公开(公告)号：CN101584019A

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200780050053.2

申请日：2007-12-03

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 约瑟·P·迪宰桔雷斯契 ,  摩根·D·艾文斯 ,  杰·汤玛斯·舒尔 ,  亚瑟温·谢帝 ,  肯尼士·史温森

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317 ,  G01R19/00

CPC classification number: G01R33/07 ,  B82Y25/00 ,  G01R19/0061 ,  G01R33/093 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/31703

Abstract: 本发明提供一种用于对离子注入机的法拉第杯进行磁性监控的方法。本发明包括：真空室及位于真空室内的法拉第杯，此法拉第杯用以在进入真空室的离子束路径内移动；磁性监控器放置于真空室周围，用以区分与法拉第杯相关联的磁场与杂散磁场。

公开(公告)号：CN101584019B

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200780050053.2

申请日：2007-12-03

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 约瑟·P·迪宰桔雷斯契 ,  摩根·D·艾文斯 ,  杰·汤玛斯·舒尔 ,  亚瑟温·谢帝 ,  肯尼士·史温森

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317 ,  G01R19/00

CPC classification number: G01R33/07 ,  B82Y25/00 ,  G01R19/0061 ,  G01R33/093 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/304 ,  H01J2237/31703

Abstract: 本发明提供一种用于对离子注入机的法拉第杯进行磁性监控的方法。本发明包括：真空室及位于真空室内的法拉第杯，此法拉第杯用以在进入真空室的离子束路径内移动；磁性监控器放置于真空室周围，用以区分与法拉第杯相关联的磁场与杂散磁场。