一种研抛装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109590892B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201811474109.3

    申请日:2018-12-04

    Abstract: 一种研抛装置,该装置由轴承、套筒、导流盘、半球基体、抛光垫和导流通道自锁组件等组成。套筒和导流盘之间安装有轴承,并由此实现套筒和导流盘之间的相对旋转。套筒下半部分开设有一个通孔,以便抛光液流入装置内部。导流盘开设有周向均匀分布的通孔和一个圆柱空腔。半球基体开设有一个半球空腔与周向均匀分布的流体通道。导流盘与半球基体通过螺纹连接。半球基体的导流通道出口端安装有自锁组件。抛光垫安装在半球基体表面,抛光垫表面设计并制备有织构。本发明实现了抛光液直接内部供给至抛光区,克服了大下压量下气囊工具出现的内凹现象,增强了抛光垫耐磨性能,适用于进动方式下的高效研抛加工。

    一种研抛装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109590892A

    公开(公告)日:2019-04-09

    申请号:CN201811474109.3

    申请日:2018-12-04

    CPC classification number: B24B37/00 B24B37/11 B24B37/34 B24B57/02

    Abstract: 一种研抛装置,该装置由轴承、套筒、导流盘、半球基体、抛光垫和导流通道自锁组件等组成。套筒和导流盘之间安装有轴承,并由此实现套筒和导流盘之间的相对旋转。套筒下半部分开设有一个通孔,以便抛光液流入装置内部。导流盘开设有周向均匀分布的通孔和一个圆柱空腔。半球基体开设有一个半球空腔与周向均匀分布的流体通道。导流盘与半球基体通过螺纹连接。半球基体的导流通道出口端安装有自锁组件。抛光垫安装在半球基体表面,抛光垫表面设计并制备有织构。本发明实现了抛光液直接内部供给至抛光区,克服了大下压量下气囊工具出现的内凹现象,增强了抛光垫耐磨性能,适用于进动方式下的高效研抛加工。

    一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块

    公开(公告)号:CN109909758B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201910221159.9

    申请日:2019-03-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块,涉及液体静压节流装置领域,包括滑块本体、及与滑块本体连接的压力传感器和流量控制器;滑块本体开设有滑块本体进油口、至少一个油腔、与油腔数量相对应的出油分流口和进油分流口;油腔设有油腔出油口,出油分流口与滑块本体进油口连通,进油分流口与油腔出油口连通;油腔的周边设有微织构封油面;流量控制器设有流量控制器进油口和流量控制器出油口,且流量控制器进油口和出油分流口连通,流量控制器出油口和进油分流口连通;压力传感器与油腔连通,以实时监测油腔的油压大小。安装有本发明模块的线性轴机台不仅可以具有高油膜刚度和高承载能力,而且还可以具有较好的运动直线度。

    一种节流比可调的微细沟槽节流器

    公开(公告)号:CN109882505A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910220208.7

    申请日:2019-03-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种节流比可调的微细沟槽节流器,涉及液体静压支承用的节流器领域,包括节流器安装套和节流器本体;节流器安装套轴向设有前端圆柱腔体和后端圆柱腔体,前端圆柱腔体为光孔,后端圆柱腔体为具有螺纹的通孔,前端圆柱腔体的内壁直径大于后端圆柱腔体的内壁直径,后端圆柱腔体的内壁上开设有微细沟槽;节流器本体为螺杆结构,节流器本体与后端圆柱腔体通过螺纹啮合,啮合区域的微细沟槽构成节流器的工作区。压力油从前端圆柱腔体流入到啮合区域的微细沟槽进行节流,最后节流后的压力油流出到油腔。本发明具有节流比可调、结构简单、布局紧凑、容易拆装、不易堵塞等优点,可有效提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。

    节流比实时可调环形锥面缝隙节流器

    公开(公告)号:CN110259836A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910494414.7

    申请日:2019-06-06

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 节流比实时可调环形锥面缝隙节流器,涉及液体静压支承用的节流器领域,包括上阀体、下阀体和阀芯;上阀体开设有进油孔、出油孔和节流器腔室,进油孔和出油孔分别设于节流器腔室的侧面和上部;下阀体从上到下依次开设有密封孔和进给孔;阀芯装设于上阀体和下阀体装配形成的阀芯腔室内,阀芯为阶梯轴结构,阀芯包括从上到下依次设置的节流段、限位段、密封段和进给段;节流段对应出油孔,且节流段为圆台结构,限位段位于节流器腔室内,密封段对应密封孔,进给段对应进给孔,进给段开设有外螺纹与进给孔的内螺纹对应,以使阀芯轴向位移。可实时调整节流器的内部液阻和节流比,大大提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。

    节流比实时可调矩形平面缝隙节流器

    公开(公告)号:CN110259826A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910494686.7

    申请日:2019-06-06

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 节流比实时可调矩形平面缝隙节流器,涉及液体静压支承用的节流器领域,包括上阀体、下阀体和阀芯;上阀体开设有进油孔、出油孔、节流器腔室和环状凸台;进油孔设于上阀体的侧面且与节流器腔室连通,环状凸台设于节流器腔室的顶部中央,环状凸台轴向开设有径向贯穿环状凸台的矩形平面缝隙,出油孔为环状凸台的内圆孔,出油孔开设有轴向贯穿的内螺纹;下阀体的中央开设有密封孔;阀芯包括从上到下依次设置的节流段、限位段和密封段;节流段对应出油孔,节流段为具有外螺纹的螺柱结构并与出油孔的内螺纹对应匹配啮合,限位段位于节流器腔室内,密封段对应密封孔。可实时调整内部液阻和节流比,提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。

    一种节流比可调的微细沟槽节流器

    公开(公告)号:CN109882505B

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201910220208.7

    申请日:2019-03-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种节流比可调的微细沟槽节流器,涉及液体静压支承用的节流器领域,包括节流器安装套和节流器本体;节流器安装套轴向设有前端圆柱腔体和后端圆柱腔体,前端圆柱腔体为光孔,后端圆柱腔体为具有螺纹的通孔,前端圆柱腔体的内壁直径大于后端圆柱腔体的内壁直径,后端圆柱腔体的内壁上开设有微细沟槽;节流器本体为螺杆结构,节流器本体与后端圆柱腔体通过螺纹啮合,啮合区域的微细沟槽构成节流器的工作区。压力油从前端圆柱腔体流入到啮合区域的微细沟槽进行节流,最后节流后的压力油流出到油腔。本发明具有节流比可调、结构简单、布局紧凑、容易拆装、不易堵塞等优点,可有效提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。

    节流比实时可调平面矩形环缝隙节流器

    公开(公告)号:CN110259837A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910494805.9

    申请日:2019-06-06

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 节流比实时可调平面矩形环缝隙节流器,涉及液体静压支承用的节流器领域,包括上阀体、下阀体和阀芯;上阀体开设有进油孔、出油孔、节流器腔室和矩形环凸台,节流器腔室设于上阀体的内部中央,进油孔设于上阀体的侧面,矩形环凸台朝下设于节流器腔室的顶部中央,出油孔开设于矩形环凸台的顶部中央;下阀体开设有密封孔和进给孔;阀芯装设于上阀体和下阀体装配形成的阀芯腔室内,阀芯包括从上到下依次设置的节流段、密封段和进给段;节流段的顶端面大于矩形环凸台的底端面,以使节流段与矩形环凸台对应配合形成平面矩形环缝隙。可实时调整节流器的内部液阻和节流比,大大提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。

    节流比实时可调环形柱面缝隙节流器

    公开(公告)号:CN110259825A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910494394.3

    申请日:2019-06-06

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 节流比实时可调环形柱面缝隙节流器,涉及液体静压支承用的节流器领域,包括上阀体、下阀体和阀芯;上阀体开设有进油孔、出油孔和节流器腔室,进油孔和出油孔分别设于节流器腔室的侧面和上部;下阀体从上到下依次开设有密封孔和进给孔;阀芯装设于上阀体和下阀体装配形成的阀芯腔室内,阀芯为阶梯轴结构,阀芯包括从上到下依次设置的节流段、限位段、密封段和进给段;节流段对应出油孔,且节流段为圆柱体结构,限位段位于节流器腔室内,密封段对应密封孔,进给段对应进给孔,进给段开设有外螺纹与进给孔的内螺纹对应,以使阀芯轴向位移。可实时调整节流器的内部液阻和节流比,大大提高固定节流器方式下液体静压支承系统的调试效率。

    一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块

    公开(公告)号:CN109909758A

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201910221159.9

    申请日:2019-03-22

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块,涉及液体静压节流装置领域,包括滑块本体、及与滑块本体连接的压力传感器和流量控制器;滑块本体开设有滑块本体进油口、至少一个油腔、与油腔数量相对应的出油分流口和进油分流口;油腔设有油腔出油口,出油分流口与滑块本体进油口连通,进油分流口与油腔出油口连通;油腔的周边设有微织构封油面;流量控制器设有流量控制器进油口和流量控制器出油口,且流量控制器进油口和出油分流口连通,流量控制器出油口和进油分流口连通;压力传感器与油腔连通,以实时监测油腔的油压大小。安装有本发明模块的线性轴机台不仅可以具有高油膜刚度和高承载能力,而且还可以具有较好的运动直线度。

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