一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119114405A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411478222.4

    申请日:2024-10-22

    Abstract: 本发明属于材料以及电子器件制造领域,公开了一种基于3D打印的电容式微机械超声换能器及其制备方法,CMUTs包括自上而下依次连接的上电极、上绝缘层、振动膜、支柱层、硅基底和下电极,支柱层的振动膜、下绝缘层和支柱之间形成有空腔;方法包括:利用纳米二氧化硅复合材料,采用光固化3D打印方法,在表面进行了功能化的硅基底正面打印支柱层阵列;然后进行固化、热处理,得到第二器件;再键合振动膜;再在振动膜的正面打印上绝缘层;将再进行固化、热处理;再打印上电极;再通过湿法刻蚀工艺去除硅基底背面的二氧化;再在硅基底背面打印下电极;再去除光刻胶即可。本发明减少了所需设备和材料消耗,降低了生产成本。

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