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公开(公告)号：CN113088449A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110395758.X
申请日：2021-04-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种无磁环境下细胞微重力效应模拟装置，包括以下几部分：保温温控系统，由保温箱体、恒温水槽、水泵、温控组件等共同构成；气体混合配比系统，由气体混合配比器、导气管路等共同构成；高压空气驱动系统，由空压机、导气管、流量比例阀、气动马达等共同构成；主体机械结构，细胞培养室、轴系、大理石基座、V型槽及槽端盖等共同构成，与现有技术相比，本发明的特点是：轴系选用铝合金材料，外端盖、顶帽、内端盖选用聚四氟乙烯材质，V型槽基底选用大理石材质，不具磁性同时厚重稳定，同时为了满足无磁需求放弃了传统的电回转驱动选用气动马达作为驱动方法，放弃传统的电加热方式以热水循环供热的方式为保温箱整体供暖。
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公开(公告)号：CN113008155A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110236407.4
申请日：2021-03-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了光纤光栅与压电陶瓷结合的磁噪声抑制主动隔振装置，主要包括以下几部分，包括：大型隔振装置由柱墩、气浮隔振器、混泥土质量块共同构成；零磁室，构成一个近零磁环境；形变测量系统，主要由应变片和弱磁信号探测装置——超导量子干涉仪共同组成；微位移驱动控制与执行系统，主要由控制器和压电陶瓷驱动器，压电陶瓷致动器组成。本发明则直接针对外界环境引起的磁屏蔽室墙面产生的振动进行隔振。近零磁空间中磁噪声抑制的压电陶瓷主动隔微振装置直接作用于振动物体，既能减小磁屏蔽室随大地一起做低频振动产生的磁噪声，又能较小由于环境中的声音、空气对流等因素直接作用于屏蔽墙面引起的振动带来的磁噪声。
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公开(公告)号：CN112982501A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110236406.X
申请日：2021-03-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种近零磁空间中的基于形变测量的介电弹性体主动隔微振装置；该装置主要由微位移执行器、形变测量系统和相关驱动控制器组成。本发明考虑了外界环境引起的屏蔽墙面产生的振动，并对这种微型振动进行主动隔绝。近零磁空间中磁噪声抑制的介电弹性体主动隔微振装置直接作用于振动墙面上，既能减小磁屏蔽室随大地一起做低频振动产生的磁噪声，又能较小由于环境中的噪声、气体流动、人走路等因素作用到屏蔽墙面带来的振动引发的微弱磁噪声，本发明所提出的主动隔振方法可以在以往隔振方法的基础上取得更好的隔振效果。
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公开(公告)号：CN112963495A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110235599.7
申请日：2021-03-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种应变片与压电陶瓷结合的磁噪声抑制主动隔振装置；该装置主要由微位移执行器、形变测量系统和相关驱动控制器组成。本发明的优点在于，以主动隔微振装置直接作用于发生微形变的屏蔽墙体，不仅能减小磁屏蔽室随大地一起做低频振动产生的磁噪声，而且能隔离上述传统方式无法隔绝的微振动；以墙体外侧固定的应变片来对形变量进行测量，以压电陶瓷主动隔微振装置对形变量进行抑制，在原有的被动隔振基础上添加这样的主动隔振方法，能够达到以往传统磁屏蔽室隔振方法没法达到的更优效果。
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公开(公告)号：CN107139020B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201710308224.2
申请日：2017-05-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明一种基于靶标轨迹跟踪的主轴径向回转误差测量装置属于精密仪器制造及测量技术领域；包括图像采集器件，标准器，用于夹持标准器的装夹装置，待测主轴，基座，龙门支架，X向位移导轨，Y向位移导轨和Z向位移导轨；X向位移导轨通过龙门支架固定在基座上，Y向位移导轨沿X向位移导轨所在方向移动，Z向位移导轨沿Y向位移导轨所在方向移动，图像采集器件沿Z向位移导轨所在方向移动，标准器通过装夹装置安装在待测主轴的回转端面上；标准器为顶端开有靶标、内部能够发光的桶状结构；靶标为偏心孔；本发明不仅不需要高采样频率电容传感器，降低了设备成本，而且能够实现高转速主轴径向回转误差的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107367224A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201610311987.8
申请日：2016-05-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以三光轴激光干涉仪作为运动基准，直线电机作为宏动驱动元件，气浮导轨作为宏动导向元件，直线光栅尺作为宏动反馈元件进行宏动定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位误差。利用三光轴激光干涉仪补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。
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公开(公告)号：CN107044505A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710418155.0
申请日：2017-06-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F16F15/005 , F16F7/1011 , F16F7/1022 , F16F15/002
Abstract: 本发明基于超磁致伸缩与石英摆线复合冷却机理的隔微振装置属于隔微振技术领域；该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成；第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成，第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成，所述复合摆丝由第二石英丝和涂敷在第二石英丝外围的超磁致伸缩材料涂层构成；致动器由上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体构成，所述骨架的中心轴的四周，均匀分布有多个与中心轴平行的冷却腔；本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的，而且具有系统简化、高度集成的技术优势，同时提高了对低频振动的振动效果，并还兼顾到了温度敏感问题。
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公开(公告)号：CN103791824B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201410052244.4
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于感应同步器测角的气动抓卡式航空发动机转子磁浮装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791819B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201410052192.0
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于调心调倾转台的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN105549331A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610023018.2
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716 , H02N15/00
Abstract: 基于主动平衡质量动线圈气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用双电机曲柄摇杆机构组成的主动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用气悬浮和平面电机驱动，采用双层水冷散热降温，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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