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公开(公告)号：CN101623847A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200910072623.9
申请日：2009-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B53/12
Abstract: 基于两次对刀工艺的金刚石球头砂轮电火花修整对刀方法，它涉及一种球头砂轮电火花修整的对刀方法。本发明的目的是为了提高砂轮修整时的对刀精度，进而提高金刚石球头砂轮修整后的面形精度。本发明的主要技术核心是：首先在砂轮修整前对砂轮主轴及电极主轴安装相对位置进行精密调整，使砂轮主轴轴线与电极主轴轴线之间夹角为45°并且相交于一点；其次是小直径金刚石球头砂轮的第一次对刀，并对砂轮进行第一次修整；最后是选择砂轮新形成的两边缘特征点实现小直径球头金刚石砂轮的第二次对刀。在第一次对刀后，再进行第二次对刀可以有效消除砂轮制造误差及边缘特征点判断误差对对刀精度的影响，同等条件下，使用二次对刀工艺可以降低对刀误差30％～70％。
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公开(公告)号：CN100566928C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710144617.0
申请日：2007-11-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密驱动机构，它涉及一种驱动机构。本发明的目的是为解决现有直线运动的超精密工作台的缺点是静、动态刚度较低，抵抗外界干扰的能力较差的问题。本发明中间推动板的上部设置在前推动板和后推动板之间，中间推动板的下端与气浮转换块的上端相连接，前推动板内设有第一节流小孔，后推动板内设有第二节流小孔，中间推动板与前推动板之间形成第一气体静压气膜腔，中间推动板与后推动板之间形成第二气体静压气膜腔，气浮转换块内设有静压节流小孔。本发明的优点是：结构简单、工作可靠，彻底消除了丝杠驱动方向之外的两个方向的力干扰。精度高，大行程超精密工作台的直线度达到了0.17μm/600mm。承载能力高，应用范围广，可应用于多种形式的超精密工作台的驱动。
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公开(公告)号：CN100410561C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200610150921.1
申请日：2006-10-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种非线性压杆弹簧装置，涉及一种弹簧装置。本发明解决了目前的弹簧装置不适用于低频环境，尤其是2Hz以下的情况，它包括弹簧外套、上端盖、压杆、导向滑块和导向槽，弹簧外套是带底的圆筒状的非线性压杆弹簧装置的外壳；上端盖是与弹簧外套底面平行、间隙配合嵌入到弹簧外套内，其上部中央带有突起的圆盘；压杆沿上端盖圆周均匀分布、垂直于弹簧外套的底面、两端分别固定安装在弹簧外套的底部和上端盖的下表面上；导向槽是在弹簧外套的内侧壁的上部均匀分布垂直开的若干个凹槽；导向滑块分别与所述若干个导向槽的位置对应固定安装在上端盖的侧壁上、并且分别嵌入安装在所述的导向槽中。本发明可以广泛的应用在低频或超低频隔振环境中需要弹性支承的地方。
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公开(公告)号：CN101195178A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710144867.4
申请日：2007-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 龙门式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明解决了现有技术中没能提供用于平面超精密加工的专用设备来加工非线性光学领域所急需的KDP晶体等功能材料的问题。所述主轴套(38)套装在气体静压主轴(35)上，飞刀盘(34)安装在气体静压主轴(35)的下端上，上溜板(41)的两端通过两个中间溜板(45)与两个下溜板(46)分别固接并形成凹槽(62)，所述导轨(42)的上端安装在凹槽(62)内，真空吸盘(57)安装在上溜板(41)上，丝母(58)套装在丝杠(11)上，丝杠(11)的两端安装在导轨(42)的上端。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动，而且导轨和主轴均采用了空气静压的控制方式，具有精度高、无污染等优点。
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公开(公告)号：CN1559752A
公开(公告)日：2005-01-05
申请号：CN200410013586.1
申请日：2004-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103794970B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410066504.3
申请日：2014-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01S3/042
Abstract: 一种真空条件下大口径晶体高精度温度控制装置，涉及一种晶体温度控制装置。针对现有加热装置无法实现大口径晶体精确温度控制并能保持晶体表面温度梯度控制在0.2℃以内问题。铜环外侧固定加热器，两个铜套套装在铜环内，内固定端盖一与铜环连接，两个铜套通过两个内固定端盖一顶紧将晶体夹紧固定在两个铜套之间，加热器外套装保护外壳，保护外壳与内固定端盖二连接，保护外壳通过固定支架与真空壳体固定连接，真空壳体与外固定端盖二连接，外固定端盖一的阶梯型窗孔通过融石英片密封，测温热电偶固定在铜环上，测温热电偶与测温热电偶的显示仪表相连，显示仪表输出温度给温控仪，温控仪与加热器相连。本发明用于大口径晶体高精度温度控制。
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公开(公告)号：CN104049335B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410273276.7
申请日：2014-06-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/183
Abstract: 一种极地低温环境下使用的精密微位移促动器，它涉及一种精密微位移促动器。本发明为了解决目前没有适用于极地低温环境下的大型拼接镜面望远镜子镜上的支撑和调节机构的问题。本发明垫板安装在壳体内，滚动直线导轨安装在垫板上，左端盖和右端盖分别盖装在壳体的两端，柔性轴安装在驱动杆上，电机座安装在滚动直线导轨上，步进电机安装在电机座上，螺杆的一端通过弹性联轴器与步进电机连接，基座安装在垫板上，套筒安装在基座内，第一螺母安装在驱动杆左端，第二螺母安在套筒的右端部，螺杆的另一端旋拧在第二螺母和第一螺母上，驱动杆一端插入套筒内部，并与第一螺母连接，另一端与柔性轴连接，轴套套装在驱动杆上，预紧弹簧套装在驱动杆上，并被压缩在第一螺母和轴套之间。本发明用于拼接镜面望远镜中。
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公开(公告)号：CN103278997B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310156653.4
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02F1/37
Abstract: 一种混频晶体四维高精度调整机构，它涉及一种高通量大口径高精度光学元件频率转换装置。本发明为了实现我国惯性约束激光核聚变装置中，频率转换模块中混频晶体能够在狭小的空间内实现混频晶体的在线四维高精度调整的问题。本发明的混频机构设置在倍频箱体内，偏摆调角框的下端可转动设置在俯仰调整框内，混频间距调整架的侧壁可转动设置在俯仰调整框的侧壁下部，偏振态调整框镶嵌在偏摆调角框端面上，混频间隙调整基座设置在混频间距调整架的下方，且混频间隙调整基座与混频间距调整架之间设有混频平移调整机构，偏振态调整机构设置在偏振态调整框上。本发明用于混频晶体的姿态调整。
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公开(公告)号：CN103586986B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310631580.X
申请日：2013-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置，涉及一种超精密三轴联动微铣削装置。为了解决目前无大口径KDP晶体元件表面微缺陷修复设备的问题。刀具移动部分布线板、刀具移动部分垫块及手动升降调整平台均固定在底部安装平板的上端面，刀具三轴联动平台固定在刀具移动部分垫块上，切屑收集总成与刀具三轴联动平台连接，刀具显微镜移动平台、手动升降调整平台及显微镜连接板由上至下依次连接，显微镜连接板与底部安装平板的上端面连接。本发明用于大口径KDP晶体元件表面微缺陷的超精密修复。
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公开(公告)号：CN103341788B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201310268014.7
申请日：2013-06-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 消除测量基准安装误差的超精密静压主轴动态特性在线检测方法，涉及静压主轴动态特性检测领域。解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态特性在线检测或现有方法测量基准面的安装精度对测量结果影响较为严重的问题。在直驱式超精密静压主轴转子的后端加工锥形安装基准面，将标准球直接安装在锥形基准面上作为测量基准，采用两个高精度位移传感器测量主轴旋转时标准球与两个高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，实现超精密直驱式静压主轴动态特性的在线测量，由于采用两通道同时测量，同时实现主轴的轴向窜动和径向偏摆特性的检测。
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