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公开(公告)号：CN114923605B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202210446646.7
申请日：2022-04-26
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种微悬臂梁传感器及其制备方法，所述微悬臂梁传感器包括相粘合的基部和杆部，基部为固定端，杆部为自由端，所述基部具有两端宽中间窄的收缩结构，且在其基部外表面沿着周向上设置有未完全包裹的导电层，所述导电层具有纳米裂纹结构，所述导电层沿着基部轴向方向上的两端连接有输出电极，所述杆部为中空结构。此外，本发明还公开了一种利用模板法成型工艺制备上述微悬臂梁传感器的方法，制备方法与材料相匹配，制备工艺简单，易操作；本发明通过材料的选择、结构的设计利用自制模板法制备得到一种新型微悬臂梁传感器，在不影响稳定性的情况下，提升了传感器的应变极值以及促进应变集中，大大提高传感器的应变灵敏系数。
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公开(公告)号：CN114923605A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202210446646.7
申请日：2022-04-26
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种微悬臂梁传感器及其制备方法，所述微悬臂梁传感器包括相粘合的基部和杆部，基部为固定端，杆部为自由端，所述基部具有两端宽中间窄的收缩结构，且在其基部外表面沿着周向上设置有未完全包裹的导电层，所述导电层具有纳米裂纹结构，所述导电层沿着基部轴向方向上的两端连接有输出电极，所述杆部为中空结构。此外，本发明还公开了一种利用模板法成型工艺制备上述微悬臂梁传感器的方法，制备方法与材料相匹配，制备工艺简单，易操作；本发明通过材料的选择、结构的设计利用自制模板法制备得到一种新型微悬臂梁传感器，在不影响稳定性的情况下，提升了传感器的应变极值以及促进应变集中，大大提高传感器的应变灵敏系数。
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