基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN108955995A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810865937.3

    申请日:2018-08-01

    CPC classification number: G01L9/08

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;所述绝缘层位于基底的顶面;所述压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    自冷式板式高浓度臭氧放电装置

    公开(公告)号:CN1597498A

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN200410035859.2

    申请日:2004-09-28

    Abstract: 本发明提供了一种自冷式板式高浓度臭氧放电装置,它包括支架、电极板,进、排气通道、气室,其特征在于:固定在支架上有两平板,两平板之间的空隙是气室,气室的上部是进气通道;下部是排气通道,平板外侧是电极板。本发明与现有技术相比具有以下优点和积极效果:1.采用平板之间空隙式气室,空气流通流畅,扩散均匀,放电有效面积大,产生的臭氧浓度高。2.采用肋片式电极板,且与整个平板面相对应,用于电离平板之间的空气,放电效果好,且可通过肋片散热,散热性好,温度低。

    基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN108955995B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN201810865937.3

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;所述绝缘层位于基底的顶面;所述压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108827523A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201810864753.5

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 本发明属于海洋环境监测仪器技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器以其制备方法。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳;基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;绝缘层位于基底的顶面,且位于应力腔的正上方;压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;金属外壳安装在基底的顶面,并将绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内,在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本发明的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。

    一种金刚石薄膜深海温度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN107702821A

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201710957111.5

    申请日:2017-10-16

    CPC classification number: G01K13/02

    Abstract: 本发明公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器,包括一端密封的筒状金属耐压外壳,所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底,所述金刚石基底一侧设有温度响应元件,所述温度响应元件为双螺旋线状结构,所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线,所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层,所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触;所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料,同时公开了该温度传感器的制备方法,本发明所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。

    采集光总量的臭氧法水质化学需氧量测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN102103088A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN201010605115.5

    申请日:2010-12-27

    Abstract: 本发明提供一种采集光总量的臭氧法水质化学需氧量测量装置及测量方法,通过对固定体积的水样持续不断地施加臭氧,使其进行化学需氧反应,通过测量反应过程中产生的总光强来精确地测算出水质化学需氧量。测量装置的主体是一密光的反应腔体,反应腔体上设有进水口、出水口和通气孔,反应腔体的一侧是透镜,反应腔体的下面为所述暴气片,暴气片与臭氧气室连通,进水口和出水口与水样换路装置连接,光电传感器安装在反应腔体之外透镜的焦点处,光电传感器的输出信号端口连接到数据处理电路,数据处理电路与控制电路连接,控制电路的控制信号输出端连接所述水样换路装置。适应于高COD值水样的测量,测量结果不依赖泵的流量,测试精度高。

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