公开(公告)号：CN101045290A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200610129053.9

申请日：2006-09-05

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 中川泰忠 ,  小池荣二郎

IPC: B24D17/00 ,  B24B29/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/26

Abstract: 本发明提供一种具有穿通孔的研磨垫，通过提高研磨液的供应排出能力，能缩小研磨量的偏差。本发明的研磨垫具备：板状的垫本体(12)，一个面作为研磨面(12a)，另一个面作为支持面(12b)；以及多个穿通部(20)，从研磨面(12a)到支持面(12b)穿通垫本体(12)，其开口部沿着上述研磨液的流动方向形成。

公开(公告)号：CN101403804A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200810137758.4

申请日：2008-07-18

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 井手秀树 ,  上北将广 ,  小池荣二郎

IPC: G02B5/18 ,  B29D11/00

CPC classification number: G02B5/1866 ,  G02B5/1847 ,  G02B27/0018

Abstract: 一种衍射光学元件、衍射光学元件成形用模具以及衍射光学元件成形用模具的制造方法。用于减少衍射光学元件中的有害光，并抑制光学特性的降低。在衍射光学元件(22)中，多个衍射光栅17′、18′……中，在槽顶角为规定角度以下的衍射光栅18′、19′……的倾斜面18a′、19a′……的下端侧，形成有相对倾斜面18a′、19a′……倾斜的倒角面18c′、19c′……。