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公开(公告)号：CN101126834A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710018579.4
申请日：2007-09-04
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于点扫描激光共焦显微镜的扫描方法和系统，该方法首先将样品台、计算机和扫描共焦显微镜测量物镜构成激光共焦扫描显微镜的三维扫描系统，实现自动控制扫描；然后在样品台上对被测样品定位；三维扫描系统使样品台依次进行旋转、一维横向移动，直至被测样品扫描完一层，接着复位进行轴向扫描被测样品下一层，直至被测样品测量完毕。该方法在于不改变光路的情况下，通过样品台的旋转移动完成扫描，克服了以往扫描台存在的机构复杂，扫描速度慢的缺点。主要应用于点扫描的激光共焦显微镜中，但也可用于类似的光点扫描测量系统中。
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公开(公告)号：CN101126834B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200710018579.4
申请日：2007-09-04
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种用于点扫描激光共焦显微镜的扫描方法和系统，该方法首先将样品台、计算机和扫描共焦显微镜测量物镜构成激光共焦扫描显微镜的三维扫描系统，实现自动控制扫描；然后在样品台上对被测样品定位；三维扫描系统使样品台依次进行旋转、一维横向移动，直至被测样品扫描完一层，接着复位进行轴向扫描被测样品下一层，直至被测样品测量完毕。该方法在于不改变光路的情况下，通过样品台的旋转移动完成扫描，克服了以往扫描台存在的机构复杂，扫描速度慢的缺点。主要应用于点扫描的激光共焦显微镜中，但也可用于类似的光点扫描测量系统中。
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