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公开(公告)号：CN116165850B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202310119397.5
申请日：2023-01-17
Abstract: 本说明书公开了一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头，该物镜镜头包括：光焦度为负的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组以及光焦度为正的第三透镜组，第一透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、负、正的透镜；第二透镜组包含三个光焦度依次为负、正、负的透镜；第三透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、正、正的透镜；第一透镜组负责接收光源，并将光源折射至第二透镜组，第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线，并将收集的光线折射至第三透镜组，第三透镜组将光线将聚焦于基底，物镜镜头中的透镜均处于同一光轴，本说明书中的物镜镜头能够校正多种像差，特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。
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公开(公告)号：CN119781150A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202510045984.3
申请日：2025-01-13
Applicant: 浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心
Abstract: 本发明公开了一种三维并行共聚焦荧光显微成像系统及显微成像方法，包括：光源模块发射消相干、均匀光强的单色激光经过多焦均匀平场照明模块，点阵列照明光通过二向色镜将点阵列照明光输入所述的照明扫描对光束进行扫描，进入像差矫正模块进行光学像差矫正，之后进入显微照明模块到达待观测样品，待观测样品产生的荧光作为点阵列成像光沿着照明光路反向传播，经过像差矫正模块并经过所述的照明扫描模块被解扫描，再通过所述的二向色镜透射，输入所述的光子重组模块，生成高分辨率的点阵列成像光，生成的高分辨率的点阵列成像光经过所述的成像扫描模块到达所述的成像模块。可以同时实现高速成像探测以及对像差的矫正以实现对分辨率和信噪比的提高。
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公开(公告)号：CN114609050B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202210291866.7
申请日：2022-03-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于多偏振与照明模式的超分辨显微成像方法与装置，本发明基于多偏振光束的相干合成与大数值孔径物镜的聚焦实现了对聚焦光斑的三维偏振调控，与现有的偏振成像技术相比，多获取了1个维度的偏振信息，重构得到包含更丰富信息的超分辨图像。本发明在偏振转换的同时加入了照明模式的变换，照明模式的变换能克服光学衍射极限。本发明结合了三维偏振调控与照明模式变换，实现了超分辨显微成像。
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公开(公告)号：CN119714111A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411714730.8
申请日：2024-11-27
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/24 , G01B9/02017 , G01B9/02055 , G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种CGH和反射镜综合检测凸非球面的系统及方法。本发明基于CGH和辅助反射镜结合子孔径拼接技术提出了一种面向大口径凸非球面的高精度检测装置及方法，本发明中仅需辅助反射镜的一次反射，降低了对辅助反射镜面形精度的要求，提高了反射镜制造的可能性。辅助反射镜倾斜放置避免了全口径光学元件中心区域无法测量的问题，传统Hindle球辅助检测时需要中心开孔的问题。并且辅助反射镜可以是平面反射镜能够避免辅助hindle球难以制作的问题。除此之外，采用子孔径拼接技术减小了CGH和辅助反射镜的制作难度。本发明为大口径凸非球面的高精度检测提供了一种易于操作的检测装置和数据处理方法。
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公开(公告)号：CN118778380B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411280459.1
申请日：2024-09-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于可控多点阵灰度刻写的双光子高通量直写装置和方法，该装置通过对微透镜阵列和数字微镜阵列的协同调控得到强度均一的焦点阵列，还通过像旋模块控制并行直写光斑阵列的旋向角度，通过控制旋向角度和刻线间距实现高精度的灰度刻写。该方法能够根据实际的灰度刻写需求调整设备的刻写策略，且刻写曝光过程位移台仅需保持匀速扫描，节省了平台重复加减速的时间，同时充分利用了飞秒激光光斑的入瞳能量，使得该方法兼具高通量大面积与2.5D高精度灰度刻写的优势，具有广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119395899A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411841259.9
申请日：2024-12-13
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Abstract: 本发明公开一种复用SLM实现菲涅尔非相干相关全息超分辨显微系统及方法，系统包括：显微镜模块、起偏模块、空间光调制模块、全息探测模块及图像处理模块；显微镜模块使用光源照射样品并将样品光收集；起偏模块包括透镜及偏振单元，形成偏振样品光；空间光调制模块包括空间光调制器及转换单元，将第二调制样品光输入至全息探测模块中；全息探测模块包括第二四分之一波片、成像透镜单元及偏振相机，图像处理模块获取偏振图像集并进行处理，得到再现图像。本方法保持了波带片图案的完整性，解决了现有菲涅尔非相干相关全息技术中随机误差及像质减弱的问题，同时提高系统的灵活性。
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公开(公告)号：CN118443630B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410547879.5
申请日：2024-05-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/63 , G06T3/4053 , G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种基于频域调制的去背景噪声方法和装置，涉及超分辨技术领域，两个激光器发出的两种光束同时照射到待测样品表面，其中一束光通过0～2π涡旋位相板后在待测样品上聚焦形成高能量的空心光斑；另一束仍为低能量的实心光斑；采用电光调制器对两束激光同时进行时间调制，并采用锁相放大器解调出不同频率下的信号光，后期通过差分处理去除背景噪声，用于实现高信噪比超分辨图像。本发明装置简单，操作方便；利用对两束光同时进行时间域调制，将获得的信号在频域上进行处理，有效且量化地去除未损耗完全的荧光信号和二次激发背景信号。
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公开(公告)号：CN118625598A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202310740014.6
申请日：2023-06-21
Abstract: 本发明公开了一种基于聚羟基苯乙烯的双光子光刻胶及其图案化方法。所述基于聚羟基苯乙烯的双光子光刻胶按质量份数计，包括以下组分：1‑3份聚羟基苯乙烯化合物，1‑7份活性交联剂，0.2‑0.5份双光子引发剂，0‑0.5份增敏剂，0～90份溶剂。本发明提供的基于聚羟基苯乙烯的双光子光刻胶具有良好的成膜性，利用飞秒激光直写光刻系统，可以刻写出满足微纳加工需求的光刻胶线条，具有良好的精度，在微纳电子器件、集成电路和显示面板等半导体制造领域内有巨大的应用前景。
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公开(公告)号：CN118348751A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410774633.1
申请日：2024-06-17
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
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公开(公告)号：CN117826371B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410016678.2
申请日：2024-01-05
Applicant: 浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心
Abstract: 本发明公开了一种长工作距离的紧凑型光谱共焦测量镜头，包括从像方至物方依次排列设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜，所述第五透镜和第六透镜组成密接的双胶合透镜，其他各透镜均为单透镜；光源出射的光束由所述第一透镜入射，由所述第六透镜出射形成色散光，所述色散光照射至被测物表面后，根据被测物所处的不同位置，反射回不同波长的反射光，所述反射光由所述第六透镜入射，由所述第一透镜出射。光谱共焦传感器，包括光源、光谱仪、光纤和上述的长工作距离的紧凑型光谱共焦测量镜头。本发明结构简单紧凑，易于装配，适应于各种工业场景。
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