集成芯片裂纹检测装置及方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107796827A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201711202983.7

    申请日:2017-11-27

    CPC classification number: G01N21/9505

    Abstract: 本发明公开了一种集成芯片裂纹检测装置及方法,该装置包括:相互连接的控制单元、感应单元、励磁单元,在控制单元的指令下,励磁单元产生线状激光束,线状激光束射向半导体芯片表面,在所述半导体芯片表面进行横向和纵向的扫描,同时线状激光束在所需励磁线处产生热波,热波的热反应由感应单元进行捕捉,热反应数据再传递给控制单元。本发明实现对集成芯片表面裂纹无接触、无损伤、无侵入的检测识别;不受芯片材料限制,检测效率高,适用于在线检测;且提高了裂纹检测的能力及集成芯片的可靠性与安全性。

    轴/径向变形可测的非饱和水力特性测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN107014975B

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201710153625.5

    申请日:2017-03-15

    Abstract: 本发明提供了一种轴/径向变形可测的非饱和水力特性测量装置及测量方法,其中的装置包括水力特性测量系统和体变测量系统,所述水力特性测量系统包括计重装置和水势测量仪,所述体变测量系统包括恒水头提供装置、外部容器、试样容器、柔性壁、硬质薄壁套环、位移传感器和体积测量装置;恒水头提供装置与外部容器、体积测量装置连接,所述试样容器设在外部容器中,待测土体试样设在所述试样容器内,待测土体试样的上部、下部分别埋设水势测量仪,位移传感器设在待测土体试样的上方,外部容器及恒水头提供装置均位于所述计重装置上。采用本发明的技术方案,实现了非饱和土体土水特征曲线、渗透系数及土体侧向和轴向变形的同时测量。

    轴/径向变形可测的非饱和水力特性测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN107014975A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710153625.5

    申请日:2017-03-15

    Abstract: 本发明提供了一种轴/径向变形可测的非饱和水力特性测量装置及测量方法,其中的装置包括水力特性测量系统和体变测量系统,所述水力特性测量系统包括计重装置和水势测量仪,所述体变测量系统包括恒水头提供装置、外部容器、试样容器、柔性壁、硬质薄壁套环、位移传感器和体积测量装置;恒水头提供装置与外部容器、体积测量装置连接,所述试样容器设在外部容器中,待测土体试样设在所述试样容器内,待测土体试样的上部、下部分别埋设水势测量仪,位移传感器设在待测土体试样的上方,外部容器及恒水头提供装置均位于所述计重装置上。采用本发明的技术方案,实现了非饱和土体土水特征曲线、渗透系数及土体侧向和轴向变形的同时测量。

    多股管线大内径的传感器密封装置的组装方法

    公开(公告)号:CN103364020B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201310306551.6

    申请日:2013-07-19

    Abstract: 本发明提供了一种多股管线大内径的传感器密封装置的组装方法,包括以下步骤:A.将内腔密封装置安装于系统外壁的内侧上,将外腔密封装置安装于系统外壁的外侧上;B.将安装设备安装在所述内腔密封装置内;C.将密封装置外套筒安装于所述内腔密封装置、外腔密封装置的外侧;D.将顶盖卡套接头套设在所述安装设备的导线上,将所述安装设备的导线依次穿过所述内腔密封装置的内孔、密封装置外套筒的独立管线孔而露于所述密封装置外套筒的外侧,将所述顶盖卡套接头夹设于所述导线的外侧面、独立管线孔的内侧面之间。本发明的有益效果是:具有较好的密封效果,可防止流体从导线处渗入,在任何过程中都可以随时更换传感器。

    集成芯片裂纹检测装置
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN208043698U

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201721603294.2

    申请日:2017-11-27

    Abstract: 本实用新型公开了一种集成芯片裂纹检测装置,该装置包括:相互连接的控制单元、感应单元、励磁单元,在控制单元的指令下,励磁单元产生线状激光束,线状激光束射向半导体芯片表面,在所述半导体芯片表面进行横向和纵向的扫描,同时线状激光束在所需励磁线处产生热波,热波的热反应由感应单元进行捕捉,热反应数据再传递给控制单元。本实用新型实现对集成芯片表面裂纹无接触、无损伤、无侵入的检测识别;不受芯片材料限制,检测效率高,适用于在线检测;且提高了裂纹检测的能力及集成芯片的可靠性与安全性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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