固态锌离子电池的制备方法，它涉及电池技术领域，本发明利用水凝胶为基体，将锌离子电池的正极和负极材料嵌入凝胶基体内部，实现电池的一体化结构，避免了传统电池正极、隔膜和负极的分层组装带来的界面、兼容和短路等问题。本发明以水凝胶作为锌离子电池的凝胶电解质，中间包埋电沉积法制备的柔性锌负极，之后将聚合物材料原位化学聚合在凝胶电解质表面作为正极。得到形状可定制的一体化准固态锌离子电池可以有效的减少了电池内部的界面阻抗，促进电解质离子在电极内部快速传输。最重要的是通过此设计能为电池提供更多的正极材料负载面积，进而大大提高电池的能量密度。本发明应用于电池领域。
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公开(公告)号：CN105137717B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510474801.6
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN104977816B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201510474805.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为寻优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Particle Swarm Optimization优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN105021881B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201510465243.7
申请日：2015-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R19/25
Abstract: 高精度大量程电流电压的分级测量方法，属于弱电电流、电压信号的测量领域，本发明为解决现有技术无法完成大量程信号的高精度测量问题。本发明方法利用n个不同量程、不同精度的电流电压传感器对同一待测信号进行测量；并将n个电流电压传感器按测量精度由低到高的顺序进行排序依次测量待测信号；先由量程大、精度低的初级传感器开始测量并取结果中的精确部分，后通过电流电压基准源将实测信号中的已确定的精确部分进行补偿，并对剩余信号进行下一级的测量直至量程最小、精度最高的传感器测量结束，再进行数据融合，从而实现对弱电领域的大电流、大电压信号的高精度测量。
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公开(公告)号：CN104914683B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510353919.3
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种三自由度光刻机双工件台框架气浮补偿方法，本发明属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度控制定位的技术领域。它的方法步骤为：在框架的一个长边同一侧固定安装第一三角光传感器、第二三角光传感器，在框架的短边上固定安装第三三角光传感器；设传感器的测量值在初始值的基础上变化了△m1,△m2,△m3，利用△m1,△m2求角度θ；以第二三角光传感器为研究对象，计算三个运动对第二三角光传感器读数的影响；得出框架沿Y方向偏移的距离△Y，在X向偏移的距离△X；根据θ,△X,△Y的值进行电机给定补偿；补偿公转电机控制给定，补偿X/Y电机的控制给定。本发明可以实现光刻机双工件台的换台补偿，对于外界的对框架的干扰可以实时动态补偿宏动电机的控制给定，达到顺利换台的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104792351B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510187632.8
申请日：2015-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于绝对式码盘的复合式码盘误码校正方法，属于光电测量和自动控制技术领域。本发明针对绝对式光电码盘处理误码能力差，提出了一种复合式比较补偿算法。所述码盘误码校正方法通过以下步骤实现：增量码值w2和上一次的光栅码值w0_old进行赋值，完成变量初始化；判断当前光栅码值w0与上一次的光栅码值w0_old之差dw0，以计算最终增量码值w2′；确定误码校正阈值n,(n≥0)；利用绝对码值w1与最终增量码值w2′之差的绝对值|w1‑w2′|判断当前系统是否产生误码；若当前系统产生误码，则用最终增量码值w2′代替绝对码值w1，即：w1＝w2′来校正当前系统，得到最终的码盘值W＝(w2′
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公开(公告)号：CN104201963B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410460927.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抑制直线电机定位力补偿控制器，属于电机补偿控制领域。为了解决目前的补偿控制器结构复杂且控制周期长反应速度慢的问题。本发明的补偿控制器，采用迭代控制器的方法，对永磁同步直线电机的推力波动进行在线补偿，其中补偿控制器采用了PI与重复控制相结合的方式进行设计。这种方法避免了利用扰动模型进行补偿控制时，由复杂的数学模型或者冗杂的建模数据带来的系统开销，将非线性的直线电机推力波动补偿控制大幅简化，可以有效降低控制周期进而提升系统的反应速度。它用于直线电机的定位力补偿。
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公开(公告)号：CN104019940B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410277199.2
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。
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公开(公告)号：CN104029829B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
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公开(公告)号：CN105186959A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510527408.9
申请日：2015-08-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P23/00
Abstract: 一种伺服系统滑模控制器参数整定方法。本发明属于运动控制领域。它的方法步骤一：根据伺服系统的机械和电气结构建立伺服系统传递函数模型，获取模型中所需的参数；二：搭建相应的系统simulink仿真模型，留出粒子群优化算法所需的输入和输出接口；三：根据位置跟踪误差和速度跟踪误差需求；四：在matlab中编程对粒子群进行优化；五：将位置矢量对应的c,k和ε传入simulink仿真模型得到系统的位置误差和速度误差响应；六：对每个粒子的速度和位置进行更新；七：当k达到设定的最大迭代次数后，结束迭代过程，输出优化结果，否则返回步骤五；八：将全局最优位置矢量代入伺服系统滑模控制器。本发明能实现抖振的幅值最小或者抖振完全消除，跟踪误差达到最小。
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