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公开(公告)号：CN108529549A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810154900.X
申请日：2018-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0054 , B81B3/0086 , B81B7/0038 , B81B2201/0264 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81C1/00182 , B81C1/00666 , B81C2203/019 , G01L9/0042 , G01L9/0055 , G01L19/04 , G01L19/0654 , B81B3/0027
Abstract: 本发明提供一种能够降低对于环境湿度的影响并能够发挥优异的压力检测精度的压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备以及移动体。压力传感器具有：基板，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜；侧壁部，其被配置于所述基板的一面侧，并在俯视观察时包围所述隔膜；密封层，其以隔着被所述侧壁部包围的空间而与所述隔膜对置的方式被配置，并对所述空间进行密封，所述密封层具有：第一硅层；第二硅层，其相对于所述第一硅层而位于与所述基板相反的一侧；氧化硅层，其位于所述第一硅层与所述第二硅层之间，所述氧化硅层被所述第二硅层覆盖并相对于外部而被密封。
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公开(公告)号：CN104949697A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510124806.6
申请日：2015-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D5/16
CPC classification number: G01L9/0052 , G01L9/06
Abstract: 提供物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体。该物理量传感器的检测灵敏度高，该高度计、电子设备以及移动体具有该物理量传感器。本发明的物理量传感器(1)的特征在于具有：可挠曲变形的隔膜(24)；以及挠曲量元件，其设置在隔膜(24)上，输出与隔膜(24)的挠曲量对应的信号，挠曲量元件具有：中心侧元件，其被设置为靠近隔膜(24)的中心；以及边缘部侧元件，其被设置为比中心侧元件靠近所述隔膜的边缘部。
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公开(公告)号：CN104931074A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510119251.6
申请日：2015-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0052 , G01L9/0055
Abstract: 物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体。提供即使实现小型化也能够提高信噪比的物理量传感器，此外，提供具有该物理量传感器的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具有：多个膜片部(64)，它们因受压而挠曲变形；以及多个压电电阻元件(7)，它们配置于彼此不同的膜片部(64)上，以串联方式电连接。多个压电电阻元件(7)构成电桥电路。
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公开(公告)号：CN107010589A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710061204.X
申请日：2017-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B81B3/001 , B81B2201/0264 , B81B2207/015 , B81C2203/0728 , G01C5/06 , G01L9/0054 , B81B3/0027 , B81C1/00349 , B81C1/0038 , B81C1/00404 , B81C2201/0174 , B81C2201/0176 , B81C2201/0198
Abstract: 本发明提供一种能够减少粘附的发生的压力传感器、该压力传感器的制造方法、具备该压力传感器的可靠性较高的高度计、电子设备以及移动体。压力传感器(1)具有：基板(2)，其具有隔膜(25)；空洞部(S)，其位于隔膜(25)的一侧；顶部(49)，其以隔着空洞部(S)而与隔膜(25)对置的方式而配置，并且在基板(2)的面向空洞部(S)的表面上形成有凹凸(27)。此外，凹凸(27)具有多个凹部(271)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105174196A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510292568.X
申请日：2015-06-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 衣川拓也
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B7/0064 , B81B2201/0264 , B81C2203/0136
Abstract: 提供电子部件、电子设备以及移动体，电子部件提高了生产率且具有优异特性，电子设备以及移动体具有该电子部件。本发明的电子部件(1)具有：具有振动元件(5)的空腔部(S)的底部；顶部(641)，其具有孔(642)，并隔着空腔部(S)与底部相对地配置；遮挡部(621)，其在空腔部(S)内被配置在空腔部(S)的底部与顶部(641)之间，在从空腔部(S)的底部和顶部(641)排列的方向俯视观察时，遮挡部(621)与孔(642)重叠；以及密封部(662)，其经由孔(642)与顶部(641)以及遮挡部(621)这两者相连，将孔(642)密封。
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公开(公告)号：CN104022752A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410063348.5
申请日：2014-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2203/0118 , G01P15/097 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明提供MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体，可抑制振动频率的改变和破损。MEMS振子具有：绝缘部；设置于绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及第2电极，其被设置成至少一部分隔着间隙与第1电极重叠，第2电极与功能部抵接，从固定部起延伸设置。
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公开(公告)号：CN108240878A
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201711033280.6
申请日：2017-10-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 衣川拓也
IPC: G01L1/16
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L1/16 , G01L1/2281 , G01L9/0048 , G01L9/0055 , G01L9/065 , G01L9/085 , H01L41/1132
Abstract: 本发明提供一种能够减薄绝缘层并能够提高传感器灵敏度的压力传感器、压力传感器模块、电子设备以及移动体。压力传感器具有：半导体基板，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜；传感器部，其被设置在所述隔膜上；绝缘层，其被配置于所述隔膜上；导电层，其被配置于所述绝缘层上；驱动电路，其以向所述传感器部施加有所述驱动电压的方式而供给预定的电位，所述导电层被连接于与所述预定的电位相同的电位，或者被连接于与所述预定的电位相比较大的电位。
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公开(公告)号：CN105366623A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510487846.7
申请日：2015-08-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0042 , G01C5/06 , G01L9/0054 , G01L19/147
Abstract: 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并且提供具有该物理量传感器的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具有：具有在一面上开口的凹部(24)的基板(2)、包括凹部(24)的底部并通过受压而发生挠曲变形的隔膜部(20)、配置于隔膜部(20)上的压敏电阻元件(5)、隔着空穴部(S)与隔膜部(20)对置覆盖层(641)、配置于基板(2)与覆盖层(641)之间且同基板(2)以及覆盖层(641)一起构成空穴部S的布线层(62、64)，布线层(62、64)构成为含有金属，在俯视视图中，凹部(24)的底部的外周缘(241)与布线层(62)的内壁面的基板(2)侧的端部(621)相比位于隔膜部(20)的中心侧。
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公开(公告)号：CN105016290A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510204540.6
申请日：2015-04-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B81B3/001 , B81B3/0013 , B81B3/0021 , B81B2201/014 , B81B2203/0118 , B81C1/0015 , B81C2203/0136 , H01H1/0036 , H01H35/14 , H01H35/24 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明提供MEMS结构体、电子设备以及移动体，能够提高设计自由度且能够降低可动电极相对于固定电极的粘连。本发明的MEMS结构体(1)具有：基板(2)；下部电极(51)，其配置在基板(2)的上方；上部电极(53)，其具有与下部电极(51)分离地相对配置的可动部(531)；以及凸部(541)，其从可动部(531)的与下部电极(51)相对的一侧的面突出，由与可动部(531)不同的材料构成。
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