一种夹具
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110587470A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910875965.8

    申请日:2019-09-17

    Abstract: 本发明公开了一种夹具,包括本体,可拆卸设置在研磨设备的磨盘上,所述磨盘为圆环形,所述本体包括至少3个夹持槽,所述夹持槽呈中心对称分布,所述中心位于所述本体的几何重心,与所述夹持槽均外接的最大外接圆直径D满足所述b为所述磨盘的环宽,所述k为0.85-0.9。该夹具解决了小尺寸复合片的抛光质量和抛光效率之间的矛盾,并充分考虑设备运行稳定性、装夹稳定性和安全性,使抛光成本大大降低,抛光效率大大提高。

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