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公开(公告)号：CN103367627B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201310117124.3
申请日：2013-04-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
IPC: H01L41/053 , H01L41/047 , H01L41/23 , H01L41/29
CPC classification number: H05K5/0091 , H01L2924/16152 , H01L2924/16195 , H05K1/0284 , H05K1/111 , H05K1/183 , H05K3/10 , H05K3/108 , H05K3/243 , H05K3/321 , H05K3/3494 , H05K2201/10083 , H05K2201/10371 , H05K2203/107 , Y02P70/611 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种电子器件及其制造方法、电子设备、基底基板的制造方法，可抑制来自金属化层的热逸出、能可靠进行盖部和基底基板的接合。电子器件（100）具有封装（200）和收纳在形成于封装（200）的内部的收纳空间（S）内的压电元件（300）。具有使基底基板（210）和盖（220）接合的框状的金属化层230、以及形成在基底基板（210）上与压电元件（300）电连接的电极（241、242、251～254、261、262），金属化层（230）与各电极（241、242、251～254、261、262）绝缘。
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公开(公告)号：CN104811196A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510029249.X
申请日：2015-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
IPC: H03L7/26
Abstract: 本发明提供量子干涉单元及装置、原子振荡器、电子设备及移动体。量子干涉单元、量子干涉装置和原子振荡器能够实现节电化，并且防止或减小由于封装的磁化产生的磁场而引起的特性变动，电子设备和移动体具有该量子干涉装置，且可靠性优异。本发明的原子振荡器(1)具有收纳金属原子的气室(21)、调节气室(21)的温度的加热器(26)、以及收纳气室(21)和加热器(26)的封装(3)，封装(3)包含非磁性的金属层。
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公开(公告)号：CN1750240B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200510092196.2
申请日：2005-08-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
IPC: H01L21/316 , C23C18/00 , H01B5/14
CPC classification number: H01L21/02112 , C23C18/06 , C23C18/1216 , H01L21/02282 , H01L21/31683
Abstract: 本发明公开了一种在由无机材料构成的基材12的表面上形成氧化薄膜3的方法。氧化薄膜3是由包含无机材料的氧化物作为其主要成分的材料而形成的。该方法包括以下步骤：制备基材12；向基材12表面上供给包含醇的处理液体，以在其上形成处理液体的液体薄膜2；通过无机材料与在液体薄膜2中的醇反应生成无机材料的氧化物；和去除保留在液体薄膜2中的处理液体，以在基材12的表面上形成氧化薄膜3。此外，本发明公开了上述的氧化薄膜3、包括氧化薄膜3的部件、包括该部件的电子设备。
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公开(公告)号：CN106209097B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201610347593.8
申请日：2016-05-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
Abstract: 本发明提供电子器件、量子干涉装置、原子振荡器和电子设备，电子器件能够长期发挥优异的特性，量子干涉装置、振荡器具有上述电子器件。本发明的原子振荡器(1)具有：基体(31)；原子室单元(2)，其被配置在基体(31)上；盖体(32)，其与基体(31)一起构成收纳原子室单元(2)的内部空间(S1)；以及吸气材料(62)，其在内部空间(S1)中与基体(31)之间具有空隙地被配置在基体(31)上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1750240A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510092196.2
申请日：2005-08-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
IPC: H01L21/316 , C23C18/00 , H01B5/14
CPC classification number: H01L21/02112 , C23C18/06 , C23C18/1216 , H01L21/02282 , H01L21/31683
Abstract: 本发明公开了一种在由无机材料构成的基材12的表面上形成氧化薄膜3的方法。氧化薄膜3是由包含无机材料的氧化物作为其主要成分的材料而形成的。该方法包括以下步骤：制备基材12；向基材12表面上供给包含醇的处理液体，以在其上形成处理液体的液体薄膜2；通过无机材料与在液体薄膜2中的醇反应生成无机材料的氧化物；去除保留在液体薄膜2中的处理液体，以在基材12的表面上形成氧化薄膜3。此外，本发明公开了上述的氧化薄膜3、包括氧化薄膜3的部件、包括该部件的电子设备。
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公开(公告)号：CN118264202A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311802864.0
申请日：2023-12-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03B5/32
Abstract: 本发明提供振动器件，其小型且确保接合强度并且振动特性稳定。振动器件包含：基座基板，其具有第1面以及与所述第1面处于正反关系的第2面；振动元件，其位于所述基座基板的所述第1面侧，具备振动基板以及配置于所述振动基板的所述基座基板侧的面的电极端子；安装端子，其配置于所述第1面；以及金属凸块，其配置于所述基座基板与所述振动元件之间，将所述基座基板与所述振动元件接合，并且将所述安装端子与所述电极端子电连接，所述金属凸块与所述振动元件的接合部的截面积为491μm2以上且4007μm2以下。
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公开(公告)号：CN109787626A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811343336.2
申请日：2018-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03L7/26
Abstract: 本发明提供原子振荡器以及频率信号生成系统，该原子振荡器包含：原子室，其收纳碱金属原子；容器，其收纳所述原子室；加热元件，其配置于所述容器，对所述原子室进行加热；基板，其配置有所述容器；以及定位部件，其配置于所述基板，对所述容器进行定位，所述原子室被朝向所述加热元件按压在所述容器上，通过将所述加热元件朝向所述原子室按压在所述容器上，从而使所述容器压靠在所述定位部件上。
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公开(公告)号：CN106209097A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610347593.8
申请日：2016-05-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
CPC classification number: H03L7/26 , G04F5/14 , H03B5/32 , H03B17/00 , H03L1/04 , H03H9/02834 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供电子器件及其制造方法、量子干涉装置、振荡器，电子器件能够长期发挥优异的特性，量子干涉装置、振荡器具有上述电子器件。本发明的原子振荡器(1)具有：基体(31)；原子室单元(2)，其被配置在基体(31)上；盖体(32)，其与基体(31)一起构成收纳原子室单元(2)的内部空间(S1)；以及吸气材料(62)，其在内部空间(S1)中与基体(31)之间具有空隙地被配置在基体(31)上。
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公开(公告)号：CN105577186A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510690057.3
申请日：2015-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 桥幸弘
IPC: H03L7/26
CPC classification number: G04F5/145
Abstract: 原子室及其制造方法、量子干涉装置、原子振荡器，原子室及其制造方法能够提高频率稳定度，并且量子干涉装置、原子振荡器、电子设备以及移动体具有该原子室。本发明的原子室(2)的制造方法包含：准备工序，准备构造体，该构造体具有构成内部空间(S)且一部分为透光部的壁部，并在透光部上配置有液体状或固体状的碱金属(M1)；以及调整工序，通过加热透光部来进行调整，使得碱金属(M)的量在透光部的外周部侧比中央部多。
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