公开(公告)号：CN206074211U

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201621125645.9

申请日：2016-10-15

Applicant: 渤海大学

Inventor： 佘东生 ,  杨一柳 ,  魏泽飞 ,  于震 ,  赵辉

IPC: G01M7/02 ,  G01M13/00

Abstract: 本实用新型公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的低温环境加载装置，它有一个密闭的外腔体，在外腔体一侧设有真空接头，用于对外腔体内部抽真空；在外腔体内底面安装有隔热板，在隔热板上设有内腔体，在内腔体底面的安装孔内固设有多个半导体热电制冷片，在内腔体顶面的安装孔内设有压电陶瓷，在内腔体顶面固定有十字弹簧片，十字弹簧片压在压电陶瓷顶面，在十字弹簧片上设有MEMS微结构。有益效果是：温度控制效果好，降温过程平稳；通过真空接头可对外腔体内部抽真空，使外腔体内的水蒸气含量极低，使微结构表面不会出现结霜现象，提高了测试的精度，解决了在低温环境下对MEMS微结构激励的难题，可在低温环境下实现对MEMS微结构的激振。

公开(公告)号：CN206087867U

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201621124679.6

申请日：2016-10-15

Applicant: 渤海大学

Inventor： 杨一柳 ,  佘东生 ,  尹作友 ,  韩莹

IPC: B65D81/07 ,  B65D85/30

Abstract: 本实用新型公开了一种用于远距离携带MEMS晶圆的装置，它包括外筒体，在外筒体内通过圆周均布的下弹簧支撑有内腔体，在内腔体内设有海绵垫，用于放置MEMS晶圆；在内腔体上面连接有内顶盖，在外筒体上口可拆卸连接有压盖，在压盖上圆周均布有螺孔，在每个螺孔内分别设有上弹簧和限位螺钉，上弹簧下端插入内顶盖顶面对应的凹孔内。有益效果是：由于在内腔体内设有海绵垫隔振，在内腔体与压盖和外筒体底面之间分别上、下弹簧进行隔振，实现了双重隔振结构，可以有效地避免由于外界的冲击和振动所导致的MEMS晶圆的碎裂和损伤，特别适合远距离携带MEMS晶圆。

公开(公告)号：CN206066369U

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201621126495.3

申请日：2016-10-15

Applicant: 渤海大学

Inventor： 杨一柳 ,  佘东生 ,  杨祯山 ,  刘继行 ,  韩莹

IPC: B25H1/02

Abstract: 本实用新型公开了一种精密设备工作台面的调平装置，它包括固定底座，在固定底座上固定有四个呈矩形布置的支柱，在每个支柱上分别通过螺纹连接有支撑套筒，在四个支撑套筒上方支撑有工作台面，在每个支撑套筒顶面与工作台面底面之间分别设有相互对应的球面凹坑且分别夹持有钢珠，在固定底座与工作台面之间对称设有拉簧，使钢珠夹紧在支撑套筒与工作台面之间。有益效果是：结构简单，调节方便，使用寿命长；由于在工作台面与支撑套筒之间使用了钢珠进行过渡连接，因此在调平过程中支柱不会对工作台面施加非垂直方向的力，可避免工作台面因受力产生的弯曲变形，保证了工作台面的平面度。

公开(公告)号：CN304027844S

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201630476333.1

申请日：2016-09-20

Applicant: 渤海大学

Designer： 佘东生 ,  杨一柳

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：真空腔体(环形)。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于mems微结构测试的真空环境实现。
3．本外观设计产品的设计要点：产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
5．省略视图：后视图、左视图、右视图与主视图相同，故省略后视图、左视图和右视图。

公开(公告)号：CN304061426S

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201630476350.5

申请日：2016-09-20

Applicant: 渤海大学

Designer： 佘东生 ,  杨一柳

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：真空腔体(多腔)。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于mems微结构测试的真空环境实现。
3．本外观设计产品的设计要点：产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
5．省略视图：后视图与主视图相同，右视图与左视图相同，故省略后视图和右视图。