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公开(公告)号：CN113508287A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202080018145.8
申请日：2020-03-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种用于测定在连接有多个气体供给管线的合流块体(14)中流动的气体的浓度的浓度测定装置(20)，其具备：发出向形成于合流块体的流路入射的光的光源(40)；接收从流路出射的光的光检测器(44)；以及根据光检测器的输出求出在流路中流动的气体的浓度的运算控制电路(46)，用于使来自光源的光入射到流路的透光性的入射窗(26、23)以及用于使通过了流路的光出射的透光性的出射窗(28、23)中的至少任意一个相对于合流块体(14)密封固定。
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公开(公告)号：CN109478074B
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201780015751.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器，流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。
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公开(公告)号：CN107923841B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201680025238.7
申请日：2016-08-09
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 一种浓度测定装置，所述浓度测定装置用于通过检测通过光入射窗和光出射窗被对向配置的测定单元的透过光而测定所述测定单元内的被测定流体的浓度，且所述浓度测定装置包括检测所述光入射窗的反射光的反射光检测器。
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公开(公告)号：CN109983318B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201880004412.9
申请日：2018-02-06
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01M3/26
Abstract: 在流体控制器中，即使在流体的泄漏很少的情况下，也能够检测到泄漏。另外，通过利用信息通信技术，从而容易地监视位于远离的场所的流体控制器或多个流体控制器中的流体的泄漏异常。对设有流体能流通的流道(211)、通过隔离部件与流道(211)隔离的封闭空间(S)、以及能够连通封闭空间(S)与外部的泄漏端口(LP)的流体控制器(2)的异常进行检测的异常检测装置(1)具有：压力传感器(11)，其检测封闭空间(S)内的压力；处理模块，其执行给定的信息处理；以及拆装机构，其将压力传感器(11)以能够拆装的方式固定于泄漏端口(LP)，并且在固定状态下将泄漏端口(LP)与外部遮断。处理模块通过对由压力传感器(11)检测出的检测值与给定的阈值进行比较，从而判别流体控制器(2)的异常，并将流体控制器(2)的异常判别结果发送至服务器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112470093A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980043297.0
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明的流量控制系统(1)的控制部(3)，具备：记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31)；存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32)；和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33)，其中，第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭，此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2)，第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭，此后，经过规定时间(Δt)后，将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。
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公开(公告)号：CN108369425B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
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公开(公告)号：CN108027618B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201680027495.4
申请日：2016-09-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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公开(公告)号：CN111919053A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201880091000.3
申请日：2018-03-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 本发明提供能够更加简单地对打开阀时的流量进行调整的阀装置。阀装置(1)具有：阀体(10)，在其内部形成有第1流路(12)以及第2流路(13)；阀芯(20)，其通过关闭第1流路的开口而将第1流路和第2流路切断，并且通过打开第1流路的开口而使第1流路和第2流路连通；操作构件(40)，其使阀芯在关闭开口的闭位置与打开开口的开位置之间移动；以及调整致动器(100)，其限定操作构件的开位置，并且具有由根据电场的变化而发生变形的化合物形成的电驱动材料，通过电驱动材料的变形而使所限定的开位置发生变化。
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公开(公告)号：CN110234965B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201880009200.X
申请日：2018-02-08
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流量测定方法，其在气体供给系统中进行，所述气体供给系统具备：多个气体供给路径，其具备第一阀；以及共用气体供给路径，其形成于多个气体供给路径的下游侧且具备流量测定装置，所述流量测定装置具备压力传感器、温度传感器以及下游侧的第二阀，所述流量测定方法包括以下工序：第一工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下关闭第二阀，经过规定时间后关闭任一个第一阀，测定关闭第一阀后的压力和温度；第二工序，打开任一个第一阀和第二阀而使气体流动，在气体流动的状态下同时关闭任一个第一阀和第二阀，测定关闭第一阀和第二阀后的压力和温度；第三工序，基于在第一工序中测定的压力和温度以及在第二工序中测定的压力和温度，来计算流量。
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