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公开(公告)号：CN113400804B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202110034090.6
申请日：2021-01-12
Abstract: 本发明提供一种喷墨头单元，从各喷嘴喷出规定量的墨水液滴。喷墨头单元具备：共用墨水室，能够收纳墨水；第1喷嘴单元，具有第1喷嘴、将上述第1喷嘴与上述共用墨水室连通的第1流路、及使墨水从上述第1喷嘴喷出的第1致动器；以及第2喷嘴单元，与第1喷嘴单元在第1方向上相邻，具有第2喷嘴、将上述第2喷嘴与上述共用墨水室连通的第2流路、及使墨水从上述第2喷嘴喷出的第2致动器，上述第1流路经由第1开口部与上述共用墨水室连通，上述第2流路经由第2开口部与上述共用墨水室连通，沿着从上述共用墨水室朝向上述第1流路的第2方向观察，与上述第1方向交叉的第3方向上的上述第1开口部的中心位置与上述第2开口部的中心位置不同。
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公开(公告)号：CN101622076A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200880006435.X
申请日：2008-02-27
CPC classification number: H01L21/67028 , B05D3/105 , G02F1/1303 , H01L21/6715 , H01L21/6776
Abstract: 在涂布装置(1)中，包括：液滴喷射部，所述液滴喷射部向涂布对象物(2)喷射第一溶液的液滴，在涂布对象物(2)上涂布液滴；重新润湿干燥部(6)，所述重新润湿干燥部(6)赋予涂布到涂布对象物(2)上的第一溶液残留物能够溶解残留物的溶剂，形成作为溶质包含残留物的第二溶液的涂布体，使形成的第二溶液涂布体干燥。
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公开(公告)号：CN113400804A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110034090.6
申请日：2021-01-12
Abstract: 本发明提供一种喷墨头单元，从各喷嘴喷出规定量的墨水液滴。喷墨头单元具备：共用墨水室，能够收纳墨水；第1喷嘴单元，具有第1喷嘴、将上述第1喷嘴与上述共用墨水室连通的第1流路、及使墨水从上述第1喷嘴喷出的第1致动器；以及第2喷嘴单元，与第1喷嘴单元在第1方向上相邻，具有第2喷嘴、将上述第2喷嘴与上述共用墨水室连通的第2流路、及使墨水从上述第2喷嘴喷出的第2致动器，上述第1流路经由第1开口部与上述共用墨水室连通，上述第2流路经由第2开口部与上述共用墨水室连通，沿着从上述共用墨水室朝向上述第1流路的第2方向观察，与上述第1方向交叉的第3方向上的上述第1开口部的中心位置与上述第2开口部的中心位置不同。
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公开(公告)号：CN103301992B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310070532.8
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向被处理物的处理面喷出的第一喷嘴、设置在第一喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出第二处理液的第二喷嘴、以及设置在第二喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出清洗液的第三喷嘴。而且，第二喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出第二处理液，第三喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。
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公开(公告)号：CN118342894A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202311620524.6
申请日：2023-11-30
Abstract: 本发明的实施方式涉及液体喷出头以及液体喷出装置。一个实施方式所涉及的液体喷出头具有流路部和致动器部。流路部具有：多个压力室；上部共用室，与多个所述压力室的一次侧连通；以及下部共用室，与多个所述压力室的二次侧连通，并且重心位于比所述上部共用室的重心靠下的位置。致动器部驱动所述压力室。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102150234B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN200980135993.0
申请日：2009-11-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/027 , G03F7/16 , H01L21/31 , H01L21/312 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/6715 , B05D1/005 , B05D3/0486 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种成膜装置(1)，具有：负载涂布对象物(W)的平台(2)，使平台(2)在水平面内旋转的旋转机构(3)，在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的规定区域中涂布材料而形成涂布膜(M)的涂布部(4)，产生能溶解涂布膜(M)的溶剂蒸气的供气部(5)，对在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的涂布膜(M)喷吹由供气部(5)产生的溶剂蒸气的喷吹部(6)，控制由喷吹部(6)喷吹的上述溶剂蒸气量，使其为能溶解涂布膜(M)、涂布膜(M)的表层侧部分的粘度比涂布对象物(W)侧部分的粘度低的量的控制部(9)。
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公开(公告)号：CN104037108A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410080006.4
申请日：2014-03-06
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明的一个实施方式，为具备用冲刷液冲洗处理物的表面的处理液的冲刷部、以及使上述处理物的表面干燥的干燥部的处理装置，上述干燥部具有：腔室；设置在上述腔室的内部、朝上述处理物的表面喷射气体的喷嘴；设置在上述冲刷部与设置有上述喷嘴的上述腔室内部的空间之间的气流控制部；以及沿上述处理物的搬送方向排列的多个搬送辊。并且，上述气流控制部具有设置在上述处理物搬入一侧的第1开口部和设置在上述处理物搬出一侧的第2开口部，上述第2开口部的开口面积比上述第1开口部的开口面积小。
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公开(公告)号：CN103301992A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310070532.8
申请日：2013-03-06
Applicant: 株式会社东芝 , 芝浦机械电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在利用回收的处理液进行处理的情况下也能够进行恰当的处理的处理装置和处理方法。根据一个实施方式，处理装置具备输送被处理物的输送部、回收已供给到由输送部输送的被处理物的处理面上的第一处理液的回收部、将由回收部回收的第一处理液向被处理物的处理面喷出的第一喷嘴、设置在第一喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出第二处理液的第二喷嘴、以及设置在第二喷嘴的输送方向的下游侧且向被处理物的处理面喷出清洗液的第三喷嘴。而且，第二喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的下游侧喷出第二处理液，第三喷嘴朝着与相对输送方向垂直的方向相比向输送方向的上游侧喷出清洗液。
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公开(公告)号：CN101622076B
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN200880006435.X
申请日：2008-02-27
CPC classification number: H01L21/67028 , B05D3/105 , G02F1/1303 , H01L21/6715 , H01L21/6776
Abstract: 在涂布装置(1)中，包括：液滴喷射部，所述液滴喷射部向涂布对象物(2)喷射第一溶液的液滴，在涂布对象物(2)上涂布液滴；重新润湿干燥部(6)，所述重新润湿干燥部(6)赋予涂布到涂布对象物(2)上的第一溶液残留物能够溶解残留物的溶剂，形成作为溶质包含残留物的第二溶液的涂布体，使形成的第二溶液涂布体干燥。
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公开(公告)号：CN102150234A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135993.0
申请日：2009-11-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/027 , G03F7/16 , H01L21/31 , H01L21/312 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/6715 , B05D1/005 , B05D3/0486 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种成膜装置(1)，具有：负载涂布对象物(W)的平台(2)，使平台(2)在水平面内旋转的旋转机构(3)，在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的规定区域中涂布材料而形成涂布膜(M)的涂布部(4)，产生能溶解涂布膜(M)的溶剂蒸气的供气部(5)，对在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的涂布膜(M)喷吹由供气部(5)产生的溶剂蒸气的喷吹部(6)，控制由喷吹部(6)喷吹的上述溶剂蒸气量，使其为能溶解涂布膜(M)、涂布膜(M)的表层侧部分的粘度比涂布对象物(W)侧部分的粘度低的量的控制部(9)。
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