一种LC-SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法

    公开(公告)号:CN106289107A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610865086.3

    申请日:2016-09-29

    CPC classification number: G01B11/2504

    Abstract: 本发明涉及光学非球面精密测量领域,涉及了一种基于LC-SLM误差补偿和数字相移技术的非球面面型检测方法。利用ZEMAX软件光学追迹得到光学系统的理想波像差,采用一系列正交Zernike多项式表征其波像差,得到对应的计算全息图,并加载到LC-SLM上,利用残差迭代法,降低了LC-SLM曲率误差和边缘场效应等因素带来的影响,提高了LC-SLM的波前模拟精度,结合起补偿作用的会聚透镜和数字相移及干涉条纹分析技术,大大提高了测量的动态范围,可以实现对大非球面度面型的实时检测。

    一种光学三维形貌测量方法

    公开(公告)号:CN105953749A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610451777.9

    申请日:2016-06-21

    Inventor: 赵宏 张春伟

    CPC classification number: G01B11/254

    Abstract: 一种光学三维形貌测量方法,先按照实际测量要求,布置好由投影系统、相机组成的测量系统;然后根据测量需要设计条纹图并由投影系统投影到被测物体表面,被物体反射的条纹图由相机采样;再从采样条纹图解调出包裹相位,解包裹后得到条纹图的真实相位值;然后由远心镜头的放大率、相机像元大小及采样条纹图的图像坐标求解得到被测物体X、Y轴坐标;最后标定得到投影系统的相关参数,结合条纹相位,根据三角关系求得被测物体Z轴的坐标;本发明标定过程简单,既提高了三维坐标的求解速度又能达到更高的测量精度;一次标定即可保证之后所有测量的使用,效率很高。

    单目视觉系统及其使用的便携式球靶标及其测量方法

    公开(公告)号:CN103162622B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201310064021.5

    申请日:2013-02-28

    Abstract: 本发明提供一种单目视觉系统及其使用的便携式球靶标及其测量方法,球靶标由球体、连接块和一系列不同形状和长度的探针组成,探针由接长杆和测头组成,连接块用于支撑每个球体以及连接探针,球形连接块表面打有均匀的14个螺纹孔,与接长杆和球之间采用螺杆连接。设计不同的连接杆以适应不同的测量场合。球体部分由三个以上非共面圆球组成,单个相机拍摄一幅图像即可快速标定摄像机内部参数、确定球心位置,从而得到待测点的三维坐标,为单目测量系统下的深度信息获取提供了一种可行途径。相机移动后,根据球靶标的球体部分单幅图像即可快速标定相机移动外参,实现空间数据拼接,有效扩大测量范围和测量速度。

    一种LED手持靶标光心偏差校正算法

    公开(公告)号:CN105678709A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610019139.X

    申请日:2016-01-12

    CPC classification number: G06T5/006 G06T2207/10012

    Abstract: 本发明公开了一种LED手持靶标光心偏差校正算法:通过分析以LED为手持靶标空间特征点的成像光心偏差成因,找出手持靶标靶面上每个特征点的校正方向,利用双目立体视觉系统获取一对靶标成像像面,利用基础矩阵F建立特征点对的对极几何约束关系,通过粗提取、降噪声、粗定位精定位的过程,选择特征点的最佳校正位置。本算法不拘泥于某种特定型号的LED作为特征点的手持靶标,具有一般通用性,算法稳定性好,鲁棒性高,大幅提高了以LED作为特征点的手持靶标双目立体视觉测量精度。

    一种通用性强的主轴系统动静态性能测试综合实验台

    公开(公告)号:CN102866006B

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201210349417.X

    申请日:2012-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种通用性强的主轴系统动静态性能测试综合实验台。该实验台主要由驱动电主轴模块、机械主轴模块、液压加载模块组成。其中机械主轴模块中主要部件有主轴、轴承、轴承座、预紧力自适应调整装置、温度传感器、位移传感器、压力传感器、油气润滑装置。预紧力自适应调整采用均匀布置的6个压电致动器来完成,以实现对轴系中角接触球轴承预紧力的精确控制。该实验台可以使用不同的轴承配置形式和不同的润滑方式,从而大大的扩展了实验台的性能。通过控制电主轴的转速,使用温度传感器、位移传感器、压力传感器可获取在不同配置和预紧情况下主轴的温升、刚度等性能测试数据。

    一种用于蜂窝阵列式长细通孔的光学检测方法与系统

    公开(公告)号:CN103674976A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310618108.2

    申请日:2013-11-26

    Abstract: 本发明属于光学检测技术,涉及一种用于蜂窝阵列式长细通孔的光学检测方法及系统。光学测量系统由线性面光源、被测工件、光学成像玻璃、聚光透镜、摄像机以及相应的支架部件组成。系统采用光学透射式测量原理,由线性面光源发出强度均匀的平面光,平面光经过被测工件上的阵列式通孔在光学成像玻璃上投射成像,摄像机通过聚光透镜采集光学成像玻璃投影像,然后进行通孔图像处理与识别,判断微细孔的通断情况。该方法可用于生产线和单个工件的通孔率测量。

    一种三频彩色条纹投影三维测量方法

    公开(公告)号:CN102322822B

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201110225971.2

    申请日:2011-08-08

    Abstract: 本发明公开了一种三频彩色条纹投影三维测量方法:使计算机生成彩色条纹图,将该彩色条纹图经数字投影仪投影至被测物面,彩色CCD在另一角度拍摄变形彩色条纹图,将含高频条纹的颜色通道与含中频条纹的颜色通道相减得到高、低频复合的条纹图;继而进行分解,分离高、中载频分量;同理,将含中、低频率分量的颜色通道相减,再进行分解得到中、低载频分量;以二维短时傅立叶变换解调得到的高、中、低各载频分量包裹相位,按低、中、高载频分量依次完成包裹相位展开,得到高频载频项的展开相位,由此展开相位恢复物体高度。该测量方法采用三频彩色条纹投影技术,形成基于单帧拍摄的全场三维测量技术,可以快速实现动态物体的全场三维轮廓测量。

    一种用于视觉坐标测量的手持式光学靶标及其测量方法

    公开(公告)号:CN102062578A

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN201010585260.1

    申请日:2010-12-13

    Inventor: 赵宏 李进军 付强

    Abstract: 一种用于视觉坐标测量的手持式光学靶标及其测量方法,由靶标壳体,测头和一系列不同形状和长度的延伸杆组成。靶标壳体上设有三个以上非共线标志点,它们可唯一确定一平面,每个标志点包含4个LED光点,由4个LED光点中心计算标志点中心坐标,可提高标志点中心提取精度,进而提高测量精度,在1m3的测量空间内,测量精度可达0.1mm。测头可直接安装在靶标壳体上,也可在测头和靶标壳体之间安装延伸杆,以适应不同测量场合的需求。

    一种用于点扫描激光共焦显微镜的面内扫描方法和系统

    公开(公告)号:CN101126834B

    公开(公告)日:2010-05-19

    申请号:CN200710018579.4

    申请日:2007-09-04

    Inventor: 王昭 王春勇 赵宏

    Abstract: 本发明公开了一种用于点扫描激光共焦显微镜的扫描方法和系统,该方法首先将样品台、计算机和扫描共焦显微镜测量物镜构成激光共焦扫描显微镜的三维扫描系统,实现自动控制扫描;然后在样品台上对被测样品定位;三维扫描系统使样品台依次进行旋转、一维横向移动,直至被测样品扫描完一层,接着复位进行轴向扫描被测样品下一层,直至被测样品测量完毕。该方法在于不改变光路的情况下,通过样品台的旋转移动完成扫描,克服了以往扫描台存在的机构复杂,扫描速度慢的缺点。主要应用于点扫描的激光共焦显微镜中,但也可用于类似的光点扫描测量系统中。

    变光源阴影莫尔测量方法及其装置

    公开(公告)号:CN1122189C

    公开(公告)日:2003-09-24

    申请号:CN98102625.7

    申请日:1998-06-22

    Abstract: 一种变光源阴影莫尔测量方法及其装置,包括变光源装置、光栅、光电传感器、放在光栅之后的被测物体、测量结果输出装置,由变光源装置每改变光源位置一次,光电传感器就可通过光栅观察到被测物体相应的莫尔条纹图I,保持其它相对位置不动,连接改变n次(n≥3)光源位置,得到相应N幅莫尔条纹图I1,I2……In(n≥3),通过求解莫尔条纹图,可得到物体的三维形面信息。由于采用了变光源技术,拓宽了阴影莫尔测量方法的运用范围,提高了其技术性能,测量精度提高了10倍,达到10μm,并且使测量时间由40秒缩短1.5秒,从而达到了实时在线检测的需要,可广泛用于微电子工业产品的在线测试。

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