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公开(公告)号:CN103317713B
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201310087116.9
申请日:2013-03-19
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B29C59/00
CPC classification number: B41J2/04501 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 实施方式的滴状体配置方法包括:将基体的面划分为第1区域并对每个第1区域求出滴状体的量的工序;求出滴状体的总量的工序;求出滴状体的总数的工序;根据模板的接触方式求出暂定的滴状体的配置的工序;将各第1区域分配至最接近的滴状体、将第1区域的集体作为第2区域通过第2区域重新划分的划分工序;以及对每个第2区域求出评价值的评价值计算工序。另外,该实施方式的滴状体配置方法,在评价值的分布处于作为目标的范围内时,确定滴状体的位置,在评价值的分布不处于作为目标的范围内时,重复进行变更至少任一个滴状体的位置的工序、划分工序及评价值计算工序。
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公开(公告)号:CN101271977A
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200810086883.7
申请日:2008-03-20
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01M8/04007 , H01M8/0289 , H01M8/04186 , H01M8/1011 , H01M8/1065 , Y02E60/523 , Y02P70/56
Abstract: 本发明提供一种燃料分布调整方法、燃料分布调整膜及其制造方法,能够通过调整燃料供给量在膜电极接合体上的分布而使膜电极接合体中的温度分布变得均匀。该燃料分布调整方法的特征在于:借助于在燃料电池的膜电极接合体的燃料供给侧设置的膜,来调整向上述膜电极接合体供给的燃料供给量的分布,以使上述膜电极接合体中的温度分布变得大致均匀。
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公开(公告)号:CN101045290A
公开(公告)日:2007-10-03
申请号:CN200610129053.9
申请日:2006-09-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B24D17/00 , B24B29/02 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/26
Abstract: 本发明提供一种具有穿通孔的研磨垫,通过提高研磨液的供应排出能力,能缩小研磨量的偏差。本发明的研磨垫具备:板状的垫本体(12),一个面作为研磨面(12a),另一个面作为支持面(12b);以及多个穿通部(20),从研磨面(12a)到支持面(12b)穿通垫本体(12),其开口部沿着上述研磨液的流动方向形成。
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公开(公告)号:CN1672876A
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN200510056464.5
申请日:2005-03-22
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B24B37/04 , H01L21/304
Abstract: 一种研磨设备(10),包括:驱动机构(22),用以在方向(R)上旋转工作台(21);研磨液供应机构(40),用以供应浆液(L)到研磨垫(23)上的预定供应位置(P);研磨头(33),其在工作台(21)的旋转方向上位于供应位置(P)的下游,并且保持晶片(W)以使晶片W与研磨垫(23)相对;以及遮挡体(52),其在工作台(21)的旋转方向上位于研磨头(33)的下游,并从工作台(21)移除用过的浆液(L)。
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公开(公告)号:CN103317713A
公开(公告)日:2013-09-25
申请号:CN201310087116.9
申请日:2013-03-19
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B29C59/00
CPC classification number: B41J2/04501 , B29C43/021 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 实施方式的滴状体配置方法包括:将基体的面划分为第1区域并对每个第1区域求出滴状体的量的工序;求出滴状体的总量的工序;求出滴状体的总数的工序;根据模板的接触方式求出暂定的滴状体的配置的工序;将各第1区域分配至最接近的滴状体、将第1区域的集体作为第2区域通过第2区域重新划分的划分工序;以及对每个第2区域求出评价值的评价值计算工序。另外,该实施方式的滴状体配置方法,在评价值的分布处于作为目标的范围内时,确定滴状体的位置,在评价值的分布不处于作为目标的范围内时,重复进行变更至少任一个滴状体的位置的工序、划分工序及评价值计算工序。
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公开(公告)号:CN101411979A
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200810169086.5
申请日:2008-10-20
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B01J23/652 , H01M4/90 , H01M8/10
Abstract: 本发明提供可以提高对由一氧化碳造成的催化剂中毒的抑制作用的燃料极催化剂、燃料极催化剂的制造方法、燃料电池以及燃料电池的制造方法。提供燃料极催化剂,其特征在于,包含铂(Pt)和钼(Mo)的固溶体,所述固溶体的晶体结构为面心立方结构,所述固溶体中的所述钼(Mo)的组成比例为20原子%(at%)以下、10原子%(at%)以上。另外,根据本发明的另一实施方式,提供燃料极催化剂的制造方法,其特征在于,用氯铂酸(H2PtCl6)和钼酸钠二水合物(Na2MoO4·2H2O)生成铂水合物及氧化钼,使所述铂水合物及所述氧化钼进行还原,同时,使所述钼(Mo)固溶到所述铂(Pt)中。
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公开(公告)号:CN101223662A
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN200680018518.1
申请日:2006-05-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01M8/04201 , H01M8/023 , H01M8/0258 , H01M8/0263 , H01M8/04186 , H01M8/1011 , Y02E60/523
Abstract: 如本发明所述的燃料电池包括:燃料供给部分,其包括为了使由燃料供给口供给的燃料在平面内方向上扩散而设置的扩散部分和为了将来自扩散部分的燃料放出而设置的具有多个开口的开口板;为了从外部导入氧气而设置的氧气导入部分;和为了通过由燃料供给部分供给的燃料和由氧气导入部分供给的氧气发电而设置的发电部分,设置在开口板上的多个开口的开口率具有在平面内方向上基本上放射状的分布,以使得在燃料供给口附近的开口率小,并且随离燃料供给口的距离而增大。这使得能够提供其中燃料可以均匀供给,从而达到有效的发电的自发呼吸型燃料电池。
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公开(公告)号:CN102419512B
公开(公告)日:2013-07-17
申请号:CN201110226018.X
申请日:2011-08-08
Applicant: 株式会社东芝
IPC: G03F7/00 , G03F7/16 , H01L21/312
CPC classification number: G05B19/418 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/16
Abstract: 本发明提供微细加工方法及微细加工装置。根据一个实施方式,提供利用抗蚀剂的微细加工方法。按图案形成面的第一区域决定所需的抗蚀剂量。决定图案形成面整个区域的抗蚀剂总量。抗蚀剂总量除以抗蚀剂滴的容量。决定抗蚀剂滴的总数,对于该总数个抗蚀剂滴中的每个抗蚀剂滴,决定在图案形成面中的临时位置。按最接近的抗蚀剂滴分配各个第一区域。按第二区域重新划分图案形成面,该第二区域按抗蚀剂滴分配。按第二区域,决定一个抗蚀剂滴的容量除以对属于第二区域内的第一区域中的每个第一区域决定的需要的抗蚀剂量的总计而得到的值。在除法运算得到的值在图案形成面内的分布处于设为目标的范围内时,确定全部抗蚀剂滴的位置。
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