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公开(公告)号:CN104290921B
公开(公告)日:2017-09-19
申请号:CN201410460809.2
申请日:2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种充气展开气动阻尼减速器结构。该结构主要是弧形的刚性钝头和由织物纤维复合材料制成的充气展开结构组成刚柔组合体,涉及的充气展开气动阻尼减速器结构展开过程包括一级不同直径堆叠充气展开圆环的展开和二级展开圆环的展开;该结构还包括两个质量块沿滑道一起移动实现粗调得粗调控制块和仅仅沿滑道移动较小实现质心控制盘微调的微调控制块;通过移动四个方位质心控制块协同调节,可以实现对减速器四个方向姿态的控制。本发明的结构质量轻;快速充气成型,形成大面积的阻力面。由于主要采用织物纤维复合材料制作,便于充气展开气动阻尼减速器结构的高效率地折叠收拢,发射体积小。
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公开(公告)号:CN102002666A
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN201010515721.8
申请日:2010-10-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种铜互联用氮化钽扩散阻挡层的制备方法,它涉及一种氮化钽扩散阻挡层的制备方法。本发明解决现有氮化钽沉积技术制备得到的氮化钽阻挡层厚度大、致密性差,导致氮化钽阻挡层的阻挡效果差的问题。制备方法:将衬底清洗后置于过滤阴极电弧沉积设备真空仓内的样品台上;然后对衬底进行离子清洗;抽真空后,将样品台加热,然后通入氮气,然后调入扫描波形,设置沉积参数;然后开启过滤阴极电弧沉积设备即可。铜互联用氮化钽扩散阻挡层厚度为10~20nm,而且阻挡层致密性好,表面均匀平整,能够保证后续电沉积铜层的优良质量;同时高温扩散阻挡性高,氮化钽扩散阻挡层受温度为600℃的热处理90分钟后,无铜硅化合物产生。
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公开(公告)号:CN104290921A
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201410460809.2
申请日:2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种充气展开气动阻尼减速器结构。该结构主要是弧形的刚性钝头和由织物纤维复合材料制成的充气展开结构组成刚柔组合体,涉及的充气展开气动阻尼减速器结构展开过程包括一级不同直径堆叠充气展开圆环的展开和二级展开圆环的展开;该结构还包括两个质量块沿滑道一起移动实现粗调得粗调控制块和仅仅沿滑道移动较小实现质心控制盘微调的微调控制块;通过移动四个方位质心控制块协同调节,可以实现对减速器四个方向姿态的控制。本发明的结构质量轻;快速充气成型,形成大面积的阻力面。由于主要采用织物纤维复合材料制作,便于充气展开气动阻尼减速器结构的高效率地折叠收拢,发射体积小。
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公开(公告)号:CN103818542B
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:CN201410105122.7
申请日:2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 变直径协调同步缠绕式可变构形瓣囊结构及其设计方法,它涉及一种可变构形瓣囊结构及其设计方法,具体涉及一种变直径协调同步缠绕式可变构形瓣囊结构及其设计方法。本发明为了解决现有飞艇囊体结构在升空阶段会出现无序的展开,且回收降落后不方便转回艇库中的问题。本发明的具有密封性的顶部连接结构设置在耐压囊体上表面的中部,中心筒竖直设置耐压囊体内,中心筒的上端与具有密封性的顶部连接结构连接,中心筒的下端与具有密封性的底部连接结构连接,对称式变直径缠绕中心轴竖着设置在中心筒内,对称式变直径缠绕中心轴的上端与顶部驱动电机的转动轴连接,对称式变直径缠绕中心轴的下端与底部驱动电机连接。本发明用于航空航天浮空器领域。
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公开(公告)号:CN103818542A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201410105122.7
申请日:2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 变直径协调同步缠绕式可变构形瓣囊结构及其设计方法,它涉及一种可变构形瓣囊结构及其设计方法,具体涉及一种变直径协调同步缠绕式可变构形瓣囊结构及其设计方法。本发明为了解决现有飞艇囊体结构在升空阶段会出现无序的展开,且回收降落后不方便转回艇库中的问题。本发明的具有密封性的顶部连接结构设置在耐压囊体上表面的中部,中心筒竖直设置耐压囊体内,中心筒的上端与具有密封性的顶部连接结构连接,中心筒的下端与具有密封性的底部连接结构连接,对称式变直径缠绕中心轴竖着设置在中心筒内,对称式变直径缠绕中心轴的上端与顶部驱动电机的转动轴连接,对称式变直径缠绕中心轴的下端与底部驱动电机连接。本发明用于航空航天浮空器领域。
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公开(公告)号:CN102280514A
公开(公告)日:2011-12-14
申请号:CN201110231460.1
申请日:2011-08-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/075 , H01L31/0264 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池及其制备方法,涉及一种太阳能电池及其制备方法。本发明要解决现有以非晶硅材料为本征层存在带隙较宽、吸收系数偏小的问题。太阳能电池包括透明衬底(1)、透明导电薄膜(2)、P型窗口层(3)、本征层(4)和N型层(5)。方法:将透明衬底(1)上镀上透明导电薄膜(2);在透明导电薄膜(2)上镀上P型窗口层(3);清洗、加热、保温,通入氩气,反溅清洗;制备本征层(4);制备N型层(5),即完成本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备。本发明太阳能电池结构新颖,制备工艺简单、易操作;本征层为碳锗薄膜,具有窄带隙,光学吸收较大的优点,可提高太阳能电池的光电转化效率。用于太阳能电池领域。
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公开(公告)号:CN102002666B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN201010515721.8
申请日:2010-10-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种铜互联用氮化钽扩散阻挡层的制备方法,它涉及一种氮化钽扩散阻挡层的制备方法。本发明解决现有氮化钽沉积技术制备得到的氮化钽阻挡层厚度大、致密性差,导致氮化钽阻挡层的阻挡效果差的问题。制备方法:将衬底清洗后置于过滤阴极电弧沉积设备真空仓内的样品台上;然后对衬底进行离子清洗;抽真空后,将样品台加热,然后通入氮气,然后调入扫描波形,设置沉积参数;然后开启过滤阴极电弧沉积设备即可。铜互联用氮化钽扩散阻挡层厚度为10~20nm,而且阻挡层致密性好,表面均匀平整,能够保证后续电沉积铜层的优良质量;同时高温扩散阻挡性高,氮化钽扩散阻挡层受温度为600℃的热处理90分钟后,无铜硅化合物产生。
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公开(公告)号:CN102280514B
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201110231460.1
申请日:2011-08-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/075 , H01L31/028 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备方法,涉及一种太阳能电池及其制备方法。本发明要解决现有以非晶硅材料为本征层存在带隙较宽、吸收系数偏小的问题。太阳能电池包括透明衬底(1)、透明导电薄膜(2)、P型窗口层(3)、本征层(4)和N型层(5)。方法:将透明衬底(1)上镀上透明导电薄膜(2);在透明导电薄膜(2)上镀上P型窗口层(3);清洗、加热、保温,通入氩气,反溅清洗;制备本征层(4);制备N型层(5),即完成本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备。本发明太阳能电池结构新颖,制备工艺简单、易操作;本征层为碳锗薄膜,具有窄带隙,光学吸收较大的优点,可提高太阳能电池的光电转化效率。用于太阳能电池领域。
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