-
公开(公告)号：CN107710397A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680034320.6
申请日：2016-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/683 , C23C14/04
Abstract: 本发明提供一种能够确保掩膜与基板之间的紧贴性的基板保持装置。基板保持装置(30)具有掩膜板(311)、中间板(32)、保持板(33)和推压机构(34)。掩膜板(311)由磁性材料构成。中间板(32)构成为，具有与掩膜板(311)相向的第1表面、和与所述第1表面相反一侧的第2表面，所述第1表面能够与配置于掩膜板(311)上的基板(W)接触。保持板(33)以中间板(32)能够在与掩膜板(311)正交的轴向上作相对移动的方式支承该中间板(32)，并且具有磁铁(331)，该磁铁(331)构成为，能够隔着中间板(32)和基板(W)对掩膜板(311)进行磁吸附。推压机构(34)与所述第2表面相向配置，且其构成为能够沿所述轴向对所述第2表面的至少局部进行推压。
-
公开(公告)号：CN101126854A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710142708.0
申请日：2007-08-15
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 梅村博文
IPC: G02F1/1333 , G02F1/13 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种可以提高产品成品率的贴合方法和贴合基板的制造装置。将具有多个第一记号(AU～DU)的上基板(W2)与具有用于分别跟第一记号对位的多个第二记号(AL～DL)的下基板(W1)进行贴合的贴合方法，包括：获取多个第一记号的坐标位置和多个第二记号的坐标位置的位置取得工序；和算出分别表示多个第二记号相对于多个第一记号的位置偏移量的多个第一偏移量(CamnX、CamnY)的第一偏移量计算工序；和根据多个第一偏移量，算出上基板和下基板贴合位置的贴合位置计算工序；和按照贴合位置，将上基板和下基板互相贴合的贴合工序。贴合位置计算工序，包含：从多个第一偏移量，算出因上基板和下基板的伸缩产生的伸缩偏移量，将伸缩偏移量分别分配到多个第一偏移量中，从而算出多个第二偏移量(CalnX、CalnY)的第二偏移量计算工序；和使用多个第二偏移量，算出将上基板以及下基板的任何一方，相对于另一方移动到贴合位置所需修正量的修正量计算工序。
-
公开(公告)号：CN107710397B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201680034320.6
申请日：2016-06-07
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/683 , C23C14/04
Abstract: 本发明提供一种能够确保掩膜与基板之间的紧贴性的基板保持装置。基板保持装置(30)具有掩膜板(311)、中间板(32)、保持板(33)和推压机构(34)。掩膜板(311)由磁性材料构成。中间板(32)构成为，具有与掩膜板(311)相向的第1表面、和与所述第1表面相反一侧的第2表面，所述第1表面能够与配置于掩膜板(311)上的基板(W)接触。保持板(33)以中间板(32)能够在与掩膜板(311)正交的轴向上作相对移动的方式支承该中间板(32)，并且具有磁铁(331)，该磁铁(331)构成为，能够隔着中间板(32)和基板(W)对掩膜板(311)进行磁吸附。推压机构(34)与所述第2表面相向配置，且其构成为能够沿所述轴向对所述第2表面的至少局部进行推压。
-
公开(公告)号：CN100495149C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200710142708.0
申请日：2007-08-15
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 梅村博文
IPC: G02F1/1333 , G02F1/13 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供一种可以提高产品成品率的贴合方法和贴合基板的制造装置。将具有多个第一记号(AU～DU)的上基板(W2)与具有用于分别跟第一记号对位的多个第二记号(AL～DL)的下基板(W1)进行贴合的贴合方法，包括：获取多个第一记号的坐标位置和多个第二记号的坐标位置的位置取得工序；和算出分别表示多个第二记号相对于多个第一记号的位置偏移量的多个第一偏移量(CamnX、CamnY)的第一偏移量计算工序；和根据多个第一偏移量，算出上基板和下基板贴合位置的贴合位置计算工序；和按照贴合位置，将上基板和下基板互相贴合的贴合工序。贴合位置计算工序，包含：从多个第一偏移量，算出因上基板和下基板的伸缩产生的伸缩偏移量，将伸缩偏移量分别分配到多个第一偏移量中，从而算出多个第二偏移量(CalnX、CalnY)的第二偏移量计算工序；和使用多个第二偏移量，算出将上基板以及下基板的任何一方，相对于另一方移动到贴合位置所需修正量的修正量计算工序。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.018 seconds)
