公开(公告)号：CN101088138A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200580044839.4

申请日：2005-11-18

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 张昇吾 ,  约瑟·C·欧尔森 ,  当诺·恩德森 ,  丹尼尔·梅吉立克帝

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/12

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/12

Abstract: 一种在减速模式过程中离子注入机的加速－减速管(240)的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜(250)，围绕离子束(104)，并与加速－减速管(240)的减速透镜(260)相邻。该管透镜使离子束(104)在管透镜(250)的入口处散焦，从而减少由管产生的离子散焦问题。本发明也包括一加速－减速管以及与管透镜成为一体的离子注入机。在管透镜(250)中后续还可添加另外的减速抑制电极(270)，将电子限制在管透镜内。

公开(公告)号：CN101088138B

公开(公告)日：2011-10-26

申请号：CN200580044839.4

申请日：2005-11-18

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 张昇吾 ,  约瑟·C·欧尔森 ,  当诺·恩德森 ,  丹尼尔·梅吉立克帝

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/12

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/12

Abstract: 一种在减速模式过程中离子注入机的加速-减速管(240)的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜(250)，围绕离子束(104)，并与加速-减速管(240)的减速透镜(260)相邻。该管透镜使离子束(104)在管透镜(250)的入口处散焦，从而减少由管产生的离子散焦问题。本发明也包括一加速-减速管以及与管透镜成为一体的离子注入机。在管透镜(250)中后续还可添加另外的减速抑制电极(270)，将电子限制在管透镜内。