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公开(公告)号：CN103258709B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310177075.2
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：圆盘形电极架外圆面上竖直设置有多片薄片形电极；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使每片薄片形电极的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制所有薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面微结构形状具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。
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公开(公告)号：CN105180825A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510255807.4
申请日：2015-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于可见光反射光谱特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置，由笔记本电脑、准直透镜、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、光纤测头、电动位移台、光谱仪、钨卤素灯光源组成；被测工件安装在回转工作台上，光纤测头安装在电动位移台上，钨卤素灯光源提供的可见光通过光纤输出作为入射光，依次经准直透镜准直调整、线性衰减片强度调整、小孔光阑调制后照射到被测工件上，由于入射光在被测工件表面发生色散现象，被测工件表面的可见光反射光谱通过透镜变为平行光后被光纤测头测量，测量结果由光谱仪输入到笔记本电脑中。该测量装置光路调整方便，测量精度高，对测量环境要求不严格，具有便携性，可以在加工现场使用。
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公开(公告)号：CN104950355A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510389611.4
申请日：2015-07-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G02B1/12 , C03C23/006
Abstract: 一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，它属于精密光学零件加工的技术领域。它的步骤一：启动加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬；步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧；步骤三：被加工件的上表面被加工件吸热，微裂纹发生融化修复作用；然后加工电感耦合等离子体炬对火抛光电感耦合等离子体炬作用区进行去除加工。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差条件下部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。
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公开(公告)号：CN103237405B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201310177048.5
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/30
Abstract: 一体化等离子体发生装置，它属于等离子体加工设备的技术领域。它是为了解决常温大气等离子体加工过程中，匹配器与等离子体炬距离过大，导致其工作不稳定的问题。它的当匹配器与电容耦合等离子体射流炬模块组合连接时，电容耦合等离子体射流炬模块的第一连接支架的上端面与匹配器的下面端面连接；当匹配器与电感耦合等离子体炬模块组合连接时，第二连接支架的上端面与匹配器的下面端面连接；当匹配器与成形电极模块组合连接时，成形电极模块的第三连接支架的上端面与匹配器的下面端面连接。本发明将匹配器和等离子体炬集成为一体，无需负载线连接，缩短了匹配器和负载之间的距离，可有效降低外界对装置的电磁干扰，同时使阻抗匹配效果更加稳定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102909610B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201210429045.1
申请日：2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 五轴联动超精密机床，它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一；加工对象形状简单，难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨，X轴导轨上滑动连接有X轴溜板，Z轴导轨上连接有Z轴溜板；X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱，立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板，Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板；Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴，C轴上安装有真空吸盘，Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴；X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑，B轴和C轴采用气体静压支撑，B轴上安装夹具装置及刀具；C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。
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公开(公告)号：CN104007015A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410271007.7
申请日：2014-06-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 力学性能测试装置及用该装置测试微构件固有频率的方法，涉及力学性能测试装置及测试微构件固有频率的方法。能够简单准确的测得微构件的固有频率。X-Y二维运动平台设置在大理石隔振平台上，X-Y二维运动平台设置在X向运动平台上，微拉伸测试系统安装在Y向运动平台上面，动态测试系统安装在大理石横梁上，大理石横梁通过大理石立柱固定在大理石隔振平台上，原位观测系统安装在动态测试系统上。通过微拉伸测试系统对水平精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制，调整金刚石压头位置，使其与微构件中心目标位置接触；通过动态测试系统对竖直精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制，本发明用于测试微构件固有频率。
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公开(公告)号：CN103994929A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410271031.0
申请日：2014-06-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 力学性能测试装置及用该装置测试微构件力学特性的方法，涉及力学性能测试装置及测试微构件力学特性方法。能测试不同工作条件下的微构件的力学特性。X-Y二维运动平台设置在大理石隔振平台上，微拉伸测试系统安装在X-Y二维运动平台上，动态测试系统安装在大理石横梁上，大理石横梁通过大理石立柱与理石隔振平台固接，原位观测系统安装在动态测试系统上。通过动态测试系统对竖直精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制，通过微拉伸测试系统对水平精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制，通过微拉伸测试系统的微力传感器记录的拉力数据和水平直线光栅测量装置的光栅尺记录位移数据，得到微构件应力应变曲线。本发明用于微构件力学特性测试。
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公开(公告)号：CN103273180A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310177053.6
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K10/00
Abstract: 自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工方法，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的步骤一：在工作架上安装有大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬；步骤二：将待加工光学零件装卡在地电极上；步骤三：使大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬靠近待加工表面；步骤四：预热；步骤五：启动射频电源；步骤六：使大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬进行多自由度运动；步骤七：取出待加工光学零件。本发明采用三种不同口径的等离子体炬对大口径复杂曲面光学零件进行大气等离子体加工。
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公开(公告)号：CN103258710A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310177077.1
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01J37/32
Abstract: 大气等离子体成形电极加工碳化硅密封环类零件的方法，它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：将等离子体成形电极的上端面绝缘连接在工作轴上；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使等离子体成形电极靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：用上述产生的大气等离子体对零件表面进行加工；步骤七、取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对密封环类零件表面进行加工，加工效率高，精度高。
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