公开(公告)号：CN101634598A

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200910160905.4

申请日：2009-07-22

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 渡边润 ,  藤崎昌伸 ,  本山久雄

IPC: G01L9/08 ,  G01L27/00

CPC classification number: G01L9/0022 ,  G01L19/02

Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器(10)具有：外壳(12)；受压单元(膜片24)，其封闭所述外壳的开口部(22)，将外部压力传递到所述外壳(12)内部；以及感压元件(40)，其具有感压部(振动臂)(40c)和与所述感压部的两端连接的一对基部(第1基部40a、第2基部40b)，将力的检测方向作为检测轴，连接所述一对基部的直线和所述受压单元的位移方向平行配置，并且，将所述基部的一方(第1基部40a)连接到由于所述压力而位移的所述受压单元的中央区域(24a)，将所述基部的另一方(第2基部40b)经由连接部件(42)连接到所述受压单元的固定侧的周缘区域(24c)。

公开(公告)号：CN101556291A

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200910128373.6

申请日：2009-04-07

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 渡边润

IPC: G01P15/097 ,  G01P13/02

CPC classification number: G01P15/097

Abstract: 本发明提供一种加速度的检测灵敏度高且抑制其他轴灵敏度的加速度检测装置。该加速度检测装置具有：矩形环状的外壳(5)；第1驱动臂(10)，其两端部由外壳的相对的两个端边支撑着；单臂构造的第2驱动臂(11)和单臂构造的检测臂(12)，其基端部由一方端边固定而朝向另一方端边延伸；凹部(15a、15b)，其分别形成于两个端边的同一表面上相当于第1驱动臂的两端部的部位；以及缩颈部(16a、16b)，其相对形成在靠近一方端边的上下表面上，第1驱动臂设有激励两端固定的弯曲振动的激励电极，第2驱动臂设有激励一端固定的弯曲振动的激励电极，检测臂设有当检测臂产生一端固定的弯曲振动时拾取通过弯曲振动激励的电荷的电极。

公开(公告)号：CN100567923C

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200480018179.8

申请日：2004-07-02

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 渡边润

IPC: G01L9/12

Abstract: 一种石英型压力传感器，其通过使用石英作为压力传感器的检测片从而可以解决使用硅检测片的压力传感器的缺点，例如由于刻蚀精度低而导致难以控制膜片厚度以及由此导致的检测精度低和弹性变形再现性差。该压力传感器包括：由绝缘材料构成的底板；顺序层叠在所述底板的表面上的下电极膜和介电膜；检测片，在与所述介电膜相对的位置设置有薄壁部并且固定到所述底板的表面；上电极膜，形成在所述薄壁部的至少一部分上并且位置关系为与所述下电极膜相对；以及在所述检测片的下表面与所述介电膜之间的微小间隙气密空间，该压力传感器的特征在于所述检测片由石英材料构成。