公开(公告)号：CN104335319B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380029154.7

申请日：2013-04-15

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 乔·波鲁 ,  珍奈特·莫瑞 ,  玛尼·斯尔达斯奇 ,  约瑟·C·欧尔森

IPC: H01J37/15

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J37/15 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供一种电极调整组件与调整电极的方法，用于工件制程。电极调整组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一端及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一端及第二端可彼此独立地被调整。

公开(公告)号：CN104335319A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380029154.7

申请日：2013-04-15

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 乔·波鲁 ,  珍奈特·莫瑞 ,  玛尼·斯尔达斯奇 ,  约瑟·C·欧尔森

IPC: H01J37/15

CPC classification number: H01J37/3007 ,  H01J37/15 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/31701 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3171

Abstract: 一种电极调整方法与装置被揭示以用于工件制程。组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一及第二端可彼此独立地被调整。使用本揭示装置的方法也被揭示。