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公开(公告)号：CN102534495B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201210044330.1
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，然后通入氧气，镀膜，沉积，插入挡板，关闭氧气；五、过40～60分钟后抽开挡板，再过10～20分钟后插入挡板；六、然后通入氧气，压强在0.1～2Pa，过6～10分钟后，抽开挡板，30～50分钟后插入挡板，关机；即制得耐久高反射膜。本发明制备的膜稳定牢固结合的、耐久的、具有高反射率的氧化铝-铝-氧化铝的膜层材料体系，能够满足军用光学部件对气动热力条件的适应性要求。
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公开(公告)号：CN102280514B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201110231460.1
申请日：2011-08-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/075 , H01L31/028 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备方法，涉及一种太阳能电池及其制备方法。本发明要解决现有以非晶硅材料为本征层存在带隙较宽、吸收系数偏小的问题。太阳能电池包括透明衬底(1)、透明导电薄膜(2)、P型窗口层(3)、本征层(4)和N型层(5)。方法：将透明衬底(1)上镀上透明导电薄膜(2)；在透明导电薄膜(2)上镀上P型窗口层(3)；清洗、加热、保温，通入氩气，反溅清洗；制备本征层(4)；制备N型层(5)，即完成本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备。本发明太阳能电池结构新颖，制备工艺简单、易操作；本征层为碳锗薄膜，具有窄带隙，光学吸收较大的优点，可提高太阳能电池的光电转化效率。用于太阳能电池领域。
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公开(公告)号：CN102534495A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210044330.1
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 耐久高反射膜的制备方法，它属于反射膜的制备领域。本发明要解决现有金属铝膜易与硫化锌发生反应的技术问题。方法：一、清洗硫化锌衬底；二、然后将硫化锌衬底置于磁控溅射真空仓内的样品台上，抽真空；三、反溅清洗；四、对铝靶预溅射，然后通入氧气，镀膜，沉积，插入挡板，关闭氧气；五、过40～60分钟后抽开挡板，再过10～20分钟后插入挡板；六、然后通入氧气，压强在0.1～2Pa，过6～10分钟后，抽开挡板，30～50分钟后插入挡板，关机；即制得耐久高反射膜。本发明制备的膜稳定牢固结合的、耐久的、具有高反射率的氧化铝-铝-氧化铝的膜层材料体系，能够满足军用光学部件对气动热力条件的适应性要求。
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公开(公告)号：CN102280514A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110231460.1
申请日：2011-08-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/075 , H01L31/0264 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本征层为碳锗薄膜的太阳能电池及其制备方法，涉及一种太阳能电池及其制备方法。本发明要解决现有以非晶硅材料为本征层存在带隙较宽、吸收系数偏小的问题。太阳能电池包括透明衬底(1)、透明导电薄膜(2)、P型窗口层(3)、本征层(4)和N型层(5)。方法：将透明衬底(1)上镀上透明导电薄膜(2)；在透明导电薄膜(2)上镀上P型窗口层(3)；清洗、加热、保温，通入氩气，反溅清洗；制备本征层(4)；制备N型层(5)，即完成本征层为碳锗薄膜的太阳能电池的制备。本发明太阳能电池结构新颖，制备工艺简单、易操作；本征层为碳锗薄膜，具有窄带隙，光学吸收较大的优点，可提高太阳能电池的光电转化效率。用于太阳能电池领域。
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