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公开(公告)号：CN101341570A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200680047763.5
申请日：2006-12-13
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 彼得·F·库鲁尼西 , 拉塞尔·罗 , 艾力克斯恩德·S·培尔 , 艾利克·R·科步 , 伊桑·亚当·莱特
IPC: H01J37/02 , H01J37/317
Abstract: 本发明是有关于一种用于提供感应耦合射频电浆浸没枪的技术。在一个特定例示性实施例中，可将所述技术实现为离子植入系统中的电浆浸没枪。所述电浆浸没枪可包含：具有一或多个孔径的电浆腔室；能够将至少一气态物质供应至所述电浆腔室的气体源；以及能够将射频电功率感应耦合至所述电浆腔室中以激发所述至少一气态物质从而产生电浆的电源。所述电浆腔室的整个内表面可不含金属材料，且所述电浆不可暴露至电浆腔室内的任何含金属组件。另外，所述一或多个孔径可足够宽以用于来自所述电浆的带电粒子的至少一部分流过。
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