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公开(公告)号:CN116314392A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310177623.5
申请日:2023-02-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/0336 , H01L31/08 , B82Y15/00 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种多效应耦合增强的光电传感器及其制备方法,包括二硫化钼层、金纳米颗粒、玻璃基底与多个氧化锌纳米棒,所述氧化锌纳米棒直立于所述玻璃基底上,所述金纳米颗粒附着在所述氧化锌纳米棒的侧壁上,所述二硫化钼层设置在所述多个氧化锌纳米棒上,且通过分子间作用力进行与所述氧化锌纳米棒进行连接。本申请的光电传感器通过将二硫化钼层与氧化锌纳米棒高差基底复合形成一维/二维异质结构;利用光刻模板调控,使氧化锌纳米棒实现周期性阵列生长;先后采用磁控溅射和热退火工艺,在氧化锌纳米棒上实现金纳米颗粒均匀分布;纳米棒顶端的单层二硫化钼产生周期性应变效果。本发明具有制备方法简单、结构可控、均一性优、稳定性佳等优点。
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公开(公告)号:CN116248063A
公开(公告)日:2023-06-09
申请号:CN202310239883.0
申请日:2023-03-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及声波滤波器技术领域,具体为一种高度集成的高带外抑制型声波滤波器及其制备方法。是在传统兰姆波谐振器的基础上,通过工艺集成片上螺旋电感,来降低片引入片外无源电感带来的高频寄生电容、电阻和电感等参数对器件产生的影响,实现了相同阶数滤波器条件下更好的带外抑制。在集成过程中,对衬底上的第一氧化层进行区域划分,使其同时作为谐振器牺牲层和螺旋电感的绝缘层,简化了制作工序,节约了制作时间。此外在材料选择方面,温度补偿层与绝缘区域、牺牲区域均为氧化材料,实现了同一芯片上同种材料的多功能使用,降低加工难度和成本。
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公开(公告)号:CN116183581A
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN202310223601.8
申请日:2023-03-09
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微球聚光特性的SERS基底,所述SERS基底包括玻璃基材、阵列式微结构、贵金属薄膜层和聚光微球,所述阵列式微结构由分布于所述玻璃基材表面且呈单层紧密排列的聚苯乙烯微球构成,所述贵金属薄膜层覆盖于所述阵列式微结构表面,所述聚光微球呈单层紧密排列的阵列分布于所述贵金属薄膜层的表面。本发明还提供了上述基于微球聚光特性的SERS基底的制备方法自组装SERS基底,本发明提供的自组装SERS基底具有均一性好、高灵敏度的特点。本发明制备的基于微球聚光特性的SERS基底具有良好的拉曼增强效果。
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公开(公告)号:CN112512207B
公开(公告)日:2022-09-20
申请号:CN202011357708.4
申请日:2020-11-27
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种可穿戴式自供能红外遥控装置,本发明的装置包括设置在可穿戴设备上的能量采集模块、电源管理模块和红外发射模块;所述能量采集模块通过导电织物与所述电源管理模块连接,所述电源管理模块通过导电织物与所述红外发射模块连接;所述能量采集模块用于将生物机械能转换为电能;所述电源管理模块用于转化和储存所述能量采集模块产生的电能;所述红外发射模块由所述电源管理模块供电,并发射红外信号,用于遥控具有红外接收装置的设备。本发明的装置通过将生物机械能转换为电能为红外发射模块供电,无需外部电源供电即可实现红外遥控。
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公开(公告)号:CN115051676A
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202210403883.5
申请日:2022-04-18
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供的一种高频兰姆波谐振器及其制备方法,属于声波谐振器技术领域,包括自下而上依次设置的具有空气腔的支撑衬底、粘结层、压电薄膜和介质层,介质层在对应空气腔区域设置顶部叉指电极,粘结层在对应空气腔区域设置与顶部叉指电极关于压电薄膜平面对称的底部叉指电极;压电薄膜在非对应空气腔区域设置两个穿孔电极,顶部叉指电极的两个电极分别通过对应穿孔电极与底部叉指电极的对应电极相连,构成两个电极对,对一个电极对的两个电极同时施加幅度和相位均相同的交流电压信号,使得压电薄膜内部产生平行于薄膜平面的激励电场,提高最大机电耦合系数,抑制杂散信号,同时利用介质层和粘结层材料降低温度对谐振器谐振频率的影响。
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公开(公告)号:CN114301328A
公开(公告)日:2022-04-08
申请号:CN202210002684.3
申请日:2022-01-04
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超弹性微纳能源采集和传感一体化微系统、制作方法和使用方法,微系统包括弹性基底、柔性电路板线圈、形变体、导电永磁铁、封装层;所述弹性基底位于形变体底部,封装层位于形变体顶部,所述弹性基底和形变体之间具有放置柔性电路板线圈的第一空间,所述封装层和形变体之间具有放置导电永磁铁的第二空间;所述柔性电路板线圈和导电永磁铁外接供电设备,和/或所述柔性电路板线圈外接激励交流电。本发明实现了一种集成微纳能源采集和传感于一体的超弹性微系统,摩擦部分和电磁部分都具有良好的电学性能输出,同时实现了基于电磁感应定律的主动式电磁运动传感功能和/或基于涡流效应(电磁感应效应的一种表现形式)的被动式感性压力传感功能。
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公开(公告)号:CN112857605B
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN202110008587.0
申请日:2021-01-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了温度传感器及其应用和制备温度感知模块的方法,涉及温度传感器技术领域,解决了温度传感器的温度迟滞现象带来测量不准确和现有穿戴式温度传感器缺乏柔性小巧的后续处理电路的问题。本发明包括叠层结构包括两个温度敏感层,两个温度敏感层中间设置有多个电极,所述多个电极通过导线连接至柔性电路板,所述柔性电路板用于处理电极数据,温度敏感层为包括聚偏二氟乙烯、聚氧化乙烯和导电填料通过旋涂成膜制成的温度敏感层,第一层温度敏感层的聚氧化乙烯分子的分子量小于或大于第二层的聚氧化乙烯分子的分子量。本发明采用两个温度敏感层实现了高精度检测,同时双敏感层会极大的减小数据测量偶然性发生的概率。
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公开(公告)号:CN113410317A
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN202110690461.6
申请日:2021-06-22
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/109 , H01L31/032 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种具有表面等离激元的二硒化钨/二硫化钼异质结光电探测器及其制备方法,包括ITO电极、异质结:由二维二硒化钨和二硫化钼以范德华力结合在一起以及表面等离激元:由金纳米颗粒构成。发明提出的光电探测器,利用表面等离激元对光子能量的吸收作用来增强二维二硒化钨/二硫化钼异质结的光吸收和光响应。发明提出制备方法包括通过激光直写光刻技术在异质结区域的光刻胶上精确地刻出亚微尺寸特定图形如矩形或圆形等窗口、利用移液器在窗口区域滴加纳米颗粒溶液如金纳米颗粒溶液或银纳米颗粒溶液、在震动和加热环境下将金纳米颗粒富集在矩形窗口内的方式在异质结区域上引入表面等离激元。本发明提出的具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器的结构及其制备方法具有新颖和简单的特点。
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公开(公告)号:CN112857605A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202110008587.0
申请日:2021-01-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了温度传感器及其应用和制备温度感知模块的方法,涉及温度传感器技术领域,解决了温度传感器的温度迟滞现象带来测量不准确和现有穿戴式温度传感器缺乏柔性小巧的后续处理电路的问题。本发明包括叠层结构包括两个温度敏感层,两个温度敏感层中间设置有多个电极,所述多个电极通过导线连接至柔性电路板,所述柔性电路板用于处理电极数据,温度敏感层为包括聚偏二氟乙烯、聚氧化乙烯和导电填料通过旋涂成膜制成的温度敏感层,第一层温度敏感层的聚氧化乙烯分子的分子量小于或大于第二层的聚氧化乙烯分子的分子量。本发明采用两个温度敏感层实现了高精度检测,同时双敏感层会极大的减小数据测量偶然性发生的概率。
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公开(公告)号:CN110412487B
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201910702022.5
申请日:2019-07-31
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种织物型柔性复合式传感器及其制作方法,一种织物型柔性复合式传感器,包括织物基底、印刷电极和功能薄膜,印刷电极设置于织物基底和功能薄膜之间,印刷电极为相互嵌套在一起的螺旋状平面线圈组成的电极;功能薄膜由滴加到印刷电极上的蚕丝蛋白溶液在水蒸发后得到,功能薄膜作为传感器内部电容的电介质,使得传感器电容大小随湿度改变;传感器通过印刷电极实现电磁通量的检测,通过印刷电极和功能薄膜实现对湿度的检测。织物型柔性复合式传感器制备方便快捷,采用丝网印刷工艺在可弯折和拉伸的织物上制备功能电极,然后在电极区域滴加蚕丝蛋白水溶液。本发明解决了环境中的电磁通量和湿度检测问题,且制备过程简单、制备周期短且制备成本低。
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