一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法

    公开(公告)号:CN111705304A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010655206.3

    申请日:2020-07-09

    Abstract: 本发明属于化学气相沉积技术领域,涉及一种热丝化学气相沉积设备及方法。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备,包括:镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置,所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接,所述镀膜腔室中设有热丝加热系统;所述热丝加热系统的下方设有水冷系统;所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧;所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品,两侧交替进行,连续镀膜。本发明的设备和方法,能够精确控制热丝加热单元和水冷单元,实现温场均匀,从而实现制备薄膜的均匀性,优化电流和水流量,节约能源;能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温,降低薄膜应力,提高产品质量和使用寿命。

    一种全金刚石结构的压力传感器芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN117330215A

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202311417581.4

    申请日:2023-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种全金刚石结构的压力传感器芯片及其制备方法,压力传感器芯片包括单晶金刚石基片,所述基片上表面刻蚀有4个凹槽,每个凹槽内均沉积有硼掺杂金刚石薄膜作为桥电阻,4个桥电阻通过金属电极联通形成惠斯通电桥结构,所述基片背面通过刻蚀形成应力杯。本发明从结构仿真设计、金刚石薄膜生长、电桥设计、电极生长、芯体封装全过程进行相关研制,并最终完成形成高稳定性、高灵敏度的金刚石压阻传感器制备。在全金刚石结构的条件下,可以克服硅基半导体的本征激发温度低,材料强度差的缺点,有利于提高器件的测量范围和应用范围。

    一种基于丝网印刷的高精度海洋电导率测量电极制造方法

    公开(公告)号:CN114487030A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210320933.3

    申请日:2022-03-30

    Abstract: 本发明涉及电导率传感电极制备技术领域,具体公开了一种基于丝网印刷的高精度海洋电导率测量电极制造方法,包括如下步骤:利用飞秒激光技术在金属材料薄片上切割出微纳米级阵列孔,得到丝网印刷网版;将纳米铂粉、金属粉末、金属氧化物和有机载体混合研磨,将残余空气排出,制得铂电极浆料;在硅基基片表面刻蚀凹槽,并进行氮化处理作为电极载体;利用丝网印刷网版和刮板将铂电极浆料印刷到电极载体上,并将凹槽外的浆料刮除,流平后在鼓风干燥箱中干燥,最后进行微波烧结,得到电导率传感电极。本发明的方法可实现高精度,制备时效短,电极不易脱落的电导率传感电极的制备,满足现阶段海洋观测网对于电导率传感器的大批量高精度的应用需求。

Patent Agency Ranking