公开(公告)号：CN105848400A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610062121.8

申请日：2016-01-29

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： H.莫尔格纳 ,  C.梅茨纳 ,  L.德克 ,  T.韦尔纳 ,  H.弗拉斯克

IPC: H05H1/48

CPC classification number: H05H1/48

Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，包括两个相对布置的空心阴极（11、12），其中空心阴极（11、12）被连接到脉冲发生器（15）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（11、12）之间产生双极脉冲电压。在此，两个空心阴极（11、12）之间的空间沿着延长的空心阴极轴线（13）被挡板（14）包围并且两个空心阴极（11、12）至少部分地被挡板（14）包围，其中挡板面具有至少一个开口（18）。

公开(公告)号：CN103299390B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201180051544.5

申请日：2011-09-08

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： G.马陶施 ,  P.法因奥格勒 ,  V.基尔希霍夫 ,  D.韦斯克 ,  H.弗拉斯克 ,  R.蔡贝

IPC: H01J3/02 ,  H01J37/077 ,  H01J37/075

CPC classification number: H01J37/075 ,  H01J3/025 ,  H01J37/077 ,  H01J2237/3104 ,  H01J2237/3128 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的中央布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。

公开(公告)号：CN103299390A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201180051544.5

申请日：2011-09-08

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： G.马陶施 ,  P.法因奥格勒 ,  V.基尔希霍夫 ,  D.韦斯克 ,  H.弗拉斯克 ,  R.蔡贝

IPC: H01J3/02 ,  H01J37/077 ,  H01J37/075

CPC classification number: H01J37/075 ,  H01J3/025 ,  H01J37/077 ,  H01J2237/3104 ,  H01J2237/3128 ,  H01J2237/3132

Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备，其包括：壳体（12），该壳体（12）形成可排空的空间（13）的边界并且具有电子束出射开口；用于将工作气体输送到可排空的空间（13）中的入口（16）；平面的阴极（14）和阳极（15），所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）被布置在可排空的空间（13）中并且在所述平面的阴极（14）和所述阳极（15）之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体，其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极（14）的表面上。所述阴极具有：由第一材料制成的第一部分（14a），该第一部分（14a）构造所述阴极（14）的中央布置的第一表面区域；以及由第二材料制成的第二部分（14b），该第二部分（14b）构造所述阴极（14）的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度：在该温度下，电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。