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公开(公告)号：CN1277457A
公开(公告)日：2000-12-20
申请号：CN00106537.8
申请日：2000-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 松下电子工业株式会社
CPC classification number: C23C14/505 , H01J9/20 , H01K3/005 , Y10T428/131 , Y10T428/2991 , Y10T428/8305
Abstract: 提供一种薄膜形成方法,即使象各种蒸镀法和溅射法的成膜方法那样,使用只利用从特定方向飞来的成膜粒子的成膜方法,也可以在包含旋转椭圆体形状的被镀体衬底上形成均匀膜厚的薄膜。一种利用从成膜源沿一定方向飞来的成膜粒子在包括旋转椭圆体形状的衬底上形成薄膜的薄膜制造方法,以旋转椭圆体形状的旋转轴为中心,使衬底以一定的角速度旋转,进行自旋运动,同时,以旋转轴上的旋转椭圆体形状的2焦点间的中点附近为中心,进行使衬底以一定周期在同一面内旋转振动的摇摆运动,从而在衬底上形成薄膜。由此,即使是包括旋转椭圆体形状的衬底,也能够在衬底的外周方向和自旋运动的旋转轴方向上形成均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN1178843A
公开(公告)日：1998-04-15
申请号：CN97119330.4
申请日：1997-08-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: C23C14/34
CPC classification number: H01J37/32009 , C23C14/34 , C23C14/54 , H01J37/34
Abstract: 一种在放电开始之前通常保持打开的触发气体馈给系统。当产生放电时,即刻关闭触发气体馈给系统,从而使真空室处于溅射压力。在放电完成之后再次打开触发气体馈给系统。持续打开状态直至开始另一次放电。因此,在放电前真空室压力总是保持恒定,并且将真空室恢复到溅射压力的时间缩短。
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公开(公告)号：CN102084043B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN200980134654.0
申请日：2009-09-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: D01D5/0061 , D01D5/0069 , D01D5/18 , D04H1/4382 , D04H1/728
Abstract: 本发明提供一种纳米纤维制造方法和制造装置。该方法使在外周壁上形成有多个细孔的容器旋转，利用离心力将含有高分子材料且带电的原料液从容器内的空间经由与该空间连通的多个细孔向外部放出。由此，从带电的原料液生成纤维状物质。此时，通过原料液泵以规定的压力向填充有原料液的空间供给原料液，以将原料液从细孔以规定的压力推出。即，对空间内的原料液进行加压。并且，容器内的空间的形状被设定为对原料液施加的离心力保持一定。
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公开(公告)号：CN101981238B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN200980110904.7
申请日：2009-03-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 纳米纤维制造装置、纳米纤维制造方法，在防止溶媒蒸汽的爆炸的同时制造纳米纤维。纳米纤维制造装置具备：流出机构(201)，使原料液(300)向空间中流出；第一带电机构(202)，对原料液(300)赋予电荷而使其带电；导引机构(206)，形成对所制造的纳米纤维(301)进行导引的风洞；气流产生机构(203)，产生向导引机构(203)内侧搬送纳米纤维的气流；扩散机构(240)，使通过导引机构(206)导引的纳米纤维(301)扩散；收集装置，将纳米纤维(301)电气地吸引并收集；以及吸引机构(102)，将上述气流与从原料液(300)蒸发的蒸发成分一起吸引。
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公开(公告)号：CN102084043A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200980134654.0
申请日：2009-09-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: D01D5/0061 , D01D5/0069 , D01D5/18 , D04H1/4382 , D04H1/728
Abstract: 本发明提供一种纳米纤维制造方法和制造装置。该方法使在外周壁上形成有多个细孔的容器旋转，利用离心力将含有高分子材料且带电的原料液从容器内的空间经由与该空间连通的多个细孔向外部放出。由此，从带电的原料液生成纤维状物质。此时，通过原料液泵以规定的压力向填充有原料液的空间供给原料液，以将原料液从细孔以规定的压力推出。即，对空间内的原料液进行加压。并且，容器内的空间的形状被设定为对原料液施加的离心力保持一定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101981238A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980110904.7
申请日：2009-03-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 纳米纤维制造装置、纳米纤维制造方法，在防止溶媒蒸汽的爆炸的同时制造纳米纤维。纳米纤维制造装置具备：流出机构(201)，使原料液(300)向空间中流出；第一带电机构(202)，对原料液(300)赋予电荷而使其带电；导引机构(206)，形成对所制造的纳米纤维(301)进行导引的风洞；气流产生机构(203)，产生向导引机构(203)内侧搬送纳米纤维的气流；扩散机构(240)，使通过导引机构(206)导引的纳米纤维(301)扩散；收集装置，将纳米纤维(301)电气地吸引并收集；以及吸引机构(102)，将上述气流与从原料液(300)蒸发的蒸发成分一起吸引。
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公开(公告)号：CN100334684C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN00106537.8
申请日：2000-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: C23C14/505 , H01J9/20 , H01K3/005 , Y10T428/131 , Y10T428/2991 , Y10T428/8305
Abstract: 提供一种薄膜形成方法，即使象各种蒸镀法和溅射法的成膜方法那样，使用只利用从特定方向飞来的成膜粒子的成膜方法，也可以在包含旋转椭圆体形状的被镀体衬底上形成均匀膜厚的薄膜。一种利用从成膜源沿一定方向飞来的成膜粒子在包括旋转椭圆体形状的衬底上形成薄膜的薄膜制造方法，以旋转椭圆体形状的旋转轴为中心，使衬底以一定的角速度旋转，进行自旋运动，同时，以旋转轴上的旋转椭圆体形状的2焦点间的中点附近为中心，进行使衬底以一定周期在同一面内旋转振动的摇摆运动，从而在衬底上形成薄膜。由此，即使是包括旋转椭圆体形状的衬底，也能够在衬底的外周方向和自旋运动的旋转轴方向上形成均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN1181218C
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN95119064.4
申请日：1995-12-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/35
Abstract: 本发明揭示一种磁控管溅射装置，它在同一中心轴(1)的周围配设多块直径不同的环状平板靶(2、3)；在各靶(2、3)中，沿其内周缘部位置的表侧和里侧分别配设具有相同极性的磁铁(21、22、23、24)，沿其外周缘部位置的表侧和里侧分别配置具有相同极性的磁铁(23、24、25、26)，并配设成使内周侧与外周侧极性相反。具有不产生靶局部侵蚀的效果。
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公开(公告)号：CN1072734C
公开(公告)日：2001-10-10
申请号：CN95109206.5
申请日：1995-07-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: C23C14/35
CPC classification number: H01J37/347 , H01J37/3405
Abstract: 本发明揭示一种采用矩形靶进行溅射，在基板上形成薄膜的溅射装置，其特征在于：沿靶的两侧缘，在各侧缘配置多个磁铁，这些磁铁的极性确定为相邻的磁铁为相反关系，同时，隔靶相对的磁铁间的极性确定为相反关系；配置至少两个以上的靶使其靶面与所述基板面形成30°以上、60°以下的角度。该装置用具有多个矩形靶的溅射电极，提高形成于大型基板上的薄膜的膜厚及膜质的均匀性，进而具有高的靶利用效率。
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公开(公告)号：CN102301044A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080005664.7
申请日：2010-01-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: D01D5/18 , D01D5/0061 , D01D5/0069 , D04H1/4291 , D04H1/4382 , D04H1/728
Abstract: 避免在旋转的流出体和给电电极之间产生磨损，节省零件更换等的手续。一种纳米纤维制造装置(100)，使原料液(300)在空间中延伸而制造纳米纤维(301)，其中，具有：通过离心力使原料液(300)向空间中流出的流出体(115)；使流出体(115)旋转的驱动源(117)；相对于流出体(115)离开规定距离地配置的、经由流出体(115)向原料液(300)供给电荷的供给电极(124)；相对于流出体(115)离开规定距离地配置的、施加与流出体(115)极性相反的电位的带电电极(121)；以及将规定电压施加到供给电极(124)和带电电极(121)之间的带电电源(122)。
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