公开(公告)号：CN114411124A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210104274.X

申请日：2022-01-28

Applicant: 福州大学

Inventor： 孙捷 ,  刘义锋 ,  牛萌 ,  杜佳怡 ,  严子雯 ,  田亮 ,  聂君扬 ,  严群 ,  杨天溪 ,  黄忠航

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明公开了一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法，主要通过铪的无机盐与强碱弱酸盐发生双水解反应，同时加入能促进水解反应和促进凝聚作用的硫酸根离子，再通过控制强碱弱酸盐的量调节溶液pH值，使得沉淀缓慢析出并沉积在衬底表面，之后进行退火处理得到致密且连续、有良好的漏电性和高透过率的氧化铪薄膜，本发明可以作为一种成本低廉、工艺简便的新型氧化铪薄膜的制备方法，应用于光学，电学器件中。

公开(公告)号：CN114411124B

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202210104274.X

申请日：2022-01-28

Applicant: 福州大学

Inventor： 孙捷 ,  刘义锋 ,  牛萌 ,  杜佳怡 ,  严子雯 ,  田亮 ,  聂君扬 ,  严群 ,  杨天溪 ,  黄忠航

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明公开了一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法，主要通过铪的无机盐与强碱弱酸盐发生双水解反应，同时加入能促进水解反应和促进凝聚作用的硫酸根离子，再通过控制强碱弱酸盐的量调节溶液pH值，使得沉淀缓慢析出并沉积在衬底表面，之后进行退火处理得到致密且连续、有良好的漏电性和高透过率的氧化铪薄膜，本发明可以作为一种成本低廉、工艺简便的新型氧化铪薄膜的制备方法，应用于光学，电学器件中。