物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN105366623A

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201510487846.7

    申请日:2015-08-10

    CPC classification number: G01L9/0042 G01C5/06 G01L9/0054 G01L19/147

    Abstract: 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器,并且提供具有该物理量传感器的压力传感器、高度计、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具有:具有在一面上开口的凹部(24)的基板(2)、包括凹部(24)的底部并通过受压而发生挠曲变形的隔膜部(20)、配置于隔膜部(20)上的压敏电阻元件(5)、隔着空穴部(S)与隔膜部(20)对置覆盖层(641)、配置于基板(2)与覆盖层(641)之间且同基板(2)以及覆盖层(641)一起构成空穴部S的布线层(62、64),布线层(62、64)构成为含有金属,在俯视视图中,凹部(24)的底部的外周缘(241)与布线层(62)的内壁面的基板(2)侧的端部(621)相比位于隔膜部(20)的中心侧。

    力检测装置及机器人
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109211441A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201810688391.9

    申请日:2018-06-28

    Abstract: 一种力检测装置及机器人,能够实现力检测装置的外力检测的高精度化。所述力检测装置具备:第一部件;第二部件,与第一部件对置地配置;传感器器件,配置于第一部件与第二部件之间,并具备力检测元件,力检测元件具有对应于外力输出信号的至少一个压电元件;以及多个施压部件,在从第一部件与第二部件重叠的方向观察的俯视观察下,设置于传感器器件的外周部,对传感器器件施压,第一部件具有:第一部分,与传感器器件接触;以及第二部分,在俯视下位于第一部分的外周部,并包括调整第一部分对传感器器件的接触压力的调整部,调整部在施压部件的施压方向上的长度比第一部分在施压方向上的长度短。

    机器人
    3.
    发明公开
    机器人 审中-实审

    公开(公告)号:CN118219244A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202311757079.8

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 本发明提供具有充分的强度且能够实现轻量化的机器人。机器人的特征在于,具备:基台;第一臂,以能够绕第一旋转轴旋转的方式与基台连接;第二臂,具有由框状部件构成的基座,且相对于第一臂绕与第一旋转轴平行的第二旋转轴旋转;轴,设置于第二臂的与第一臂相反侧;驱动部,使第二臂相对于第一臂绕第二旋转轴旋转驱动;以及支承部,以使轴绕与第二旋转轴平行的第三旋转轴旋转且沿第三旋转轴的轴向移动的方式支承该轴,基座具有:第一设置部,设置有驱动部;第二设置部,设置有支承部;第一梁,架设在第一设置部与第二设置部之间;以及第二梁,架设在第一设置部与第二设置部之间,且具有相对于第一梁朝向第二旋转轴的轴向突出的突出部。

    量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN104579338A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410542349.8

    申请日:2014-10-14

    CPC classification number: H03L7/26 G04F5/145

    Abstract: 量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体。提供能够实现低功耗化的量子干涉装置以及原子振荡器,此外,提供具有该量子干涉装置或者原子振荡器的可靠性优异的电子设备以及移动体。本发明的原子振荡器(1)具有:基体(31);单元部(2),其包含封入了碱金属原子的气室(21)以及对气室(21)进行加热的加热器(25);布线部(82、83),其使基体(31)与单元部(2)电连接,具有包含横截面积为60μm2以上且100μm2以下的部分的布线。

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