公开(公告)号：CN114606471A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202210337334.2

申请日：2022-04-01

Applicant: 季华实验室

Inventor： 徐秀兰 ,  刘锦涛 ,  于广华 ,  黄意雅

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C22C30/00 ,  G01D5/12

Abstract: 本发明提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料，属于磁性材料技术领域，为多层膜结构，包括基底，以及在基底上依次制备的Bi掺杂的FeCoCr薄膜和保护层；其中，所述保护层用于防止Bi掺杂的FeCoCr薄膜被氧化。本发明还提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法和应用。本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料，通过控制Bi元素在FeCoCr薄膜中的掺杂量，可以对FeCrCo薄膜的矫顽力进行有效地调控，使得薄膜的矫顽力由不掺杂Bi时的457Oe，提升为掺Bi之后的930Oe，矫顽力增幅达100％以上，满足磁编码器码盘材料对矫顽力的实际应用需求。并且，本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法，简单、控制方便、效率高且成本低。

公开(公告)号：CN114606471B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202210337334.2

申请日：2022-04-01

Applicant: 季华实验室

Inventor： 徐秀兰 ,  刘锦涛 ,  于广华 ,  黄意雅

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C22C30/00 ,  G01D5/12

Abstract: 本发明提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料，属于磁性材料技术领域，为多层膜结构，包括基底，以及在基底上依次制备的Bi掺杂的FeCoCr薄膜和保护层；其中，所述保护层用于防止Bi掺杂的FeCoCr薄膜被氧化。本发明还提供了一种FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法和应用。本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料，通过控制Bi元素在FeCoCr薄膜中的掺杂量，可以对FeCrCo薄膜的矫顽力进行有效地调控，使得薄膜的矫顽力由不掺杂Bi时的457Oe，提升为掺Bi之后的930Oe，矫顽力增幅达100％以上，满足磁编码器码盘材料对矫顽力的实际应用需求。并且，本发明的FeCoCr磁码盘薄膜材料的制备方法，简单、控制方便、效率高且成本低。