-
公开(公告)号：CN102197592A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980142077.X
申请日：2009-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离，因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且，第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离，因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样，能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。
-
公开(公告)号：CN101488731B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200910001307.2
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/04
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
-
公开(公告)号：CN102006024A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010597294.2
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
-
公开(公告)号：CN101877575A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN201010170631.X
申请日：2010-04-30
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/21
Abstract: 一种弯曲振动片，能够消除弯曲振动片的振动泄漏，提高Q值，改善CI值，促进小型化以及薄型化。在弯曲振动片中，从基部延伸的振动臂具有在彼此相对的第1以及第2主面上沿着振动臂的长度方向形成的第1以及第2槽部。第1槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于振动臂长度方向的中心线交替错开地配置在中心线两侧的多个第1槽部分构成，第2槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于中心线交替错开地配置在中心线两侧且相对于中心线配置在各第1槽部分的相反侧的多个第2槽部分构成。当对第1以及第2槽部的第1激励电极和振动臂两侧面的第2激励电极施加交流电压时，振动臂在第1或第2主面的面内方向上弯曲振动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100521526C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200610164513.1
申请日：2006-12-06
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/1071
Abstract: 本发明提供一种电子部件，实现电子部件的小型化，该电子部件具有：在腔室(17)内的底面(19)上形成有金属化层(25)的壳体(3)，和在腔室(17)内的底面(19)上隔着金属化层(25)配置的声表面波元件(9)，声表面波元件(9)在设于底面(19)侧一面的相反侧一面上形成有电极，在腔室(17)内，声表面波元件(9)中成为所述电极的电连接对象的内部电极(23)形成于在俯视时夹持声表面波元件(9)的第1方向上隔着该声表面波元件(9)对峙的各个位置上，并且与声表面波元件(9)之间具有间隙，在底面(19)上，使基板(11)露出的窗口部(27)形成于在俯视时与所述第1方向交叉的第2方向上隔着声表面波元件(9)对峙的各个位置上，并且在俯视时与腔室(17)的内周接触。
-
公开(公告)号：CN101488731A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910001307.2
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/04
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
-
公开(公告)号：CN1980056A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200610164513.1
申请日：2006-12-06
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/1071
Abstract: 本发明提供一种电子部件，实现电子部件的小型化，该电子部件具有：在腔室(17)内的底面(19)上形成有金属化层(25)的壳体(3)，和在腔室(17)内的底面(19)上隔着金属化层(25)配置的声表面波元件(9)，声表面波元件(9)在设于底面(19)侧一面的相反侧一面上形成有电极，在腔室(17)内，声表面波元件(9)中成为所述电极的电连接对象的内部电极(23)形成于在俯视时夹持声表面波元件(9)的第1方向上隔着该声表面波元件(9)对峙的各个位置上，并且与声表面波元件(9)之间具有间隙，在底面(19)上，使基板(11)露出的窗口部(27)形成于在俯视时与所述第1方向交叉的第2方向上隔着声表面波元件(9)对峙的各个位置上，并且在俯视时与腔室(17)的内周接触。
-
公开(公告)号：CN102064790A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010597292.3
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
-
公开(公告)号：CN101847979A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010148347.2
申请日：2010-03-25
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/02102 , H03H9/02133
Abstract: 本发明提供一种抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。该音叉型石英振动片(50)由基部(52)和从该基部(52)的一端侧分叉出两支并彼此平行地延伸的一对振动臂(53、54)构成。在各振动臂(53、54)形成有激励电极(36A、37A)，在基部(52)设置了分别与激励电极(36A、37A)相对应的外部连接电极(66、67)。另外，在振动臂(53)的与基部(52)相连的根部附近的基部(52)上设置有由热传导率高的材料形成的热传导路径(57)，该热传导路径(57)被连接于侧面电极(26A、26B)，该侧面电极(26A、26B)分别设置在与振动臂(53)的形成有激励电极(36A)的主面正交的两侧面。从而，图中箭头所示的振动臂(53)的弯曲振动方向的成为与基部(52)相连的根部的第1区域(110)和第2区域(111)通过热传导路径(57)被热连接。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.045 seconds)
