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公开(公告)号:CN104080822B
公开(公告)日:2016-01-06
申请号:CN201380007260.5
申请日:2013-01-29
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08F20/38 , C07C251/64 , C07C323/47 , C08F8/26 , C08F20/36 , C08J7/00 , C09D4/02 , C09K3/18
CPC classification number: H01B3/301 , C07C323/22 , C07C323/47 , C08F8/26 , C08F28/04 , C08F220/24 , C08F220/34 , C08F220/36 , C08F220/38 , C08J7/00 , C08K5/101 , C08L41/00 , C09D4/06 , C09D5/1687 , H01B19/04 , Y10T428/24802 , C08F2220/387 , C08F220/20 , C08F220/06 , C08F2220/283 , C08F2220/1858 , C08F2220/1883 , C08F2220/346 , C08F212/08 , C08F290/126
Abstract: 本发明提供一种固化性组合物、以及具有使该固化性组合物固化而得的固化膜的物品及其制造方法,该固化性组合物能形成绝缘性、拒液性良好、即使照射波长300nm以上的紫外线也能充分地亲液化的具有拒液性的固化膜。本发明使用该固化性组合物来形成固化膜,该固化性组合物包含具有基于下式(m1)表示的化合物的单元(u1)的聚合物。R1=氢原子、甲基等;R2=2价有机基团等;Cf=碳数1~20的氟代烷基等;X=O、S、N、NH;m=1~2;n=0~4;k=0~1;Z=(甲基)丙烯酰基等。
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公开(公告)号:CN104080822A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201380007260.5
申请日:2013-01-29
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08F20/38 , C07C251/64 , C07C323/47 , C08F8/26 , C08F20/36 , C08J7/00 , C09D4/02 , C09K3/18
CPC classification number: H01B3/301 , C07C323/22 , C07C323/47 , C08F8/26 , C08F28/04 , C08F220/24 , C08F220/34 , C08F220/36 , C08F220/38 , C08J7/00 , C08K5/101 , C08L41/00 , C09D4/06 , C09D5/1687 , H01B19/04 , Y10T428/24802 , C08F2220/387 , C08F220/20 , C08F220/06 , C08F2220/283 , C08F2220/1858 , C08F2220/1883 , C08F2220/346 , C08F212/08 , C08F290/126
Abstract: 本发明提供一种固化性组合物、以及具有使该固化性组合物固化而得的固化膜的物品及其制造方法,该固化性组合物能形成绝缘性、拒液性良好、即使照射波长300nm以上的紫外线也能充分地亲液化的具有拒液性的固化膜。本发明使用该固化性组合物来形成固化膜,该固化性组合物包含具有基于下式(m1)表示的化合物的单元(u1)的聚合物。R1=氢原子、甲基等;R2=2价有机基团等;Cf=碳数1~20的氟代烷基等;X=O、S、N、NH;m=1~2;n=0~4;k=0~1;Z=(甲基)丙烯酰基等。
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公开(公告)号:CN103946326A
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201280055867.6
申请日:2012-11-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C09D171/10 , B23K26/00 , B23K26/382 , H01L21/302 , H01L21/312 , H01L21/768 , H01L23/532
CPC classification number: C09D167/06 , B23K26/352 , B23K26/361 , C08F257/02 , C08G63/00 , C08G65/48 , C08J3/24 , C08J2365/00 , C08K5/0025 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/3475 , C08K5/3492 , C08L67/06 , C09D151/003 , H01L21/0212 , H01L21/02282 , H01L21/31127 , H01L23/49894 , H01L23/5329 , H01L29/7869 , H01L2924/0002 , H01L2924/00 , C08F222/1006
Abstract: 本发明提供可获得介电常数低、吸水性低且可进行激光加工的固化膜的固化性组合物、该固化膜的激光加工方法及多层布线结构体的制造方法。包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)的固化性组合物、对使该组合物固化而得的固化膜照射激光而除去该固化膜的一部分的激光加工方法、包括通过该加工方法在由该固化膜形成的绝缘膜上形成通孔的工序的多层布线结构体的制造方法。
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