公开(公告)号：CN116256078B

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202310149550.9

申请日：2023-02-21

Applicant: 武汉大学

Inventor： 瓦西里·帕里诺维奇 ,  曾晓梅 ,  杨兵 ,  许畅 ,  张翔宇 ,  刘修铭 ,  张俊 ,  黄家辉

IPC: G01K7/22 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/10 ,  C23C14/02 ,  C23C14/58 ,  C23C14/16

Abstract: 本申请公开了铌酸锂薄膜温度传感器、测温方法及温度测量设备。该温度传感器的超声压电材料为铌酸锂压电涂层，通过涂层的表面断面形貌、晶粒形状尺寸、晶体结构、超声波形态中至少一者表征待测温度。为实现铌酸锂薄膜温度传感器的实时测温，本申请还提供了温度测量设备，包括依次电连接的加热区域、薄膜超声波温度传感器、脉冲发射‑接收器、控制器、计算机终端设备。本技术方案提供了宽温域范围内稳定工作的的监测设备和薄膜温度传感器，实时监测温度，实现温度变化的提前预警，避免重要设备的结构性损坏。

公开(公告)号：CN115184453B

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202210624331.7

申请日：2022-06-02

Applicant: 武汉大学

Inventor： 瓦西里·帕里诺维奇 ,  曾晓梅 ,  杨兵 ,  张翔宇 ,  姜杨慧 ,  张俊 ,  陈燕鸣 ,  黄家辉

IPC: G01N29/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种LiNbO3/LiTaO3压电涂层传感器及制备方法，该LiNbO3/LiTaO3纳米复合压电涂层采用梯度多层结构，由内到外依次包括结合层、高温扩散阻挡层、压电功能层、保护层、过渡层和电极层，其中，结合层为纯金属Cr，高温扩散阻挡层为AlN，压电功能层为LiNbO3/LiTaO3纳米多层膜，保护层为Cr，过渡层为Ag/Cr，电极层为Ag。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的压电性能、耐高温、耐腐蚀、抗辐照；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成渐变成分，降低涂层和基体应力，附着力优异；该结构可以满足薄膜高温稳定性和低应力的需要，满足长寿命高可靠运行的需求。

公开(公告)号：CN116989829B

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202310837102.8

申请日：2023-07-07

Applicant: 武汉大学

Inventor： 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 ,  曾晓梅 ,  杨兵 ,  张俊 ,  张翔宇 ,  许畅 ,  黄家辉

IPC: G01D5/18 ,  G01L1/16 ,  C23C14/35 ,  C23C14/32 ,  C23C14/16 ,  C23C14/54 ,  C23C14/48 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明公开了一种增强超声反射回波的薄膜传感器及其应用，所述的传感器，由下至上包括，衬底、压电涂层和电极涂层；所述电极涂层的厚度为5～100μm，由磁控溅射法制备而成；所述电极涂层的成分包括Ag、Cu、Cr、Ti或Al中的至少一种。本发明无需改变压电涂层材料和结构，在压电涂层表面形成预镀涂层和电极涂层，并在电极涂层制备时施加偏压形成了预镀涂层与电极涂层的混合区增强了电极涂层与预镀涂层的结合力，得到的增强超声反射回波的传感器降低衬底对声波能量的吸收、提高反射回来的超声波幅值和信噪比，实现对衬底的应力高效检测。本发明的传感器，在吸波严重的高温合金螺栓上同样获得了强超声信号，拓宽了超声应力检测在高温合金螺栓中的应用。

公开(公告)号：CN118981938A

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202410945030.3

申请日：2024-07-15

Applicant: 武汉大学

Inventor： 张翔宇 ,  杨兵 ,  佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 ,  曾晓梅 ,  曾仲 ,  刘杰

IPC: G06F30/27 ,  G16C60/00 ,  G16C20/70 ,  C22C30/00 ,  G16C20/30 ,  G06F18/214 ,  G06F18/24 ,  G06N20/00 ,  G06N5/01 ,  C23C14/35 ,  C23C14/14 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种基于机器学习设计的超硬高熵氮化物涂层及其制备方法，属于对金属材料的镀覆技术领域。本发明包括如下步骤：（1）建立用于预测高熵氮化物涂层硬度的数据集；（2）通过特征工程对数据库中的各类特征进行评估，优化特征以提升预测精度；（3）对机器学习模型进行超参数优化和十折交叉验证，选择预测性能最佳的模型；（4）将预设的预测空间输入预测性能最佳的机器学习模型，挑选预测硬度最高的高熵氮化物涂层体系；（5）根据预测硬度最高的高熵氮化物涂层，制备得到超硬高熵氮化物涂层。本发明利用机器学习高效率、低成本以及处理大规模复杂体系的优势，为开发先进保护性涂层提供了重要的科学见解和有效的设计方法。

公开(公告)号：CN117026153A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202310837326.9

申请日：2023-07-07

Applicant: 武汉大学

Inventor： 刘杰 ,  雷燕 ,  杨兵 ,  张翔宇 ,  佩列诺维奇•瓦西里•奥列戈维奇 ,  曾晓梅 ,  姜杨慧 ,  许畅 ,  熊泽畅 ,  张俊 ,  黄家辉

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种硬质合金刀片用自组装AlCrNbSiTiN高熵合金氮化物纳米多层复合涂层及其制备方法，属于薄膜材料技术领域。本发明提供了一种综合力学性能和高温稳定性良好的自组装AlCrNbSiTiN高熵合金氮化物纳米多层复合涂层。本发明还利用电弧离子镀沉积过程中等离子体的分布特性，提出一种新的制备多层复合涂层的方法。在涂层沉积过程中，腔体内的等离子体的分布并不是均匀的，在靠近靶材法向的区域内离子浓度较高，而靶材两侧区域内离子浓度较低，因此可以将等离子体依浓度分为三个区域，让沉积基材依次经过等离子体浓度分布不均匀的三个区域，实现元素含量不同的层交替沉积，从而形成多层结构，得到纳米多层复合涂层，该方法工艺简单、成本低、生产效率高。

公开(公告)号：CN114752903B

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202210369739.4

申请日：2022-04-08

Applicant: 武汉大学

Inventor： 曾晓梅 ,  瓦西里·帕里诺维奇 ,  杨兵 ,  张俊 ,  张翔宇 ,  陈燕鸣 ,  黄家辉

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/54 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明提供一种表面形貌可调的压电涂层的制备方法及该压电涂层，包括：制备溅射靶材；初步清洁衬底；准备磁控溅射设备与衬底摆放；引入高纯Ar气，设置衬底负偏压，开启弧电源，Ar被电离成Ar+，Ar+离子束轰击衬底，清洁衬底表面形成氧化物并活化表面；沉积压电涂层：离子束深度清洁衬底后，关闭弧电源，旋转转盘使得衬底与溅射靶材平行，向腔室内通入高纯Ar气和高纯氧气，设置射频电源参数，在Ar/O2混合气流及射频源作用下，溅射出溅射靶材的物质并沉积至衬底，形成均匀包裹在衬底表面的压电涂层；到达设定的沉积时间后，膜层沉积停止，关闭磁控溅射设备，冷却后取出样品，完成压电涂层的制备。本发明制备的压电涂层形貌可控制调节，且耐高温性优异。

公开(公告)号：CN114188274A

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202111404977.6

申请日：2021-11-24

Applicant: 武汉大学深圳研究院

Inventor： 吐沙姑·阿不都吾甫 ,  付德君 ,  亚历山大·托斯托古佐夫 ,  左文彬 ,  张翔宇 ,  刘传胜

IPC: H01L21/768 ,  C23C14/48 ,  C23C14/16 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明涉及铜互连沉积技术领域，特别涉及一种利用固体电解质Rb4Cu16I7Cl13实现铜互连沉积的直接沉积方法。本方案提供的的一种利用固体电解质Rb4Cu16I7Cl13制备的铜离子产生方法，产生的铜离子束按设定的器件图形结构沉积在晶圆表面完成器件的铜互连工艺。通过相对简单的高能机械化学研磨法制备铜基固体电解质材料，制成离子发射极并产生带正电荷的铜离子束。然后，通过程序控制沉积在样品表面形成铜互连。铜离子束以一定能量沉积到晶圆表面，属于直接沉积成膜，无需使用掩模(光刻胶)和光刻工序。即直接把铜原子沉积在所需的线段上形成所需的铜互连，无需执行涂敷光刻胶和去除光刻胶的工序。

公开(公告)号：CN116558838B

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202310484146.7

申请日：2023-04-28

Applicant: 武汉大学

Inventor： 佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 ,  曾晓梅 ,  杨兵 ,  张俊 ,  张翔宇 ,  许畅 ,  姜杨慧 ,  王豪斌 ,  黄家辉

IPC: G01M15/14 ,  H04W4/38 ,  G01K13/00

Abstract: 本发明涉及温度、载荷监测的技术领域，公开了一种无线超声测量系统及其设计方法，提供了一种无线超声测量方法、一种基于方法的无线超声测量装置、以及一种复合薄膜、涡轮叶片、螺旋传感线圈一体化制备方法。整个系统包含仪器端和传感器端，仪器端由主机(监测系统)、发射线圈、接收线圈、线圈铁芯组成，传感器端为涡轮叶片、涡轮叶片端面复合压电薄膜、螺旋传感线圈一体化设计。发射线圈与脉冲发生器连接，实现电磁波脉冲信号的无线发射；螺旋传感线圈与复合压电薄膜构成回路，作为天线，无线收发压电薄膜产生的超声信号；接收线圈与主机连接，实现脉冲信号的无线接收。

公开(公告)号：CN118329252A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410208058.9

申请日：2024-02-26

Applicant: 武汉大学

Inventor： 曾晓梅 ,  佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇 ,  杨兵 ,  张翔宇 ,  张俊 ,  黄家辉

IPC: G01L5/00 ,  G01L1/16 ,  G01N17/00 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02 ,  H10N30/06 ,  H10N30/87

Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀耐高温超声波传感器用电极材料及其制备方法，属于压电传感器技术领域。本发明的制备方法，通过在衬底与靶材间施加偏置电压并结合热扩散处理，形成或扩大层间交互区域，使电极材料各层牢固结合；其工艺简便、加工精度高，适用于规模化生产。所制超声波传感器用电极材料包含压电层与结合层的交互区域、结合层、结合层与高熵合金电极层的交互区域、高熵合金电极层的多层结构，并且层间结合性能优异，在海洋工作环境下具有优异的稳定性。

公开(公告)号：CN117344275A

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202311218337.5

申请日：2023-09-19

Applicant: 武汉大学

Inventor： 姜杨慧 ,  杨兵 ,  张俊 ,  瓦西里 ,  曾晓梅 ,  张翔宇 ,  陈燕鸣 ,  黄家辉

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/54 ,  G01L1/25 ,  G01L5/24

Abstract: 本发明提供一种可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料的制备方法，包括：采用Al靶材通过磁控溅射在基体表面形成AlN压电功能层；通过控制磁控溅射中，氩气和氮气体积比、温度、溅射功率、沉积气压以及靶基距，使AlN压电功能层在沉积过程中呈多种取向生长。本发明制得的AlN压电涂层材料具有良好的力学性能、耐温性能和抗腐蚀性能，在不需要保护层的情况下，确保AlN压电涂层在高温和恶劣工况下具有长期稳定的服役能力，减少腐蚀等因素导致的失效可能性，可实现螺栓预紧力的精确无损测量，或实现钢基体缺陷检测和应力测量。本发明采用的溅射技术为工业上的通用技术，工业生产批量容易实现，加工效率较高，可以大幅度降低厂家的生产成本。