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公开(公告)号：CN111983259B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202010858409.2
申请日：2020-08-24
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明属于混合集成电路技术领域，公开了一种伺服控制电路及基于其的石英挠性加速度计和制造方法，所述伺服控制电路包括差动电容检测器、电流积分器、RC低通滤波器、跨导/补偿放大器、阻容反馈网络以及电容；石英挠性加速度计包括连接石英表头以及伺服组件；石英表头包括壳体，壳体内设置摆片以及同轴设置的差动电容传感器和力矩器，伺服组件包括外壳，外壳与壳体连接，外壳与壳体之间设置基板，基板一侧与外壳连接，另一侧上设置伺服控制电路以及罩在伺服控制电路外部的盖板；外壳上设置第一接线柱以及若干第二接线柱，第一接线柱上电镀金层，第一接线柱与连接电容的厚膜焊盘通过金丝键合连接。解决现有石英挠性加速度计抗干扰能力差的缺点，提升石英挠性加速度计的测量精度。
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公开(公告)号：CN113624993A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110892469.0
申请日：2021-08-04
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种加速度信号转换方法、伺服电路及石英挠性加速度计，包括以下步骤：接收石英表头的差动电容信号并转换为电压信号，将电压信号转换为数字信号；采集加速度计内部的温度场信息并转换为数字信号；对数字信号进行高阶非线性度和温度漂移系数校准补偿，得到加速度数字信号，将加速度数字信号经串口引出对外输出，完成加速度信号转换，并将输出数字信号转换为模拟信号，经放大和补偿后接入反馈回路，形成闭环控制系统。本发明可以极大程度缩小惯性测量系统的体积，并且有效提升其检测精度，而且避免了长线传输，减少了噪声干扰，其中温度信息和电压信号转化成数字信号后进行校准补偿，可大幅提升加速度计输出精度，增加零偏稳定性。
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公开(公告)号：CN111983259A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010858409.2
申请日：2020-08-24
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明属于混合集成电路技术领域，公开了一种伺服控制电路及基于其的石英挠性加速度计和制造方法，所述伺服控制电路包括差动电容检测器、电流积分器、RC低通滤波器、跨导/补偿放大器、阻容反馈网络以及电容；石英挠性加速度计包括连接石英表头以及伺服组件；石英表头包括壳体，壳体内设置摆片以及同轴设置的差动电容传感器和力矩器，伺服组件包括外壳，外壳与壳体连接，外壳与壳体之间设置基板，基板一侧与外壳连接，另一侧上设置伺服控制电路以及罩在伺服控制电路外部的盖板；外壳上设置第一接线柱以及若干第二接线柱，第一接线柱上电镀金层，第一接线柱与连接电容的厚膜焊盘通过金丝键合连接。解决现有石英挠性加速度计抗干扰能力差的缺点，提升石英挠性加速度计的测量精度。
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公开(公告)号：CN113063965B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202110310728.4
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，伺服电路包括差动电容转换器、电流积分器、前置放大器、跨导/补偿放大器、反馈网络和电源升压转换模块；差动电容转换器的输入端与石英挠性加速度计中石英表头的差动电容传感器输出端连接，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接前置放大器的输入端，前置放大器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端分别连接反馈网络的输入端和石英挠性加速度计中石英表头的力矩器线圈4输入端，反馈网络的输出端连接前置放大器的输入端；电源升压转换模块用于将外接电源升压变换后为跨导/补偿放大器供电。
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公开(公告)号：CN113063964A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110310726.5
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，电路中差动电容转换器的输入端连接石英表头中差动传感器的输出端，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接加法器的输入端；温度传感器的输出端连接多项式发生器的输入端，多项式发生器的输出端连接加法器的另一输入端；加法器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端连接石英表头中力矩器线圈的输入端连接，跨导/补偿放大器的输出端连接反馈网络的输入端，反馈网络的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端。可实现对石英挠性加速度计零偏、标度因数等进行综合补偿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112180119A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011034217.6
申请日：2020-09-27
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计、伺服电路及加速度信号转换方法，差动电容转换器与石英表头中的差动电容信号连接，差动电容转换器信号与电流积分器的信号连接；电流积分器的信号输出端同时与跨导/补偿放大器的信号输入端以及阻容反馈网络的信号连接；跨导/补偿放大器的一端与石英表头的力矩器连接，另一端与阻容反馈网络连接；石英表头力矩器与精密采样电阻一端连接，精密采样电阻的另一端连接模拟信号地线；力矩器与巴特沃兹低通滤波器连接，巴特沃兹低通滤波器与A/D转换器连接，A/D转换器的数字信号与伺服电路相连。提升信号处理的速率，减小了功耗并且可以缩小体积，拓展整个导航系统的内部空间。
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公开(公告)号：CN113063964B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202110310726.5
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，电路中差动电容转换器的输入端连接石英表头中差动传感器的输出端，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接加法器的输入端；温度传感器的输出端连接多项式发生器的输入端，多项式发生器的输出端连接加法器的另一输入端；加法器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端连接石英表头中力矩器线圈的输入端连接，跨导/补偿放大器的输出端连接反馈网络的输入端，反馈网络的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端。可实现对石英挠性加速度计零偏、标度因数等进行综合补偿。
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公开(公告)号：CN115327166A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211085084.4
申请日：2022-09-06
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01C21/16
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的数字输出型加速度计及其制造方法，由加速度敏感单元采集加速度信号，将其转换为差动电容信号，并传递至差动电容检测单元，差动电容检测单元将差动电容信号转换为电压信号，传递至模数转换单元，模数转换单元将电压信号转换为加速度数字信号，输入至微处理器单元；温度补偿单元采集温度数据，将其转换为温度数字信号输入至微处理器单元；微处理器单元对加速度数字信号和温度数字信号进行非线性拟合处理，输出数字信号。通过一体化集成各单元模块，其中微处理器单元对加速度数字信号和温度数字信号进行非线性拟合校准，对温度漂移和高阶非线性度进行校准补偿，能够实现高精度信号处理，提高加速度计的检测精度。
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公开(公告)号：CN113063965A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110310728.4
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，伺服电路包括差动电容转换器、电流积分器、前置放大器、跨导/补偿放大器、反馈网络和电源升压转换模块；差动电容转换器的输入端与石英挠性加速度计中石英表头的差动电容传感器输出端连接，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接前置放大器的输入端，前置放大器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端分别连接反馈网络的输入端和石英挠性加速度计中石英表头的力矩器线圈4输入端，反馈网络的输出端连接前置放大器的输入端；电源升压转换模块用于将外接电源升压变换后为跨导/补偿放大器供电。
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公开(公告)号：CN113009182A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110217355.6
申请日：2021-02-26
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一体式零偏可调加速度计伺服电路及其制作方法和应用，属于半导体混合集成技术领域，传感器表头由力矩器、摆组件动力学、差动电容传感器组成；伺服电路系统主要由差动电容电压转换器、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块等组成。伺服电路功能由线性稳压电源、基准三角波发生器、差动电容检测器、积分网络、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块实现，可实现对加速度计输出零位修正，在输出级完成了对伺服电路输出电流的零偏补偿，有效减小加速度计的零偏，提高了加速度计伺服电路输出精度。同时，利用激光缝焊实现伺服电路与加速度计传感器表头一体式全密封封装，提高了加速度计的密封可靠性。
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